【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密光学，尤其是涉及一种双层嵌套光路调整隔振装置。
技术介绍
1、随着半导体产业的发展，芯片广泛应用于现代电子产品中，在通信、航空、汽车、军事应用、高端装备等领域中发挥越来越重要的作用。芯片从最初的基板被制成具有功能性的终端芯片产品，需要经过几十台不同的半导体加工设备、测试设备以及上百道工艺的洗礼。随着半导体器件进入5nm节点，芯片集成度越来越高，推动了相应加工、测试设备变革，众多设备仪器中越来越多使用了精密光学方法，其中光学零部件的安装位置精度、通风散热情况、振动水平、结构稳定性等因素，都会对光路的最终整体指标带来影响。
2、基板作为芯片的核心载体，提供电连接、组装、散热及支撑的功能，是制成具有功能性终端芯片产品关键的第一步。业界对于基板提出了提高布线密度、增大尺寸、改善热性能等要求，相应对于基板温度引起翘曲要求越来越严格。目前，业界内对于先进基板翘曲检测，采用光栅阴影云纹原理(shadow moire)和激光三角原理相结合的翘曲测量技术，包括光源、光栅、多个ccd等多个精密光学零部件，但是设备的装调仍采用传统的、多轮反复、装调集成方式，调整时间较长，精度较低。
3、目前，常用的提高零部件位置精度的方法，一是提高零部件及安装基准面本身加工尺寸精度，这必然会带来制造成本的提高，并且对于过高的位置精度要求，有时也是加工工艺无法实现的；二是使用位置调整元件，但如果直接使用市面上调整元件通过多层堆叠的方法进行对位，必然会造成整体结构过大，光路中心过高，光路不稳的问题。此外，市面上很少有自带隔振的光
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种双层嵌套光路调整隔振装置，能够解决现有的光路装置存在振动干扰，光路稳定性不高的问题。
2、本专利技术提供一种双层嵌套光路调整隔振装置，包括：
3、上层结构，在所述上层结构的下表面设有转盘，在所述上层结构的左右两侧分别设有第一连接板；
4、下层结构，在所述下层结构上设有与所述转盘相适配的转盘凹槽，所述上层结构安装于所述下层结构上，以使所述转盘可转动的嵌套于所述转盘凹槽内；在所述下层结构的左右两侧分别设有与所述第一连接板相对应的第二连接板，在所述第一连接板上螺纹连接有调节螺钉，所述调节螺钉的末端能够与对应的所述第二连接板相抵触；
5、减振座，所述下层结构安装于所述减振座上。
6、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述上层结构上设有多组弧形长孔，多组所述弧形长孔分别沿所述上层结构的长度方向依次间隔设置，每组所述弧形长孔均包括对称设置在所述上层结构左右两侧的两个弧形长孔；在所述下层结构上对应各所述弧形长孔分别设有螺纹孔，对应各所述螺纹孔分别连接有限位螺钉，各所述限位螺钉分别穿过各所述弧形长孔，且各所述调节螺钉能够分别沿各所述弧形长孔的弧形延伸方向滑动。
7、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述上层结构上设有多个局部安装基面，各所述局部安装基面分别沿所述上层结构的长度方向依次设置。
8、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述上层结构的下表面设有多个下凹散热通风口和多个下凹散热通风槽，在所述下层结构的上表面设有与所述下凹散热通风槽相对应的多个上凹散热通风槽，相对应的所述下凹散热通风槽与所述上凹散热通风槽之间围合形成散热风道。
9、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述下层结构的前端上表面可拆卸的安装有笼框式安装基座。
10、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述下层结构上位于前端的左右两侧壁上分别设有两个第一方框把手，在所述下层结构上位于后端的左右两侧壁上分别设有两个第二方框把手。
11、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，所述减振座包括顶板、底板和多个减振弹簧，各所述减振弹簧的两端分别与所述顶板、所述底板对应连接，所述下层结构可拆卸的安装于所述顶板上。
12、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述顶板上设有多个第一散热孔，各所述第一散热孔分别沿所述顶板的长度方向依次间隔设置。
13、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，在所述底板上设有多个第二散热孔，各所述第二散热孔分别沿所述底板的长度方向依次间隔设置，且各所述第二散热孔分别与各所述第一散热孔一一对应设置。
14、根据本专利技术提供的一种双层嵌套光路调整隔振装置，所述上层结构和所述下层结构均采用殷钢材料制成。
