【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于监测设备，具体地说，涉及一种半导体洁净厂房用监测设备及监测方法。
技术介绍
1、洁净厂房是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体，洁净厂房被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中半导体产业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格，故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响，因此需要在洁净厂房内安装多个不同种类的环境检测器来对洁净厂房进行监测，常见的用于半导体洁净厂房洁净度监测的仪器包括使用颗粒物计数仪与颗粒物分析仪，颗粒物计数仪能够实时测量和记录洁净室内空气中不同尺寸范围的颗粒物数量，并将其以颗粒物数量浓度的形式展示，通过监测颗粒物浓度，可以及时发现和解决半导体洁净厂房内的污染源，以确保半导体洁净厂房的正常运行，颗粒物分析仪则可以对颗粒物进行更详细的分析，包括颗粒物的尺寸分布、化学成分等。
2、但是现有的监测仪器多采用固定式安装，并且半导体洁净厂房内部安装有大量生产设备，并且监测设备受制于设备自身的监测能力，因此针对半导体洁净厂房内部监测的覆盖范围有限，使得半导体洁净厂房内的颗粒物无法被及时监测到，进而无法满足正常监测需求，有鉴于此特提出本专利技术。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种可以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的半导体洁净厂房用监测设备及监测方法。
2、
3、为了便于对气体收集网壳进行展开与收纳，进一步地，所述驱动组件包括电机、双向丝杆、移动块以及调节杆，所述电机固定连接在固定板框的上端，所述双向丝杆转动连接在固定板框内的中间位置，所述双向丝杆的上端与电机的输出端固定连接，所述移动块通过螺纹对称连接在双向丝杆上，所述调节杆对称转动连接在移动块的两侧，所述调节杆远离移动块的一端与相邻的气体收集网壳之间转动连接。
4、为了便于对该设备起到防碰撞的效果，进一步地，所述四向穿梭车的四个外壁面均固定连接有感应探头。
5、为了便于对检测后的空气进行净化处理，进一步地，所述四向穿梭车靠近浓度检测机排气口的一侧开设有净化空腔，所述浓度检测机的排气口与净化空腔之间通过连接气管相接通，所述净化空腔远离连接气管的一侧接通有排气管，所述净化空腔内插接活性碳板，所述活性碳板向上延伸出净化空腔。
6、为了便于对浓度检测机进行夹持固定，提高其在放置槽内的稳定性，进一步地，所述放置槽内对称固定连接有两组张紧弹簧，两组所述张紧弹簧靠近浓度检测机的一端均固定连接有夹紧板，所述夹紧板与浓度检测机相贴。
7、为了便于在运输或收纳时，对固定板框进行折叠收纳，降低该设备的占用空间，进一步地，所述固定板框与四向穿梭车之间通过合页铰链转动连接。
8、为了便于提高固定板框在竖直放置时的稳定性，更进一步地，所述四向穿梭车靠近固定板框的一侧内嵌安装有第一磁板，所述固定板框底部内嵌安装有与第一磁板相吸的第二磁板。
9、为了避免固定板框放倒后，对多接口输气管造成压伤，更进一步地，所述四向穿梭车上开设有与多接口输气管配合使用的收纳槽口。
10、为了便于使该设备的重心可以位于中部，提高该设备的稳定性，进一步地，所述四向穿梭车远离固定板框的一侧对称内嵌安装有两个配重块。
11、一种半导体洁净厂房用监测设备的监测方法，主要包括以下步骤：
12、s1：工作人员便首先将该设备运送到半导体洁净厂房内，并对外界主控设备进行电信号连接，然后再对其进行功能测试，当全部功能测试均合格后，便可投入使用；
13、s2：接着便可启动电机通过双向丝杆带动两个移动块相互靠近，然后两个移动块便会通过调节杆带动每组两个气体收集网壳向外侧转动伸出固定板框，使两组气体收集网壳分别位于半导体洁净厂房的高处和低处位置；
14、s3：当两组气体收集网壳展开后，此时便可控制四向穿梭车在半导体洁净厂房内按照规定的轨迹路线进行移动，感应探头可以对四向穿梭车到周围物体的距离进行监测；
15、s4：在控制四向穿梭车移动的同时，启动浓度检测机通过多接口输气管对气体收集网壳产生吸力，然后半导体洁净厂房内高处和低处位置上的空气便会同步吸取到浓度检测机内进行检测。
16、采用上述技术方案后，本专利技术与现有技术相比具有以下有益效果：本专利技术通过四向穿梭车、固定板框、电机、双向丝杆、移动块、调节杆、气体收集网壳以及多接口输气管等的配合使用，当需要对半导体洁净厂房内的空气质量进行实时监测时，可以带着浓度检测机在半导体洁净厂房内进行全放巡逻式移动，相较于传统固定的监测设备，该设备可以覆盖更广泛的空间范围，无需再在半导体洁净厂房的不同位置安装多个空气质量检测器，有效地降低了监测成本，同时在将半导体洁净厂房内空气输送进浓度检测机内进行检测时，可以对半导体洁净厂房内高处和低处位置上的空气进行同步吸取并对其进行实时监测分析，进而便于获取更全面的监测数据，进一步提高对半导体洁净厂房内空气质量监测的精准度。
