【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体塑封领域，更具体地说，它涉及一种裁切模刀具损坏的检测结构。
技术介绍
1、半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。封装过程为：来自晶圆前道工艺的晶圆通过划片工艺后被切割为小的晶片（die），然后将切割好的晶片用胶水贴装到相应的基板（引线框架）架的小岛上，再利用超细的金属（金锡铜铝）导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘（bond pad）连接到基板的相应引脚（lead），并构成所要求的电路；然后再将基板片材置于注塑模具中进行注塑封装，使各晶片外形成注塑封装体。
2、在半导体塑封工艺中，经过塑封完基板片材的框架流道位置会有emc残留在上面，需要将多余的流道上的emc切掉，以便后续工艺继续进行，这就需要用到裁切模具去进行裁切，但在生产过程中难免会出现刀具损坏，导致产品无法裁切干净，或者造成产品损坏，为了避免出现批量性的不良损失，这就需要快速判别料片状态和模具状态，判断模具刀具是否损坏，而由于裁切刀具的位置限定，以及裁切刀具需要连续工作，因此不易于直接对裁切刀具进行检测，现有技术中通过裁切后的基板上的封装体的裁切后的效果进行检测即可判断刀具是否损坏。
3、而在裁切废料的过程中，会有部分废料附着在封装体上没有脱离，在后续检测时会影响检测结果，因此，在检测前需要抖动或者使用清洁设备将附着在封装体上的废料清除，但对于一些封装厚度较大，封装体质量较重的半导体而言，封装体在基板上的惯性较大，而基板本身为薄金属板，具有一定的弹性，因此，无论是抖动基板还是使用清洁设备清除封
技术实现思路
1、本专利技术提供一种裁切模刀具损坏的检测结构，解决相关技术中视觉检测模切后产品时片材中塑封体振动导致检测系统图像采集失误的技术问题。
2、本专利技术提供了一种裁切模刀具损坏的检测结构，包括裁切模具、取料机构和视觉检测组件，裁切模具位于模切工位，取料机构位于模切工位和收料工位之间，取料机构包括夹爪组件，夹爪组件用于将模切完成片材从裁切模具中夹取并向收料工位处输送，视觉检测组件位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且视觉检测组件位于夹爪组件的运输轨迹下方；
3、视觉检测组件包括视觉识别相机和光源，光源位于视觉识别相机上方，光源中部设置有镜头孔，视觉识别相机用于对经过检测工位的基板和塑封体进行视觉识别；
4、夹爪组件中设置有塑封体固定器，塑封体固定器在基板经过检测工位时，对基板上的各塑封体进行固定，避免检测过程中塑封体产生振动。
5、在一个优选的实施方式中，取料机构还包括横向驱动器和竖向驱动器，竖向驱动器设置在横向驱动器的输出端上，夹爪组件设置在竖向驱动器的输出端上，横向驱动器用于驱动竖向驱动器横向移动，竖向驱动器用于驱动夹爪组件竖向升降运动。
6、在一个优选的实施方式中，夹爪组件包括夹取座，夹取座的两侧均设置有夹爪，夹爪通过夹爪驱动器与夹取座连接，夹爪驱动器用于驱动两组夹爪相互靠近或相互远离，夹爪组件固定安装在竖向驱动器的输出端上，夹取座的底部设置有定位板，塑封体固定器固定安装在定位板的底部。
7、在一个优选的实施方式中，塑封体固定器为板状结构，塑封体固定器的底部对应各塑封体的位置处均设置有锥形凸起，锥形凸起的中部设置有负压吸附孔，定位板的内部设置有空腔，负压吸附孔与空腔连通，定位板上设置有抽气管，抽气管与空腔连通，抽气管连接抽气设备，抽气设备通过抽气管对定位板中抽气时在负压吸附孔处形成负压，该负压用于吸附塑封体。
8、在一个优选的实施方式中，锥形凸起上还设置有吹气孔，吹气孔倾斜设置，且吹气孔对应塑封体的棱边设置，定位板上还设置有吹气管，吹气管与空腔连通，且吹气管连接吹气设备，吹气孔与空腔连通，吹气管和抽气管中均设置有单向阀，吹气孔中设置有逆止组件，吹气孔吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体的棱边设置，吹气设备连接低温气源，向吹气孔中输送低温气体。
9、在一个优选的实施方式中，逆止组件包括封堵球，吹气孔由小孔和大孔组成，小孔位于吹气孔靠近空腔的一端，封堵球的直径大于小孔的孔径且小于大孔的孔径，封堵球活动设于大孔的内部，吹气孔吹气时，封堵球离开小孔，吹气孔导通，当空腔中抽气时，封堵球对小孔进行封堵，吹气孔封闭。
10、在一个优选的实施方式中，大孔的内部安装有圆弧轨迹支撑架，圆弧轨迹支撑架为封堵球提供一个圆弧形运动轨迹，圆弧轨迹支撑架的直径大于封堵球的直径，小孔的中心线偏离圆弧轨迹支撑架的圆心设置。
11、在一个优选的实施方式中，夹爪的底部设置有托举部，托举部用于对基板边缘的底部进行托举，托举部的顶部设置有夹紧气囊，夹紧气囊连接有驱动气管，驱动气管连接充放气设备，定位板对应夹紧气囊的位置处均设置有柔性垫结构。
