【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密仪器控制的，特别是涉及一种非线性补偿表的测量方法及测量装置。
技术介绍
1、对于划片机、车床等精密设备对于电机的运动控制要求很高，一般情况驱动器自身会做一些线性的补偿和反馈补偿，然而很多检测元件如热敏电阻、光敏管等具有不同程度的非线性特性，与电机配合的丝杠导轨等机械性能也存在着不同程度的非线性，这使较大范围的动态检测和机械运动存在着误差。为了确保设备的运动精度这些情况往往需要做非线性补偿，非线性补偿的方法有很多，针对划片机的特点通常采用查表补偿的方式进行。由于每台机器的机械性能不同，所以对每台机器的补偿表也不尽相同，这要就需要测量出每台机器的补偿表。
2、现有的测量方法一般是通过第三方标准的测量工具测量设备的真实运动距离和目标移动距离的差值来得到一个补偿数据，经过对整个行程分段测量得出整个补偿表，当然测量的步进越小得到的数据越多，最终补偿的精度越高。为了确保精度第三方测量工具一般使用激光干涉仪进行测量，将激光干涉仪的反射镜固定在丝杠导轨组成的运动机构上，运动控制器控制控制电机带动运动机构按照一定的步距运动，每运动一步记录一次数据，最终得到全程的补偿数据。
3、现在的补偿表测量方式为使用激光干涉仪等测量工具进行测量。激光干涉仪等工具对使用环境的要求较高，对温度、湿度、震动等环境因素比较敏感，使用的时候需要将其放在稳定的环境中，然而在有些情况下很难达到这种环境需求，从而影响测量精度。有时设备在使用一段时间后出现精度问题需要进行重新测量补偿表，这种情况一般发生在生产现场往往很难有激光干涉仪等测量工
技术实现思路
1、本专利技术针对上述缺点，旨在解决由于现有电机带动的导轨丝杠机构的机械性能存在着不同程度的非线性，为确保设备的运动精度往往需要做非线性补偿，需要测量出每台机器的补偿表，测量方式难度大，操作复杂成本高的问题。基于此，本专利技术有必要针对上述技术问题，针对双轴划片机，提供一种利用划片机的视觉机构的操作简单、低成本的测量方法及测量装置。
2、一种非线性补偿表的测量方法，所述测量方法包括：
3、双轴划片机的第一轴上设置有视觉系统，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，计算所述视觉系统获取的第一轴实际移动距离与预设的第一轴目标移动距离的距离差值，所述距离差值即补偿表的值。
4、作为一个可替换的实施例，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
5、所述视觉系统采集划片机上的图像；
6、识别所述图像，获取第一轴移动过程中的像素点；
7、根据所述像素点计算所述第一轴的实际移动距离。
8、作为一个可替换的实施例，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
9、所述通过视觉系统识别标准观察物；
10、根据所述标准观察物的刻度获取第一轴的实际移动距离。
11、作为一个可替换的实施例，所述标准观察物为具有刻度的光刻版。
12、作为一个可替换的实施例，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
13、调节所述视觉系统的焦距和光量，使光刻板清楚成像；
14、调整所述第一轴，使所述视觉系统的视觉界面的中心线和光刻板的一条刻度线重合；
15、所述第一轴根据所述光刻版的刻度步进；
16、判断步进后的视觉界面的中心线和光刻板的下一条刻度线是否重合；
17、若重合，所述第一轴继续步进；
18、若不重合，调整视觉界面的中心线和光刻板的该下一条刻度线重合，计算所述第一轴调整的距离为补偿值，记录所述补偿值至补偿表；
19、重复第一轴的步进及判断过程，至所述第一轴完成全程移动。
20、作为一个可替换的实施例，所述至所述第一轴完成全程移动，进一步包括：
21、所述视觉界面的中心线和光刻板的刻度线重合后，判断该刻度线是否为终点刻度线；
22、若是终点刻度线，结束测量流程；
23、若不是终点刻度线，步进所述第一轴。
24、作为一个可替换的实施例，所述测量方法还包括使用第一轴的视觉系统测量第二轴的补偿表的方法。
25、作为一个可替换的实施例，所述使用第一轴的视觉系统测量第二轴的补偿表的方法，进一步包括：
26、使用第二轴划切晶圆，所述晶圆上形成多条切割刀痕；
27、使用第一轴上的视觉系统识别所述晶圆上的切割刀痕；
28、调整所述第一轴，将所述视觉界面的中心线和一条切割刀痕重合；
29、所述第一轴根据所述切割刀痕的刻度步进；
30、判断步进后的视觉界面的中心线和晶圆的下一条切割刀痕是否重合；
31、若重合，所述第一轴继续步进；
32、若不重合，调整视觉界面的中心线和晶圆的该下一条切割刀痕重合，计算所述第一轴调整的距离为第二轴补偿值，记录所述第二轴补偿值至第二轴补偿表；
33、重复第一轴的步进及判断过程，完成所有切割刀痕的测量。
34、作为一个可替换的实施例，记录在所述第二轴补偿表的第二轴补偿值取反。
35、一种根据上述测量方法的测量装置，所述测量装置包括集成在双轴划片机上的视觉系统，所述双轴划片机包括第一轴和第二轴，所述视觉系统仅设置在第一轴上，且所述视觉系统与第一第一轴体移动；
36、所述视觉系统至少包括相机、镜头和光源，所述光源包括点光和环光，所述相机设置在镜头上方，所述点光垂直射入镜头中部，所述环光设置在镜头底部；
37、所述相机通过镜头采集图像后，将所述图像数据传输至工控机进行图像的处理和显示。
38、上述非线性补偿表的测量方法及测量装置，针对现有技术的缺点，具有如下技术效果：
39、1.使用视觉系统配合标准光刻板代替传统激光干涉的测量，使得使用便利性大大提高；
40、2.设觉系统是集成在划片机上的，随时都可以测量补偿表；
41、3.采用反向测量的方式，使用第一轴的视觉系统测量第二轴的补偿值。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种非线性补偿表的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，所述标准观察物为具有刻度的光刻版。
5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，所述至所述第一轴完成全程移动，进一步包括：
7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，所述测量方法还包括使用第一轴的视觉系统测量第二轴的补偿表的方法。
8.根据权利要求7所述的测量方法，其特征在于，所述使用第一轴的视觉系统测量第二轴的补偿表的方法，进一步包括：
9.根据权利要求8所述的测量方法，其特征在于，记录在所述第二轴补偿表的第二轴补偿值取反。
10.一种根据权利要求1-9任一项所述的测量
...【技术特征摘要】
1.一种非线性补偿表的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，所述标准观察物为具有刻度的光刻版。
5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，所述至所述第一轴完成全程移动，进一步包...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢贵久，杨晓雄，袁晓春，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。