【技术实现步骤摘要】
本技术涉及黑色光刻胶生产用控温箱，具体为一种黑色光刻胶生产用控温箱。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、x-射线胶、电子束胶、离子束胶等，光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业，光刻胶生产使用于将光刻胶按照一定标准进行加工以达到一定目的、效果的过程，在该过程需要用到大量的设备，而控温烘箱就是用于在该过程中对光刻胶起到烘干作用的设备，如申请号为202121423303.6名为一种用于黑色光刻胶生产控制的智能定量控温烘箱，涉及黑色光刻胶生产
，为解决现有黑色光刻胶生产过程中所用智能定量控温烘箱放置架体一般不具备调节烘干处大小的功能，导致定量控温效果一般的问题。所述智能定量控温烘箱本体，所述智能定量控温烘箱本体的内部安装有安装架，且安装架安装有上下两组，安装架一侧的外壁与智能定量控温烘箱本体的内壁可拆卸式连接，所述安装架靠近中间位置处的外壁安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端安装有翻转箱，驱动电机的输出端通过连轴传动件与翻转箱传动连接，所述翻转箱上下两端的外壁均安装有通孔板。
2、上述装置在使用的过程中控温箱在工作过程中，如果因为工作人员操控失误，导致控温箱内温度过高或者烘干时间过长的话，就算及时发现掐断电源，但置于内部的光刻胶温度也需要一段时间才能下降，而这段时间可能导致光刻胶因温度过高成为废品；所以我们提出了一
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种黑色光刻胶生产用控温箱，以解决上述
技术介绍
中提出的现有控温箱在工作过程中，如果因为工作人员操控失误，导致控温箱内温度过高或者烘干时间过长的话，就算及时发现掐断电源，但置于内部的光刻胶温度也需要一段时间才能下降，而这段时间可能导致光刻胶因温度过高成为废品的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种黑色光刻胶生产用控温箱，包括控温箱主体，所述控温箱主体上设置有旋转连接合页，所述旋转连接合页固定端与控温箱主体螺栓连接，所述旋转连接合页活动端上设置有隔温箱门，所述隔温箱门与旋转连接合页活动端螺栓连接，还包括温度传感器组件，所述温度传感器组件设置在控温箱主体外表面，所述温度传感器组件与控温箱主体螺栓连接，所述温度传感器组件上设置有加压泵，所述加压泵与温度传感器组件螺栓连接，所述加压泵在远离温度传感器组件的一端上设置有输入管，所述输入管延伸至控温箱主体内，所述输入管与加压泵焊接连接。
3、优选的，所述输入管上开设有低温气体存储罐插孔，所述低温气体存储罐插孔与输入管为一体设置。
4、优选的，所述控温箱主体后端上开设有出风口，所述出风口与控温箱主体为一体设置。
5、优选的，所述隔温箱门上设置有开启把手，所述开启把手与隔温箱门焊接连接。
6、优选的，所述隔温箱门上设置有透明观察窗，所述透明观察窗与隔温箱门螺栓连接。
7、优选的，所述控温箱主体上设置有运行信号指示灯，所述运行信号指示灯与控温箱主体电性连接。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
9、1、本技术通过在控温箱主体上设置有旋转连接合页，旋转连接合页固定端与控温箱主体螺栓连接，旋转连接合页活动端上设置有隔温箱门，隔温箱门与旋转连接合页活动端螺栓连接，还包括温度传感器组件，温度传感器组件设置在控温箱主体外表面，温度传感器组件与控温箱主体螺栓连接，温度传感器组件上设置有加压泵，加压泵与温度传感器组件螺栓连接，加压泵在远离温度传感器组件的一端上设置有输入管，输入管延伸至控温箱主体内，输入管与加压泵焊接连接，输入管上开设有低温气体存储罐插孔，低温气体存储罐插孔与输入管为一体设置，控温箱主体后端上开设有出风口，出风口与控温箱主体为一体设置，在控温箱主体工作时，先将内部存储有低温气体的存储罐插入低温气体存储罐插孔内，存储罐内的低温气体充入输入管内，但因为温度传感器组件内设置有断流阀，所以低温气体暂时无法进入控温箱主体内，当控温箱主体内温度较高时，被温度传感器组件内的温度传感器检测到，温度传感器发送信号给单片机结构，单片机结构控制断流阀开启，使低温气体进入控温箱主体内进行降温，有效地避免了现有控温箱在工作过程中，如果因为工作人员操控失误，导致控温箱内温度过高或者烘干时间过长的话，就算及时发现掐断电源，但置于内部的光刻胶温度也需要一段时间才能下降，而这段时间可能导致光刻胶因温度过高成为废品的问题。
10、2、通过在隔温箱门上设置有透明观察窗，透明观察窗与隔温箱门螺栓连接，透明观察窗的设置可以在控温箱主体工作过程中，工作人员无需打开隔温箱门也可以观察到控温箱主体内部的工作情况。
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1.一种黑色光刻胶生产用控温箱，包括控温箱主体（1），所述控温箱主体（1）上设置有旋转连接合页（2），所述旋转连接合页（2）固定端与控温箱主体（1）螺栓连接，所述旋转连接合页（2）活动端上设置有隔温箱门（3），所述隔温箱门（3）与旋转连接合页（2）活动端螺栓连接；
2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述输入管（8）上开设有低温气体存储罐插孔（9），所述低温气体存储罐插孔（9）与输入管（8）为一体设置。
3.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述控温箱主体（1）后端上开设有出风口（11），所述出风口（11）与控温箱主体（1）为一体设置。
4.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述隔温箱门（3）上设置有开启把手（4），所述开启把手（4）与隔温箱门（3）焊接连接。
5.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述隔温箱门（3）上设置有透明观察窗（6），所述透明观察窗（6）与隔温箱门（3）螺栓连接。
6.根据权利要求1所述的一种
...【技术特征摘要】
1.一种黑色光刻胶生产用控温箱，包括控温箱主体（1），所述控温箱主体（1）上设置有旋转连接合页（2），所述旋转连接合页（2）固定端与控温箱主体（1）螺栓连接，所述旋转连接合页（2）活动端上设置有隔温箱门（3），所述隔温箱门（3）与旋转连接合页（2）活动端螺栓连接；
2.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述输入管（8）上开设有低温气体存储罐插孔（9），所述低温气体存储罐插孔（9）与输入管（8）为一体设置。
3.根据权利要求1所述的一种黑色光刻胶生产用控温箱，其特征在于：所述控温箱主体（1）后端上开设有出风口（11...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗健，李红岩，
申请(专利权)人：江苏博砚电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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