【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够将使用压制模具进行压制加工时产生的磨碎粉、粉尘等灰尘利用静电力集尘的电集尘器和使用其的压制模具。
技术介绍
1、在压制加工时将被加工品(工件)用模具冲切时，由于冲切的工件与模具的摩擦等，产生磨碎粉、粉尘等尘异物。产生的尘异物由于模具开闭时的负压而流入工件面，或者进而细小的粉尘由于长时间在空中浮游，自然落下而附着于工件上，因此担心成为拉深、弯曲加工时的碰伤、凹陷、损伤等产品不良的原因。
2、因此，对于由这样的尘异物引起的上述不良的对策，以往，例如采用如下方法：在尘异物为磁性金属的情况下采用磁铁吸附或者采用空气抽吸除去。
3、但是，磁铁的适用效果仅限于对象为磁体，因此对于以非磁性金属、其他材质为对象的尘异物没有效果。另一方面，在压制机性质上，粉尘产生最多的冲切瞬间由于模具处于密闭状态，而且模具释放时为负压，因此在这种情况下不能期待采用空气的抽吸，采用空气进行的抽吸的集尘效果低。
4、另一方面，以往也使用对尘异物喷射空气、利用其产生的吹飞效果除去尘异物的方法，例如在专利文献1中，在比其在先的技术中的压制装置中，为了更有效地除去积存在下模具和顶出件之间的尘异物，提出了有效地将压缩气体供给到规定的部位的方法。但是，就这种采用空气的喷射的方法而言，作为喷出大的异物的效果是比较有效的，但是对于粉尘那样的细小的尘异物，反而有可能由于空气而导致卷起、飞散，因此考虑到粉尘那样的细小的尘异物，作为防止对工件附着的效果是有限的。
5、此外，在使用作为一般的异物对策而使用的过滤器式、电集尘
6、以往，作为吸附半导体、液晶显示器的制造过程中成为问题的颗粒(尘异物)而进行集尘的方法，例如提出了专利文献2中记载的使用库仑型静电卡盘进行集尘的方法。根据这样的方法，不存在如上所述的利用磁铁的方法、使用空气的方法中的缺点，能够利用静电收集异物。但是，在这样的库仑型的静电卡盘中，由于电极在水平方向上排列，所以在电极的间隙会产生电场，但由于电力线集中在水平方向，所以电场几乎不在垂直方向上扩展，所以虽然有利于吸附接触的异物的效果，但几乎没有吸引浮游的粉尘等比较细小的尘异物的效果，成为有限的效果。此外，在专利文献2中的实际方法中，由于电极露出于表面而设置，因此在使用采用这类构成的装置、设备的方法中，例如在介电层破损的情况下，有可能引起火花放电而引燃，由于安全性存在问题，因此不适合在模具装置中使用。
7、另外，作为静电卡盘，为了进一步提高对象物的吸附力、保持力，以往也提出了采用经由电极间绝缘层使多个电极层在其深度方向上层叠而成的构成的所谓梯度力产生型的静电卡盘(例如，参照专利文献3、专利文献4)，即使在想利用这样的梯度力产生型的静电卡盘的情况下，总的来说，在以往的静电卡盘中，为了有效且迅速的吸附或响应于卡盘解除而使用的电极使用金属等良导电性物质，但在使用这样的电极的以往的静电卡盘中，以下问题也令人担忧。即，如果在电极层间施加电压，则电极间的绝缘层与电容器具有相同的作用，产生蓄电。然后，在蓄电的状态下，例如因损伤等导致电极间的绝缘被损害的情况下，由于电容器(绝缘层)中蓄电的电能发生放电，特别是在使用场所为模具内的状况下，使用的加工油、机械油引燃而成为火灾的原因，或者有可能在触电时对人体产生强烈影响。
8、因此，没有考虑将以往的静电卡盘的构成直接作为电集尘器在压制模具装置中使用。
9、现有技术文献
10、专利文献
11、专利文献1：日本特开2004-291012号公报
12、专利文献2：国际公开wo2015/029698号
13、专利文献3：国际公开wo2005/091356号
14、专利文献4：国际公开wo2007/066572号
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、因此，对于不具有以往的使用磁铁、空气等的方法的缺点、即使是非磁性金属等的粉尘、细小的粉尘也能够更可靠地集尘、同时设置性也良好并且无着火、火灾等危险的压制模具用的电集尘器，本申请的专利技术人进行了深入研究，结果发现：通过在采用经由电极间绝缘层将多个电极层在其深度方向上层叠而成的所谓梯度力产生型的静电卡盘结构的同时，特别是作为电极，使用在pet基材涂布导电性聚合物而具有规定的表面电阻值的电极，从而能够实现，完成了本专利技术。
3、因此，本专利技术的目的在于提供能够利用静电力将压制加工时产生的尘异物更可靠地集尘、同时能够在压制模具装置中安全地使用的压制模具用的电集尘器和使用其的压制模具。
4、用于解决课题的手段
5、即，本专利技术的主旨如下所述。