12、在一个优选的实施方式中，视觉检测组件的下方设置有相机驱动组件，视觉检测组件还包括升降座，视觉识别相机和光源均安装在升降座上，相机驱动组件包括x方向驱动器、y方向驱动器和z方向驱动器，y方向驱动器安装在x方向驱动器的输出端上，z方向驱动器安装在y方向驱动器的输出端上，视觉识别相机安装在z方向驱动器的输出端上，x方向驱动器用于驱动y方向驱动器沿x轴方向移动，y方向驱动器用于驱动z方向驱动器沿y轴方向移动，z方向驱动器用于驱动升降座沿z轴方向移动。
13、在一个优选的实施方式中，视觉识别相机的上方设置有透明盘，透明盘固定安装在转环上，升降座上固定安装有环座，转环转动安装在环座上，升降座上还安装有转动驱动器，转动驱动器用于驱动转环转动。
14、本专利技术的有益效果在于：本专利技术可以在片材模切完成后运输的过程中进行检测，不占用生产时间，不影响生产效率，且通过对裁切后的片材产品进行检测，无需对刀具进行直接检测，不影响刀具的正常工作，而将视觉识别相机和光源设置在夹爪组件的运输轨迹下方，在实际检测时，塑封体会经过不同位置，从而形成相对于视觉识别相机的不同视角，参照说明书附图，在图示中的三组不同位置处，视觉识别相机所能检测的相对视角不同，因此，通过在运输轨迹上进行多位置视觉检测，能够充分的检测出各塑封体的两端的位置情况，从而避免单一位置检测而导致的塑封体底部棱边阻挡检测视角的现象，极大的提高了检测精准性。
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1.一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，包括裁切模具（1）、取料机构（2）和视觉检测组件（3），所述裁切模具（1）位于模切工位，所述取料机构（2）位于模切工位和收料工位之间，所述取料机构（2）包括夹爪组件（21），所述夹爪组件（21）用于将模切完成片材从裁切模具（1）中夹取并向收料工位处输送，所述视觉检测组件（3）位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且所述视觉检测组件（3）位于夹爪组件（21）的运输轨迹下方；
2.根据权利要求1所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述取料机构（2）还包括横向驱动器（22）和竖向驱动器（23），所述竖向驱动器（23）设置在横向驱动器（22）的输出端上，所述夹爪组件（21）设置在竖向驱动器（23）的输出端上，所述横向驱动器（22）用于驱动竖向驱动器（23）横向移动，所述竖向驱动器（23）用于驱动夹爪组件（21）竖向升降运动。
3.根据权利要求2所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述夹爪组件（21）包括夹取座（211），所述夹取座（211）的两侧均设置有夹爪（212），所述夹爪（212）通过夹
4.根据权利要求3所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述塑封体固定器（5）为板状结构，所述塑封体固定器（5）的底部对应各塑封体（7）的位置处均设置有锥形凸起（51），所述锥形凸起（51）的中部设置有负压吸附孔（52），所述定位板（213）的内部设置有空腔（2131），所述负压吸附孔（52）与空腔（2131）连通，所述定位板（213）上设置有抽气管（215），所述抽气管（215）与空腔（2131）连通，所述抽气管（215）连接抽气设备，抽气设备通过所述抽气管（215）对定位板（213）中抽气时在负压吸附孔（52）处形成负压，该负压用于吸附塑封体（7）。
5.根据权利要求4所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述锥形凸起（51）上还设置有吹气孔（53），所述吹气孔（53）倾斜设置，且所述吹气孔（53）对应塑封体（7）的棱边设置，所述定位板（213）上还设置有吹气管（214），所述吹气管（214）与空腔（2131）连通，且所述吹气管（214）连接吹气设备，所述吹气孔（53）与空腔（2131）连通，所述吹气管（214）和抽气管（215）中均设置有单向阀，所述吹气孔（53）中设置有逆止组件，吹气孔（53）吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体（7）的棱边设置，吹气设备连接低温气源，向吹气孔（53）中输送低温气体。
6.根据权利要求5所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述逆止组件包括封堵球（54），所述吹气孔（53）由小孔（531）和大孔（532）组成，所述小孔（531）位于吹气孔（53）靠近空腔（2131）的一端，所述封堵球（54）的直径大于小孔（531）的孔径且小于大孔（532）的孔径，所述封堵球（54）活动设于大孔（532）的内部，吹气孔（53）吹气时，封堵球（54）离开小孔（531），吹气孔（53）导通，当空腔（2131）中抽气时，封堵球（54）对小孔（531）进行封堵，吹气孔（53）封闭。