17、下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的描述。
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1.一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，包括四向穿梭车(1)，所述四向穿梭车(1)上开设有放置槽(101)，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机(303)、双向丝杆(304)、移动块(305)以及调节杆(306)，所述电机(303)固定连接在固定板框(3)的上端，所述双向丝杆(304)转动连接在固定板框(3)内的中间位置，所述双向丝杆(304)的上端与电机(303)的输出端固定连接，所述移动块(305)通过螺纹对称连接在双向丝杆(304)上，所述调节杆(306)对称转动连接在移动块(305)的两侧，所述调节杆(306)远离移动块(305)的一端与相邻的气体收集网壳(4)之间转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)的四个外壁面均固定连接有感应探头(109)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)靠近浓度检测机(2)排气口的一侧开设有净化空腔(102)，所述浓度检测机(2)的排
5.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述放置槽(101)内对称固定连接有两组张紧弹簧(104)，两组所述张紧弹簧(104)靠近浓度检测机(2)的一端均固定连接有夹紧板(105)，所述夹紧板(105)与浓度检测机(2)相贴。
6.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述固定板框(3)与四向穿梭车(1)之间通过合页铰链转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)靠近固定板框(3)的一侧内嵌安装有第一磁板(108)，所述固定板框(3)底部内嵌安装有与第一磁板(108)相吸的第二磁板(302)。
8.根据权利要求6所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)上开设有与多接口输气管(201)配合使用的收纳槽口(103)。
9.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)远离固定板框(3)的一侧对称内嵌安装有两个配重块(107)。
10.一种半导体洁净厂房用监测设备的监测方法，用于根据权利要求3所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，主要包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，包括四向穿梭车(1)，所述四向穿梭车(1)上开设有放置槽(101)，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述驱动组件包括电机(303)、双向丝杆(304)、移动块(305)以及调节杆(306)，所述电机(303)固定连接在固定板框(3)的上端，所述双向丝杆(304)转动连接在固定板框(3)内的中间位置，所述双向丝杆(304)的上端与电机(303)的输出端固定连接，所述移动块(305)通过螺纹对称连接在双向丝杆(304)上，所述调节杆(306)对称转动连接在移动块(305)的两侧，所述调节杆(306)远离移动块(305)的一端与相邻的气体收集网壳(4)之间转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)的四个外壁面均固定连接有感应探头(109)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体洁净厂房用监测设备，其特征在于，所述四向穿梭车(1)靠近浓度检测机(2)排气口的一侧开设有净化空腔(102)，所述浓度检测机(2)的排气口与净化空腔(102)之间通过连接气管相接通，所述净化空腔(102)远离连接气管的一侧接通有排气管，所述净化空腔(102)内插接活性碳板(106)，所述活性...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚威，
申请(专利权)人：苏州庶有成自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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