【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹具，具体涉及一种半导体镀膜夹具。
技术介绍
1、半导体镀膜夹具是用于在半导体制造过程中进行薄膜镀覆的工具。薄膜镀覆是将一层薄膜沉积在半导体器件或基片表面的过程，这可以改变器件的电学、光学或化学性质。
2、现有的半导体镀膜夹具在使用时，常通过螺纹杆带动两组夹块相互靠近进而使得对半导体基片进行夹持固定，而通过采用螺纹杆带动夹块和半导体基片的端面接触，其夹块对半导体基片的夹持力难以控制，众所周知半导体基片较为脆弱，若对半导体基片施加的夹持力较大则会导致半导体基片损坏，若夹持力过小则会导致半导体基片掉落。
3、为此提出一种半导体镀膜夹具。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术提供了一种半导体镀膜夹具。
2、本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
3、一种半导体镀膜夹具，包括底座和半导体基片，所述底座的内侧底部固定安装有绝缘支座，所述绝缘支座的顶端固定安装有用于绝缘的绝缘板，所述底座左右两侧内壁设置有夹持组件，所述底座的顶面以及夹持组件的活动端固定安装有用于对半导体基片进行夹持的夹块组件，所述夹块组件的夹持部固定安装有弹片，所述弹片的表面镶嵌安装有橡胶垫。
4、进一步地，所述绝缘支座在底座的内侧底部呈矩形阵列设置，且绝缘支座和绝缘板均采用陶瓷材料制成，所述绝缘板通过绝缘支座和底座呈固定安装，且绝缘板的顶面和底座的顶面相齐平。
5、进一步地，所述夹持组件包括轨道，所述
6、进一步地，所述夹块组件包括l形安装板，所述底座的顶面和活动架的前后两侧内壁固定安装有l形安装板，所述l形安装板的顶面插接安装有夹持块，所述l形安装板和夹持块的顶面均开设有螺纹孔，且螺纹孔内螺纹插接有安装螺栓，所述夹持块的一侧壁固定安装有弹片。
7、进一步地，所述滑块在导向杆的表面以及轨道的内部呈滑动安装设置，且活动架在底座的内部呈滑动安装设置。
8、进一步地，所述夹持块的底面开设有凹槽，且夹持块底面的凹槽和l形安装板的顶面呈插接设置，并且夹持块表面的弹片呈圆弧状。
9、本技术的有益效果如下：
10、1、本技术通过拉动右侧的夹块组件使得夹块组件在夹持组件的移动端作用下沿底座的内部滑动，进而使得对两组夹块组件进行分离，将半导体基片放置至绝缘板的顶面，通过夹持组件的移动端带动右侧夹块组件在底座内移动，使得两组夹块组件相互靠近，进而使得弹片表面的橡胶垫和半导体基片的端面接触，使得对弹片进行压缩，通过弹片的弹力作用下使得经过橡胶垫对半导体基片进行固定，使得对半导体基片进行适力夹持防止半导体基片掉落，进而防止夹持力过大而损坏半导体基片。
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1.一种半导体镀膜夹具，其特征在于，包括底座(1)和半导体基片(8)，所述底座(1)的内侧底部固定安装有绝缘支座(2)，所述绝缘支座(2)的顶端固定安装有用于绝缘的绝缘板(3)，所述底座(1)左右两侧内壁设置有夹持组件(4)，所述底座(1)的顶面以及夹持组件(4)的活动端固定安装有用于对半导体基片(8)进行夹持的夹块组件(5)，所述夹块组件(5)的夹持部固定安装有弹片(6)，所述弹片(6)的表面镶嵌安装有橡胶垫(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述绝缘支座(2)在底座(1)的内侧底部呈矩形阵列设置，且绝缘支座(2)和绝缘板(3)均采用陶瓷材料制成，所述绝缘板(3)通过绝缘支座(2)和底座(1)呈固定安装，且绝缘板(3)的顶面和底座(1)的顶面相齐平。
3.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述夹持组件(4)包括轨道(401)，所述底座(1)的内侧底部固定安装有轨道(401)，所述底座(1)的左右两侧内壁且位于轨道(401)的内部固定安装有导向杆(402)，所述导向杆(402)的表面套设有弹簧(403)，所述
4.根据权利要求3所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述夹块组件(5)包括L形安装板(501)，所述底座(1)的顶面和活动架(405)的前后两侧内壁固定安装有L形安装板(501)，所述L形安装板(501)的顶面插接安装有夹持块(502)，所述L形安装板(501)和夹持块(502)的顶面均开设有螺纹孔，且螺纹孔内螺纹插接有安装螺栓(503)，所述夹持块(502)的一侧壁固定安装有弹片(6)。
5.根据权利要求3所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述滑块(404)在导向杆(402)的表面以及轨道(401)的内部呈滑动安装设置，且活动架(405)在底座(1)的内部呈滑动安装设置。
6.根据权利要求4所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述夹持块(502)的底面开设有凹槽，且夹持块(502)底面的凹槽和L形安装板(501)的顶面呈插接设置，并且夹持块(502)表面的弹片(6)呈圆弧状。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体镀膜夹具，其特征在于，包括底座(1)和半导体基片(8)，所述底座(1)的内侧底部固定安装有绝缘支座(2)，所述绝缘支座(2)的顶端固定安装有用于绝缘的绝缘板(3)，所述底座(1)左右两侧内壁设置有夹持组件(4)，所述底座(1)的顶面以及夹持组件(4)的活动端固定安装有用于对半导体基片(8)进行夹持的夹块组件(5)，所述夹块组件(5)的夹持部固定安装有弹片(6)，所述弹片(6)的表面镶嵌安装有橡胶垫(7)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述绝缘支座(2)在底座(1)的内侧底部呈矩形阵列设置，且绝缘支座(2)和绝缘板(3)均采用陶瓷材料制成，所述绝缘板(3)通过绝缘支座(2)和底座(1)呈固定安装，且绝缘板(3)的顶面和底座(1)的顶面相齐平。
3.根据权利要求1所述的一种半导体镀膜夹具，其特征在于，所述夹持组件(4)包括轨道(401)，所述底座(1)的内侧底部固定安装有轨道(401)，所述底座(1)的左右两侧内壁且位于轨道(401)的内部固定安装有导向杆(402)，所述导向杆(402)的表面套设有弹簧(403)，所述导向杆(402)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张远昊，南炳允，刘载安，
申请(专利权)人：东领科技装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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