【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及特种气体制备方法,特别是涉及。
技术介绍
锗烷作为一种原料气体,在半导体工业中有着重要的用途。锗烷广泛地用于制造 半导体器件如二极管,三极管和集成电路等。此外,锗烷还是制备红外光学材料、电阻温度 计不可或缺的原料之一。由于锗烷分解制备的多晶锗杂质含量少,纯度高且能耗低,所以锗 烷更是制备多晶锗的重要原料。 近年来,随着微电子行业和光伏产业以及航空航天工业的迅猛发展,锗烷的需求 量越来越大。 目前,制备锗烷的方法主要有(l)在乙醚介质中用氢化铝锂还原四氯化锗制备 锗烷;(2)锗化镁在稀酸(如稀盐酸)溶液中水解;(3)用还原剂或电解法把水溶液中的 Ge(IV)还原为锗烷,如Mg,Zn从含Ge(IV)的硫酸溶液中还原出少量锗烷,并放出氢气;(4) 用氢氧化钾、二氧化锗、硼氢化钾溶液体系和酸反应制备锗烷。由于以上方法存在工艺路线 长、原料消耗量大、产率低、不易分离提纯等缺点,所以它们的应用受到局限。因此,开发新 型、高效的制备锗烷的方法具有重要的意义。
技术实现思路
本专利技术的目的是在于提供。该法利用四氯化锗的四氢呋喃溶 液滴加到硼氢化钠的氢氧化钠溶液中进行化学反应,得到易于提纯的锗烷,工艺简单。 本专利技术采用的技术方案的具体步骤如下 1)将摩尔比为1 : 1 10的四氯化锗和硼氢化钠分别溶于1 6倍四氯化锗体 积的四氢呋喃和lmol/L的氢氧化钠溶液中; 2)将上述四氯化锗的四氢呋喃溶液移入滴液漏斗中,硼氢化钠的氢氧化钠溶液移 入带有磁力搅拌器和回流冷凝管的反应容器中,滴液漏斗装在此反应器上,组成锗烷发生 系统; 3)上述锗烷发生系统抽真空至 ...
【技术保护点】
一种锗烷的制备方法,其特征在于: 1)将摩尔比为1∶1~10的四氯化锗和硼氢化钠分别溶于1~6倍四氯化锗体积的四氢呋喃和1mol/L的氢氧化钠溶液中; 2)将上述四氯化锗的四氢呋喃溶液移入滴液漏斗中,硼氢化钠的氢氧化钠溶液移入带有磁力搅拌器和回流冷凝管的反应容器中,滴液漏斗装在此反应器上,组成锗烷发生系统; 3)上述锗烷发生系统抽真空至10Pa以下后,控制滴液漏斗以3~30mL/min的速度向反应器中滴加液体,在磁力搅拌下发生反应,反应时间为0.5~3h; 4)将上述反应生成的锗烷气体通入1~10mol/L的强碱溶液中,进行提纯除杂,强碱为氢氧化钠或氢氧化钾; 5)将上述锗烷气体再通入氯化钙干燥管中,经过粗提纯除去杂质后,使用气体收集器收集。
【技术特征摘要】
一种锗烷的制备方法,其特征在于1)将摩尔比为1∶1~10的四氯化锗和硼氢化钠分别溶于1~6倍四氯化锗体积的四氢呋喃和1mol/L的氢氧化钠溶液中;2)将上述四氯化锗的四氢呋喃溶液移入滴液漏斗中,硼氢化钠的氢氧化钠溶液移入带有磁力搅拌器和回流冷凝管的反应容器中,滴液漏斗装在此反应器上,组成锗烷发生系统;3)上述锗烷发生系统抽真空至10Pa以下后,控制滴液漏斗以3~30mL/min的...
【专利技术属性】
技术研发人员:席珍强,杜平凡,张瑞丽,问明亮,赵立奎,
申请(专利权)人:浙江理工大学,南京中锗科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]
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