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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光谱分析设备,具体而言,涉及一种光传递装置及光谱仪。
技术介绍
1、传统的i cp-oes中阶梯光谱仪有两种光学系统结构:一种是单道扫描型,通过中阶梯光栅角度变化使谱线依次进入检测器,该类型光谱仪分析样品的范围更广,适用于较宽的波长范围,但分析时间过长且不能同时测量多光谱被逐渐淘汰;目前市面上的全谱直读型i cp-oes采用中阶梯光栅与棱镜交叉色散分光系统,不仅克服了单道扫描光谱仪速度慢的缺点,而且所有的元件都牢固地安置在机座上成为一个整体,没有任何活动的光学器件,因此具有较好的波长稳定性。
2、也就是由于光谱仪自身限制太多,无可活动空间,导致中阶梯光栅入射角固定,在保证ar斑不饱和(谱线定位)的情况下,还要兼顾紫外性能过关。目前国内外光学镀膜技术在紫外波段的反射率还没有达到理想要求,因此固定的入射角带来了较大限制,紫外性能一直是困扰i cp-oes的一大难题。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是如何改善现有技术中紫外波段的反射率不能达到理想要求的技术问题。
2、本专利技术的实施例可以这样实现:
3、本专利技术提供了一种光传递装置,应用于光谱仪,且所述光传递装置用于接收且反射光源发出的轴向光和径向光,以使所述轴向光和所述径向光反射至检测器,所述光传递装置包括:
4、中阶梯光栅,上开设有多个连续的凹槽;所述凹槽的至少一个内侧壁形成反射面,所述反射面用于反射所述轴向光和所述径向光以使所述轴向光和所述径向光能投射至所
5、第一反射光路组件,用于将所述轴向光沿第一预设方向反射至所述反射面;
6、第二反射光路组件,用于将所述径向光沿第二预设方向反射至所述反射面;
7、其中,所述轴向光沿所述第一预设方向投射在所述反射面上形成的入射角小于所述径向光沿所述第二预设方向投射在所述反射面上形成的入射角。
8、可选地,所述第一反射光路组件包括第一反射组件、第一狭缝装置和第一准直镜;所述第一反射组件用于接收且反射所述轴向光,以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜,所述第一准直镜用于将所述轴向光沿所述第一预设方向反射至所述反射面。
9、可选地,所述第一反射组件包括第一反射镜、第二反射镜和第一轮胎镜;所述第一反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第二反射镜,所述第二反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第一轮胎镜,所述第一轮胎镜用于接收且反射所述轴向光以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜。
10、可选地,所述第二反射光路组件包括第二反射组件、第二狭缝装置和第二准直镜;所述第二反射组件用于接收且反射所述径向光,以使所述径向光穿过所述第二狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第二准直镜,所述第二准直镜用于将所述径向光沿所述第二预设方向反射至所述反射面。
11、可选地,所述第二反射组件包括第三反射镜和第二轮胎镜,所述第三反射镜用于接收所述径向光且反射至所述第二轮胎镜,所述第二轮胎镜用于接收且反射所述径向光以使所述径向光穿过所述第二狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第二准直镜。
12、可选地,所述第二反射镜和所述第三反射镜并行设置,所述第一轮胎镜和所述第二轮胎镜并行设置,所述第一狭缝装置和所述第二狭缝装置并行设置,且使所述轴向光和所述径向光平行传递。
13、可选地,所述光传递装置还包括棱镜;所述棱镜设于所述中阶梯光栅开设所述凹槽的一侧,且使所述轴向光和所述径向光穿过所述棱镜投射至所述反射面,还使所述反射面反射的所述轴向光和所述径向光穿过所述棱镜之后投射至检测器。
14、可选地,所述光传递装置还包括第一成像镜,所述第一成像镜用于接收穿过所述棱镜的所述轴向光,且将所述轴向光聚焦反射至所述检测器。
15、可选地,所述光传递装置还包括第二成像镜,所述第二成像镜用于接收穿过所述棱镜的所述径向光,且将所述径向光聚焦反射至所述检测器。
16、一种光谱仪,包括检测器和上述的光传递装置。
17、本专利技术提供的光传递装置及光谱仪相对于现有技术的有益效果包括:
18、在该光传递装置及光谱仪中,可以同时实现光源轴向光和径向光的反射,进而同时实现径向光和轴向光的接收分析,已实现同步双向观测的目的,极大的提升分析效率,同时也能降低氩气的消耗量,降低分析成本。另外,由于第一反射光路组件反射轴向光至反射面的入射角小于第二反射光路组件反射径向光至反射面的入射角,可以实现优化轴向观测的中阶梯光栅入射角,提升紫外波段的响应强度,优化i cp紫外检测性能。基于此,可以达到改善现有技术中紫外波段的反射率不能达到理想要求的技术问题。