6、[1]压制模具用电集尘器，其为与压制模具一起使用、将压制加工时产生的尘异物用静电力集尘的压制模具用的电集尘器，其特征在于，
7、包括：使尘异物接触并保持的集尘层、第1电极层、第2电极层、绝缘层和用于在所使用的模具设置和固定的密合固定层层叠而成的层叠片；在所述第1和第2电极层间施加电压的电源装置；
8、绝缘层至少具有：将集尘层与第1电极绝缘的第一绝缘层、将第1电极层与第2电极层绝缘的第二绝缘层、和将第2电极层与密合固定层绝缘的第三绝缘层，
9、所述第1和第2电极层为在聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)基材涂布导电性聚合物、表面电阻率为104～105ω的膜，
10、基材厚度为75μm的聚酰亚胺膜用于所述第二绝缘层。
11、[2]根据[1]所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，第1电极层具有在该电极层的厚度方向上贯通的多个缺损部，该缺损部的面积比率为相对于第1电极层整体的面积为10％～20％，同时俯视时包含所述缺损部的第1电极层与第2电极层相比，在端部大4.2～6.2mm，
12、另外，第1和第2电极层相对于层叠片的厚度方向经由第二绝缘层层叠。
13、[3]根据[1]或[2]所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，在使用时，对第1电极层施加负电压的同时对第2电极层施加正电压而使用，
14、使对第1电极层施加的电压为4～5千伏(kv)，使对第2电极层施加的电压为2千伏(kv)。
15、[4]根据[1]～[3]中任一项所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，密合固定层包含钕磁片。
16、[5]根据[1]～[4]中任一项所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，有机硅树脂片用于集尘层。
17、[6]压制模具，其特征在于，使用根据[1]～[5]中任一项所述的压制模具用电集尘器。
18、专利技术的效果
19、根据本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.压制模具用电集尘器，其为与压制模具一起使用、将压制加工时产生的尘异物用静电力集尘的压制模具用的电集尘器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，第1电极层具有在该电极层的厚度方向上贯通的多个缺损部，该缺损部的面积比率为相对于第1电极层整体的面积为10％～20％，同时俯视时包含所述缺损部的第1电极层与第2电极层相比，在端部大4.2～6.2mm，
3.根据权利要求1或2所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，在使用时，对第1电极层施加负电压的同时对第2电极层施加正电压而使用，
4.根据权利要求1～3中任一项所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，密合固定层包含钕磁片。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，有机硅树脂片用于集尘层。
6.压制模具，其特征在于，使用根据权利要求1～5中任一项所述的压制模具用电集尘器。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.压制模具用电集尘器，其为与压制模具一起使用、将压制加工时产生的尘异物用静电力集尘的压制模具用的电集尘器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的压制模具用电集尘器，其特征在于，第1电极层具有在该电极层的厚度方向上贯通的多个缺损部，该缺损部的面积比率为相对于第1电极层整体的面积为10％～20％，同时俯视时包含所述缺损部的第1电极层与第2电极层相比，在端部大4.2～6.2mm，
3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川乔彬，森山纮行，堀内大辅，大岛柔喜，森下忠幸，长野良广，早稻田富夫，富弥学，
申请(专利权)人：创意科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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