7.根据权利要求6所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述大孔（532）的内部安装有圆弧轨迹支撑架（533），所述圆弧轨迹支撑架（533）为封堵球（54）提供一个圆弧形运动轨迹，所述圆弧轨迹支撑架（533）的直径大于封堵球（54）的直径，所述小孔（531）的中心线偏离圆弧轨迹支撑架（533）的圆心设置。
8.根据权利要求7所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述夹爪（212）的底部设置有托举部（2121），所述托举部（2121）用于对基板（6）边缘的底部进行托举，所述托举部（2121）的顶部设置有夹紧气囊（8），所述夹紧气囊（8）连接有驱动气管（81），所述驱动气管（81）连接充放气设备，所述定位板（213）对应夹紧气囊（8）的位置处均设置有柔性垫结构。
9.根据权利要求8所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述视觉检测组件（3）的下方设置有相机驱动组件（4），所述视觉检测组件（3）还包括升降座（33），所述视觉识别相机（31）和光源（32）均安装在升降座（33）上，所述相机驱动组件（4）包括X方向驱动器（41）、Y方向驱动器（42）和Z...
【技术特征摘要】
1.一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，包括裁切模具（1）、取料机构（2）和视觉检测组件（3），所述裁切模具（1）位于模切工位，所述取料机构（2）位于模切工位和收料工位之间，所述取料机构（2）包括夹爪组件（21），所述夹爪组件（21）用于将模切完成片材从裁切模具（1）中夹取并向收料工位处输送，所述视觉检测组件（3）位于模切工位和收料工位之间的检测工位处，且所述视觉检测组件（3）位于夹爪组件（21）的运输轨迹下方；
2.根据权利要求1所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述取料机构（2）还包括横向驱动器（22）和竖向驱动器（23），所述竖向驱动器（23）设置在横向驱动器（22）的输出端上，所述夹爪组件（21）设置在竖向驱动器（23）的输出端上，所述横向驱动器（22）用于驱动竖向驱动器（23）横向移动，所述竖向驱动器（23）用于驱动夹爪组件（21）竖向升降运动。
3.根据权利要求2所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述夹爪组件（21）包括夹取座（211），所述夹取座（211）的两侧均设置有夹爪（212），所述夹爪（212）通过夹爪驱动器（2111）与夹取座（211）连接，所述夹爪驱动器（2111）用于驱动两组夹爪（212）相互靠近或相互远离，所述夹爪组件（21）固定安装在竖向驱动器（23）的输出端上，所述夹取座（211）的底部设置有定位板（213），所述塑封体固定器（5）固定安装在定位板（213）的底部。
4.根据权利要求3所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述塑封体固定器（5）为板状结构，所述塑封体固定器（5）的底部对应各塑封体（7）的位置处均设置有锥形凸起（51），所述锥形凸起（51）的中部设置有负压吸附孔（52），所述定位板（213）的内部设置有空腔（2131），所述负压吸附孔（52）与空腔（2131）连通，所述定位板（213）上设置有抽气管（215），所述抽气管（215）与空腔（2131）连通，所述抽气管（215）连接抽气设备，抽气设备通过所述抽气管（215）对定位板（213）中抽气时在负压吸附孔（52）处形成负压，该负压用于吸附塑封体（7）。
5.根据权利要求4所述的一种裁切模刀具损坏的检测结构，其特征在于，所述锥形凸起（51）上还设置有吹气孔（53），所述吹气孔（53）倾斜设置，且所述吹气孔（53）对应塑封体（7）的棱边设置，所述定位板（213）上还设置有吹气管（214），所述吹气管（214）与空腔（2131）连通，且所述吹气管（214）连接吹气设备，所述吹气孔（53）与空腔（2131）连通，所述吹气管（214）和抽气管（215）中均设置有单向阀，所述吹气孔（53）中设置有逆止组件，吹气孔（53）吹出气流时，其吹出的气流方向经过塑封体（7...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈皓，王辅兵，罗长江，邹流生，
申请(专利权)人：苏州赛肯智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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