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1.一种光传递装置,应用于光谱仪,且所述光传递装置用于接收且反射光源发出的轴向光和径向光,以使所述轴向光和所述径向光反射至检测器,其特征在于,所述光传递装置包括:
2.根据权利要求1所述的光传递装置,其特征在于,所述第一反射光路组件包括第一反射组件、第一狭缝装置和第一准直镜;所述第一反射组件用于接收且反射所述轴向光,以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜,所述第一准直镜用于将所述轴向光沿所述第一预设方向反射至所述反射面。
3.根据权利要求2所述的光传递装置,其特征在于,所述第一反射组件包括第一反射镜、第二反射镜和第一轮胎镜;所述第一反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第二反射镜,所述第二反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第一轮胎镜,所述第一轮胎镜用于接收且反射所述轴向光以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜。
4.根据权利要求3所述的光传递装置,其特征在于,所述第二反射光路组件包括第二反射组件、第二狭缝装置和第二准直镜;所述第二反射组件用于接收且反射所述径向光,以使所述径向光穿过所述第二
5.根据权利要求4所述的光传递装置,其特征在于,所述第二反射组件包括第三反射镜和第二轮胎镜,所述第三反射镜用于接收所述径向光且反射至所述第二轮胎镜,所述第二轮胎镜用于接收且反射所述径向光以使所述径向光穿过所述第二狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第二准直镜。
6.根据权利要求5所述的光传递装置,其特征在于,所述第二反射镜和所述第三反射镜并行设置,所述第一轮胎镜和所述第二轮胎镜并行设置,所述第一狭缝装置和所述第二狭缝装置并行设置,且使所述轴向光和所述径向光平行传递。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的光传递装置,其特征在于,所述光传递装置还包括棱镜;所述棱镜设于所述中阶梯光栅开设所述凹槽的一侧,且使所述轴向光和所述径向光穿过所述棱镜投射至所述反射面,还使所述反射面反射的所述轴向光和所述径向光穿过所述棱镜之后投射至检测器。
8.根据权利要求7所述的光传递装置,其特征在于,所述光传递装置还包括第一成像镜,所述第一成像镜用于接收穿过所述棱镜的所述轴向光,且将所述轴向光聚焦反射至所述检测器。
9.根据权利要求7所述的光传递装置,其特征在于,所述光传递装置还包括第二成像镜,所述第二成像镜用于接收穿过所述棱镜的所述径向光,且将所述径向光聚焦反射至所述检测器。
10.一种光谱仪,其特征在于,包括检测器和如权利要求1-9中任意一项所述的光传递装置。
...【技术特征摘要】
1.一种光传递装置,应用于光谱仪,且所述光传递装置用于接收且反射光源发出的轴向光和径向光,以使所述轴向光和所述径向光反射至检测器,其特征在于,所述光传递装置包括:
2.根据权利要求1所述的光传递装置,其特征在于,所述第一反射光路组件包括第一反射组件、第一狭缝装置和第一准直镜;所述第一反射组件用于接收且反射所述轴向光,以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜,所述第一准直镜用于将所述轴向光沿所述第一预设方向反射至所述反射面。
3.根据权利要求2所述的光传递装置,其特征在于,所述第一反射组件包括第一反射镜、第二反射镜和第一轮胎镜;所述第一反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第二反射镜,所述第二反射镜用于接收所述轴向光且反射至所述第一轮胎镜,所述第一轮胎镜用于接收且反射所述轴向光以使所述轴向光穿过所述第一狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第一准直镜。
4.根据权利要求3所述的光传递装置,其特征在于,所述第二反射光路组件包括第二反射组件、第二狭缝装置和第二准直镜;所述第二反射组件用于接收且反射所述径向光,以使所述径向光穿过所述第二狭缝装置上的狭缝之后投射至所述第二准直镜,所述第二准直镜用于将所述径向光沿所述第二预设方向反射至所述反射面。
5.根据权利要求4所述的光传递装置,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘超,刘洋,李锐,俞晓峰,洪波,罗正生,徐先明,贾璐,
申请(专利权)人:杭州谱育科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:
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