System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种硅片清洗设备制造技术_技高网

一种硅片清洗设备制造技术

技术编号:41230983 阅读:12 留言:0更新日期:2024-05-09 23:47
本发明专利技术属于硅片清洗技术领域,具体涉及一种硅片清洗设备,本装置包括:滑动设置在清洗箱内的机械手,机械手包括水平移动副,水平移动副的移动端设置有竖直移动副,竖直移动副的移动端上设置有横梁本体;若干设置在横梁本体上的夹持组件,夹持组件包括一对夹持头,一侧的夹持头滑动设置在横梁本体的底部;设置在清洗箱两侧的物料台,物料台包括底座本体,底座本体的顶部若干承托座,承托座成对设置;设置在底座本体内的横向移动副,横向移动副的移动端滑动设置有移动支架,移动支架贯穿底座本体的顶部;若干设置在底座本体内的抬升组件,抬升组件包括滑动设置的抬升块,抬升块能够顶起片盒的一端。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于硅片,具体涉及一种硅片清洗设备


技术介绍

1、在太阳能电池片制备过程中,电池片需要经过多种工艺槽,包括药液槽、水槽、烘干槽等。现有的槽式清洗设备中,片盒用于盛放电池片便于清洗和转移,通过机械手臂对片盒进行传输,但是现有的片盒通常水平放置在清洗槽内,在清洗介质流动过程中,会对片盒内的硅片进行扰动,导致硅片左右晃动,容易造成硅片的破碎,并且水平移动的片盒上容易残留药液;

2、因此,提供一种能够将片盒倾斜输送的硅片清洗设备是很有必要的。


技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种能够将片盒倾斜输送的硅片清洗设备。

2、为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种硅片清洗设备,包括:

3、清洗箱,所述清洗箱内阵列设置有若干对支撑座,所述支撑座上设置有若干对支撑组件;所述支撑组件包括第一支撑条和第二支撑条,所述第一支撑条上设置有第一支撑缺口,所述第二支撑条上设置有第二支撑缺口,并且所述第一支撑缺口的深度大于所述第二支撑缺口的深度;架设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口内的花篮本体;滑动设置在所述清洗箱内的机械手,所述机械手包括水平移动副,所述水平移动副的移动端设置有竖直移动副,所述竖直移动副的移动端上设置有横梁本体;若干设置在所述横梁本体上的夹持组件,所述夹持组件包括一对夹持头,一侧的所述夹持头滑动设置在所述横梁本体的底部;设置在所述清洗箱两侧的物料台,所述物料台包括底座本体,所述底座本体的顶部若干承托座,所述承托座成对设置;设置在所述底座本体内的横向移动副,所述横向移动副的移动端滑动设置有移动支架,所述移动支架贯穿所述底座本体的顶部;若干设置在所述底座本体内的抬升组件,所述抬升组件包括滑动设置的抬升块,所述抬升块能够顶起片盒的一端。

4、作为优选,所述第一支撑缺口的横向面为水平面,所述第一支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置;所述第二支撑缺口的横向面为水平面,所述第二支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置。

5、作为优选,所述清洗箱包括清洗外槽和清洗内槽;所述清洗内槽卡设在所述清洗外槽内,所述清洗内槽的底部设置有若干进液口,所述清洗内槽的顶部开设有溢流缺口;所述清洗外槽的底部开设有排液口,所述清洗外槽的底壁倾斜设置,并且所述排液口位于较低点。

6、作为优选,所述清洗内槽的外壁设置有第一卡扣,所述第一卡扣的底部开设有第一卡设缺口,所述清洗外槽的内壁设置有第二卡扣,所述第二卡扣的顶部开设有第二卡设缺口,以及,所述第一卡扣的头部卡设在所述第二卡设缺口内,所述第二卡扣的头部卡设在所述第一卡设缺口内。

7、作为优选,所述花篮本体包括一对架设板和插接在所述架设板之间的架设条;所述架设板分别卡设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口的顶角处,所述架设条上开设有若干成对架设缺口,所述架设缺口与所述架设板平行。

8、作为优选,所述夹持组件还包括夹持气缸和连接板,所述夹持气缸和所述连接板分别设置在所述横梁本体的侧壁,所述夹持头分别设置在所述夹持气缸的活塞杆的端部和所述连接板的侧壁,并且所述夹持气缸的行程可调。

9、作为优选,所述夹持组件包括一对连接板,所述连接板设置在所述横梁本体的侧壁,所述连接板的侧壁与所述夹持头固定连接,并且所述连接板的长度不等,以及,相邻的两个所述夹持组件中的所述连接板一体设置。

