【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及半导体气流控制，具体涉及一种真空控压装置。
技术介绍
1、在半导体工业领域，化学气相薄膜沉积是一种非常灵活、应用极为广泛的工艺方法，其外延生长显示出与其他外延方法无与伦比的优越性，即使在化学性质完全不同的衬底上，利用化学气相沉积也能产生出晶格常数与衬底匹配良好的外延薄膜。此外，利用化学气相沉积还可生产耐磨、耐蚀、抗氧化、抗冲蚀等功能涂层。
2、化学气相薄膜沉积工艺所对应的设备是高度复杂的，对其配套的流控部件有着高灵敏度，高寿命，低故障率的要求。是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种真空控压装置，通过设置可以调节直径的蝶板，可以实现对蝶板与阀体之间的间隙大小，调节操作较为方便，能够精准地控制真空腔内部的真空度，并能够承接颗粒状副产品物，以满足半导体行业不同的工艺制程所需真空环境。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种真空控压装置，包括阀体、蝶板和阀杆，所述蝶板安装于所述阀杆上，置于所述阀体内部，所述阀杆上部和下部分别穿过所述阀体，还包括：
3、所述蝶板与所述阀体之间存在着第一间隙，所述蝶板为可调直径蝶板，以实现对所述第一间隙的尺寸进行调节；
4、支架，所述支架安装于所述阀体上，所述阀杆穿过所述支架安装于所述阀体上；
5、第一轴承，所述第一轴承安装于所述支架上，所述阀杆穿过所述第一轴承；
6、第二轴承，所述第二轴承安装于所述阀体上，所述阀杆端部插入所述第
7、优选的，所述蝶板包括安装板、调节部和两组调节板，所述调节部用于驱动两组所述调节板运动，使得两组所述调节板之间的距离发生变化，从而实现所述蝶板的直径调节。
8、优选的，所述调节板包括一体成型的弧形板和齿轮板，所述齿轮板靠近所述调节部的一侧设置有啮合齿，所述调节部包括齿轮和调节旋钮，所述齿轮与所述啮合齿之间相啮合，所述调节旋钮用于转动所述齿轮。
9、优选的，所述齿轮板上开设有定位槽，所述定位槽上有所述定位杆穿过，所述定位杆与所述安装板之间相连接。
10、优选的，所述安装板上开设有安装孔，所述阀杆上开设有螺纹槽，所述蝶板通过螺钉穿过所述安装孔安装于所述阀杆上。
11、优选的，所述真空控压装置还包括密封圈，所述密封圈套设于所述阀杆上，所述密封圈与所述阀体和所述支架之间密封接触。
12、优选的，所述密封圈为o型圈，所述密封圈采用全氟醚橡胶制成。
13、优选的，所述第一轴承包括滚动轴承，所述阀杆上部与所述滚动轴承之间相连接；
14、和/或，所述第二轴承包括滑动轴承，所述阀杆底端与所述滑动轴承之间相连接。
15、优选的，所述阀杆顶部包括光杆段，所述光杆段通过联轴器与外部驱动装置相连接。
16、优选的，所述支架采用复合材料制成，所述支架顶部开设有与所述联轴器相配合的安装口。
17、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
18、通过设置可以调节直径的蝶板，可以实现对蝶板与阀体之间的间隙大小，调节操作较为方便，能够精准地控制真空腔内部的真空度，并能够承接颗粒状副产品物，以满足半导体行业不同的工艺制程所需真空环境。
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1.一种真空控压装置，包括阀体、蝶板和阀杆，所述蝶板安装于所述阀杆上，置于所述阀体内部，所述阀杆上部和下部分别穿过所述阀体，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的真空控压装置，其特征在于，所述蝶板包括安装板、调节部和两组调节板，所述调节部用于驱动两组所述调节板运动，使得两组所述调节板之间的距离发生变化，从而实现所述蝶板的直径调节。
3.根据权利要求2所述的真空控压装置，其特征在于，所述调节板包括一体成型的弧形板和齿轮板，所述齿轮板靠近所述调节部的一侧设置有啮合齿，所述调节部包括齿轮和调节旋钮，所述齿轮与所述啮合齿之间相啮合，所述调节旋钮用于转动所述齿轮。
4.根据权利要求3所述的真空控压装置，其特征在于，所述齿轮板上开设有定位槽，所述定位槽上有所述定位杆穿过，所述定位杆与所述安装板之间相连接。
5.根据权利要求2所述的真空控压装置，其特征在于，所述安装板上开设有安装孔，所述阀杆上开设有螺纹槽，所述蝶板通过螺钉穿过所述安装孔安装于所述阀杆上。
6.根据权利要求1所述的真空控压装置，其特征在于，所述真空控压装置还包括
7.根据权利要求6所述的真空控压装置，其特征在于，所述密封圈为O型圈，所述密封圈采用全氟醚橡胶制成。
8.根据权利要求1所述的真空控压装置，其特征在于，所述第一轴承包括滚动轴承，所述阀杆上部与所述滚动轴承之间相连接；
9.根据权利要求1所述的真空控压装置，其特征在于，所述阀杆顶部包括光杆段，所述光杆段通过联轴器与外部驱动装置相连接。
10.根据权利要求9所述的真空控压装置，其特征在于，所述支架采用复合材料制成，所述支架顶部开设有与所述联轴器相配合的安装口。
...【技术特征摘要】
1.一种真空控压装置，包括阀体、蝶板和阀杆，所述蝶板安装于所述阀杆上，置于所述阀体内部，所述阀杆上部和下部分别穿过所述阀体，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的真空控压装置，其特征在于，所述蝶板包括安装板、调节部和两组调节板，所述调节部用于驱动两组所述调节板运动，使得两组所述调节板之间的距离发生变化，从而实现所述蝶板的直径调节。
3.根据权利要求2所述的真空控压装置，其特征在于，所述调节板包括一体成型的弧形板和齿轮板，所述齿轮板靠近所述调节部的一侧设置有啮合齿，所述调节部包括齿轮和调节旋钮，所述齿轮与所述啮合齿之间相啮合，所述调节旋钮用于转动所述齿轮。
4.根据权利要求3所述的真空控压装置，其特征在于，所述齿轮板上开设有定位槽，所述定位槽上有所述定位杆穿过，所述定位杆与所述安装板之间相连接。
5.根据权利要求2所述的真空控压...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾杨庆，朱永刚，张翠花，
申请(专利权)人：星奇上海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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