一种两面镀膜的镀膜装置制造方法及图纸

本技术公开一种两面镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括镀膜箱体、支撑架、限位装置，所述支撑架位于所述镀膜箱体内部，支撑架的顶部两端开设用于安装所述限位装置的固定槽，所述支撑架的内侧设置呈环状的翻转架，所述翻转架的内侧安装用于固定被镀膜物的放置盘，所述放置盘的正下方对应设置位于所述镀膜箱体内侧底面的镀膜发生器，所述翻转架的外侧面与所述支撑架的内侧面之间通过第一转动轴、第二转动轴连接。本技术设置翻转架翻转被镀膜物体两面，不影响被镀膜物体的相对位置，实现两面镀膜的良好效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜，特别涉及一种两面镀膜的镀膜装置。

技术介绍

1、镀膜装置是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等，通常采用喷镀等方式。

2、公告号为cn215354219u中国技术专利公开了一种锗单晶片用双面镀膜设备，顶板放置喷涂机构，顶板内部有滚动机构，底板上有夹持机构，夹持机构的中部有锗单晶片；喷涂管设置有两根，安装在滚动机构上，喷头安装在喷涂管的底部侧面；滚动带设置有两条，两个滚动齿轮分别连接正向喷涂管与反向喷涂管；电机与动力齿轮连接，滚动带上下并列放置在顶板的内部。本技术的一种锗单晶片用双面镀膜设备，通过电机为动力齿轮提供驱动力带动齿条与滚动齿轮的转动，喷涂管随着滚动齿轮的移动，从而完成左右移动喷涂镀膜的工作；喷涂管上带有喷头的一侧分别朝向锗单晶片的两侧，安装在两个滚动齿轮的侧面；两根喷涂管可同时左右进行喷涂镀膜，提高工作效率，节省工作时间。但喷涂管的移动受到齿条与滚动齿轮的转动限制，传动距离较大不适合精确定位，且两根喷涂管左右进行喷涂镀膜，两根喷涂管各自喷涂的均匀程度相对不同，导致在实际镀膜的过程中的效果有偏差。

技术实现思路

1、有鉴于现有技术的缺点，本技术所要解决的技术问题是提供一种两面镀膜的镀膜装置，旨在设置翻转架翻转被镀膜物体两面，不影响被镀膜物体的相对位置，实现两面镀膜的良好效果。

2、为实现上述目的，本技术提供一种两面镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括镀膜箱体、支撑架、限位装置，所述支撑架位于所述镀膜箱体内部，支撑架的顶部两端开设用于安装所述限位装置的固定槽，所述支撑架的内侧设置呈环状的翻转架，所述翻转架的内侧安装用于固定被镀膜物的放置盘，所述放置盘的正下方对应设置位于所述镀膜箱体内侧底面的镀膜发生器，所述翻转架的外侧面与所述支撑架的内侧面之间通过第一转动轴、第二转动轴连接，所述第一转动轴穿过所述支撑架的外侧与驱动装置连接，所述翻转架翻转带动所述放置盘翻转，所述限位装置包括可移动的限位块，当所述限位块移动至所述翻转架的本体正下方，所述限位块的上端面抵靠所述翻转架的表面为第一状态；当所述限位块移动靠近所述支撑架，所述翻转架可转动为第二状态。

3、可选的，所述限位装置还包括电机、支架、滑块，所述支架上设置有导轨，所述导轨上方设置有丝杠，所述丝杠一端与电机连接，另一端与支架连接，所述丝杠与导轨之间设置有与所述丝杠和导轨相适配的滑块，所述滑块的顶部固定连接所述限位块。