10、作为优选,所述夹持头包括挂板和挂钩;所述挂板分别与所述夹持气缸的活塞杆和所述连接板连接,所述挂钩相向设置;所述挂板的侧壁检测板,所述检测板的底部设置有检测器,所述检测器适于检测所述挂钩上是否有片盒。

11、作为优选,所述横梁本体的截面为“l”形,所述横梁本体的竖直面连接在所述竖直移动副的移动端的侧壁。

12、作为优选,所述竖直移动副包括竖直导轨、竖直丝杆、竖直滑块和竖直电机;所述竖直滑块滑动设置在所述竖直导轨上,并且所述竖直滑块与所述竖直丝杆螺纹连接,所述竖直电机的输出轴与所述竖直丝杆连接,以及,所述横梁本体与所述竖直滑块的侧壁连接。

13、作为优选,所述抬升组件设置在所述底座本体的进料端;所述抬升组件还包括抬升气缸,所述抬升气缸设置在所述底座本体内,所述抬升气缸的活塞杆伸出所述底座本体,所述抬升块设置在所述抬升气缸的活塞杆上。

14、作为优选,所述抬升块上开设有插接槽,所述插接槽与片盒的端盖适配;所述抬升气缸的对侧设置有引导块,所述引导块升开设有引导槽,所述引导槽的侧壁开设有引导缺口;所述底座本体的顶部设置有接漏盒,所述接漏盒的入口与所述引导缺口连通。

15、作为优选,所述横向移动副的移动端设置有若干移动气缸,所述移动气缸的活塞杆连接在所述移动支架的底部。

16、作为优选,所述底座本体的顶部设置有若干称重组件,所述称重组件包括滑动设置的称重板,所述称重板适于抬升片盒以称重。

17、本专利技术的有益效果是:

18、1、通过清洗箱和花篮本体,能够对硅片进行有效安装以及清洗;

19、2、通过第一支撑缺口和第二支撑缺口能够有效完成花篮本体的限位,并且第一支撑缺口的深度大于第二支撑缺口的深度,能够使花篮本体倾斜放置,能够使花篮本体内的硅片始终倒向一侧,避免在清洗过程中,被清洗介质搅动,导致硅片左右晃动,从而避免硅片的破碎。

20、3、通过竖直移动副和水平移动副,能够完成夹持组件的平面移动,能够将片盒从物料台上输送至清洗槽内;

21、4、一侧的夹持头滑动设置,能够适配物料台上倾斜角度不同的片盒,并且能够将片盒从清洗槽取出时,进行不同倾斜角度的沥水。

22、5、通过承托座能够对前道工序的片盒进行承托放置,并且能够供后道工序的机械手拿取;

23、6、滑动设置的移动支架能够抓取片盒并抬起,并且配合横向移动副能够将片盒进行输送;

24、7、通过抬升组件,能够将离开承托座的片盒的一端进行抬升,以使片盒倾斜沥水。

25、本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本专利技术而了解。

26、为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片清洗设备,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的硅片清洗设备,其特征在于,

3.如权利要求2所述的硅片清洗设备,其特征在于,

4.如权利要求3所述的硅片清洗设备,其特征在于,

5.如权利要求4所述的硅片清洗设备,其特征在于,

6.如权利要求5所述的硅片清洗设备,其特征在于,

7.如权利要求6所述的硅片清洗设备,其特征在于,

8.如权利要求7所述的硅片清洗设备,其特征在于,

9.如权利要求8所述的硅片清洗设备,其特征在于,

10.如权利要求9所述的硅片清洗设备,其特征在于,

11.如权利要求10所述的硅片清洗设备,其特征在于,

12.如权利要求11所述的硅片清洗设备,其特征在于,

13.如权利要求12所述的硅片清洗设备,其特征在于,

14.如权利要求13所述的硅片清洗设备,其特征在于,

【技术特征摘要】

1.一种硅片清洗设备,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的硅片清洗设备,其特征在于,

3.如权利要求2所述的硅片清洗设备,其特征在于,

4.如权利要求3所述的硅片清洗设备,其特征在于,

5.如权利要求4所述的硅片清洗设备,其特征在于,

6.如权利要求5所述的硅片清洗设备,其特征在于,

7.如权利要求6所述的硅片清洗设备,其特征在于,

8.如...

【专利技术属性】
技术研发人员:左国军万红朝余兴梅
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司
类型:发明
国别省市:

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