15、本专利技术提供的双层嵌套光路调整隔振装置，通过在上层结构的下表面设置转盘，通过在下层结构上设置与转盘相适配的转盘凹槽，从而将上层结构安装于下层结构上，以使转盘可转动的嵌套于转盘凹槽内，通过转盘与转盘凹槽之间的配合方式，不仅可以调整上层结构与下层结构之间的相对摆动角度，而且通过嵌套的安装方式，能够使上层结构与下层结构之间贴合安装，从而降低了装置的整体高度；通过在上层结构的左右两侧分别设置第一连接板，通过在下层结构的左右两侧分别设置与第一连接板相对应的第二连接板，并在第一连接板上螺纹连接调节螺钉，使得调节螺钉的末端能够与对应的第二连接板相抵触，当需要上层结构与下层结构之间的相对摆角时，可通过调整各调节螺钉在各第一连接板上的旋转程度，从而改变对应的第一连接板与第二连接板之间的间距，达到相对摆角的精确调整目的；通过设置减振座，并将下层结构安装于减振座上，从而实现了装置的隔振效果。由此，本专利技术提供的双层嵌套光路调整隔振装置，上层结构用于搭载前段光路，下层结构用于搭载后段光路，通过将上层结构的转盘嵌入下层结构的转盘凹槽中，从而实现了前后两段光路相对摆角的可调节式安装，进而实现了光路的高精度对位，达到了降低整体光路质心的目的，不仅增加了光路的稳定性，而且降低了对结构本身的加工精度要求，减少了加工费用；同时，通过设置减振座，能够为整个装置提供减振功能，从而有效解决了振动干扰问题。
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1.一种双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构上设有多组弧形长孔，多组所述弧形长孔分别沿所述上层结构的长度方向依次间隔设置，每组所述弧形长孔均包括对称设置在所述上层结构左右两侧的两个弧形长孔；在所述下层结构上对应各所述弧形长孔分别设有螺纹孔，对应各所述螺纹孔分别连接有限位螺钉，各所述限位螺钉分别穿过各所述弧形长孔，且各所述调节螺钉能够分别沿各所述弧形长孔的弧形延伸方向滑动。
3.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构上设有多个局部安装基面，各所述局部安装基面分别沿所述上层结构的长度方向依次设置。
4.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构的下表面设有多个下凹散热通风口和多个下凹散热通风槽，在所述下层结构的上表面设有与所述下凹散热通风槽相对应的多个上凹散热通风槽，相对应的所述下凹散热通风槽与所述上凹散热通风槽之间围合形成散热风道。
5.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特
6.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述下层结构上位于前端的左右两侧壁上分别设有两个第一方框把手，在所述下层结构上位于后端的左右两侧壁上分别设有两个第二方框把手。
7.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，所述减振座包括顶板、底板和多个减振弹簧，各所述减振弹簧的两端分别与所述顶板、所述底板对应连接，所述下层结构可拆卸的安装于所述顶板上。
8.根据权利要求7所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述顶板上设有多个第一散热孔，各所述第一散热孔分别沿所述顶板的长度方向依次间隔设置。
9.根据权利要求8所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述底板上设有多个第二散热孔，各所述第二散热孔分别沿所述底板的长度方向依次间隔设置，且各所述第二散热孔分别与各所述第一散热孔一一对应设置。
10.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，所述上层结构和所述下层结构均采用殷钢材料制成。
...【技术特征摘要】
1.一种双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构上设有多组弧形长孔，多组所述弧形长孔分别沿所述上层结构的长度方向依次间隔设置，每组所述弧形长孔均包括对称设置在所述上层结构左右两侧的两个弧形长孔；在所述下层结构上对应各所述弧形长孔分别设有螺纹孔，对应各所述螺纹孔分别连接有限位螺钉，各所述限位螺钉分别穿过各所述弧形长孔，且各所述调节螺钉能够分别沿各所述弧形长孔的弧形延伸方向滑动。
3.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构上设有多个局部安装基面，各所述局部安装基面分别沿所述上层结构的长度方向依次设置。
4.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装置，其特征在于，在所述上层结构的下表面设有多个下凹散热通风口和多个下凹散热通风槽，在所述下层结构的上表面设有与所述下凹散热通风槽相对应的多个上凹散热通风槽，相对应的所述下凹散热通风槽与所述上凹散热通风槽之间围合形成散热风道。
5.根据权利要求1所述的双层嵌套光路调整隔振装...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐威，齐月静，苏佳妮，马敬，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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