4、可选的，所述翻转架与所述放置盘的对应靠近端分别设置第一螺纹孔端部、第二螺纹孔端部，所述第一螺纹孔端部与所述第二螺纹孔端部通过螺栓固定。

5、可选的，所述镀膜箱体一侧铰接箱门，所述箱门固定安装可观察所述镀膜箱体内部的观察窗。

6、可选的，所述支撑架的本体向下延伸出支撑柱，所述支撑柱与所述镀膜箱体的内侧底面相连接。

7、可选的，所述支撑架到所述镀膜箱体的内侧底面之间的距离大于所述翻转架的长度。

8、本技术的有益效果：本技术的镀膜装置将放置盘通过螺栓安装在翻转架上，使放置盘与翻转架之间的相对位置固定，实现放置盘在翻转架上翻转不掉落；当限位块处于第一状态，即电机转动带动丝杆上的滑块移动，而固定在滑块上的限位块移动到翻转架本体的正下方，启动镀膜发生器对被镀膜物体的一面镀膜，而翻转架的相对位置保持水平，从而实现被镀膜物体的位置保持水平不变；当限位块处于第二状态，即关闭镀膜发生器，电机转动带动丝杆上的滑块反方向移动，而固定在滑块上的限位块移动远离翻转架，翻转架在驱动装置的带动下转动翻面，再限位块恢复至第一状态，进而翻转架位置稳定后启动镀膜发生器对被镀膜物体的另一面镀膜，使得镀膜发生器可以对被镀膜物体的两面进行镀膜操作，便于对被镀膜物体进行翻转。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括镀膜箱体、支撑架、限位装置，所述支撑架位于所述镀膜箱体内部，支撑架的顶部两端开设用于安装所述限位装置的固定槽，所述支撑架的内侧设置呈环状的翻转架，所述翻转架的内侧安装用于固定被镀膜物的放置盘，所述放置盘的正下方对应设置位于所述镀膜箱体内侧底面的镀膜发生器，所述翻转架的外侧面与所述支撑架的内侧面之间通过第一转动轴、第二转动轴连接，所述第一转动轴穿过所述支撑架的外侧与驱动装置连接，所述翻转架翻转带动所述放置盘翻转，所述限位装置包括可移动的限位块，当所述限位块移动至所述翻转架的本体正下方，所述限位块的上端面抵靠所述翻转架的表面为第一状态；当所述限位块移动靠近所述支撑架，所述翻转架可转动为第二状态。

2.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述限位装置还包括电机、支架、滑块，所述支架上设置有导轨，所述导轨上方设置有丝杠，所述丝杠一端与电机连接，另一端与支架连接，所述丝杠与导轨之间设置有与所述丝杠和导轨相适配的滑块，所述滑块的顶部固定连接所述限位块。

3.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述翻转架与所述放置盘的对应靠近端分别设置第一螺纹孔端部、第二螺纹孔端部，所述第一螺纹孔端部与所述第二螺纹孔端部通过螺栓固定。

4.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜箱体一侧铰接箱门，所述箱门固定安装可观察所述镀膜箱体内部的观察窗。

5.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述支撑架的本体向下延伸出支撑柱，所述支撑柱与所述镀膜箱体的内侧底面相连接。

6.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述支撑架到所述镀膜箱体的内侧底面之间的距离大于所述翻转架的长度。

...

【技术特征摘要】

1.一种两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括镀膜箱体、支撑架、限位装置，所述支撑架位于所述镀膜箱体内部，支撑架的顶部两端开设用于安装所述限位装置的固定槽，所述支撑架的内侧设置呈环状的翻转架，所述翻转架的内侧安装用于固定被镀膜物的放置盘，所述放置盘的正下方对应设置位于所述镀膜箱体内侧底面的镀膜发生器，所述翻转架的外侧面与所述支撑架的内侧面之间通过第一转动轴、第二转动轴连接，所述第一转动轴穿过所述支撑架的外侧与驱动装置连接，所述翻转架翻转带动所述放置盘翻转，所述限位装置包括可移动的限位块，当所述限位块移动至所述翻转架的本体正下方，所述限位块的上端面抵靠所述翻转架的表面为第一状态；当所述限位块移动靠近所述支撑架，所述翻转架可转动为第二状态。

2.根据权利要求1所述的两面镀膜的镀膜装置，其特征在于，所述限位装置还包括电机、支架、滑块，所述支架上设置有导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈子杰，陈日亮，郑秀梅，
申请(专利权)人：华思福建电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：