【技术实现步骤摘要】
本公开涉及硅晶片加工，尤其涉及一种尾气处理装置和硼扩散设备。
技术介绍
1、硅晶太阳能电池已经被大规模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础。如何进一步提高效率，降低成本是国内外
研究的重点。随着工艺技术的发展，n型晶硅电池以其成本低效率高，越来越受到市场的重视，其中硼扩散工序(n型硅片在扩散后表面形成p/n结)是生产过程中重要的环节，所以保证硼扩散的工艺的稳定和降低本工序的生产成本是人们研究的重点。
2、硼扩散工艺后会产生尾气，尾气的主要成分是硼的氧化物和硼硅玻璃，这些物质呈白色粉末状会堵塞尾气处理装置，使尾气无法排出。现行的主要方法是人工将尾气处理装置拆开进行清洗，导致生产效率降低。
技术实现思路
1、本公开的实施例提供一种尾气处理装置和硼扩散设备，提高了滤芯的清洗效率。
2、为达到上述目的，本公开的实施例采用如下技术方案：
3、一方面，提供了一种尾气处理装置，应用于硼扩散设备中以过滤尾气，所述尾气处理装置包括壳体、滤芯以及清洗件；所述壳体内设有过滤腔，且所述壳体上设有与所述过滤腔连通的进气口和出气口；所述滤芯设置在所述过滤腔内，且所述滤芯将所述过滤腔分割为第一腔和第二腔，所述第一腔与所述进气口连通，所述第二腔与所述出气口连通；尾气由所述第一腔经过所述滤芯后进入所述第二腔；所述清洗件位于所述第一腔内，所述清洗件设有喷洒口，所述喷洒口用于朝向所述滤芯喷洒清洗液，以清洗所述滤芯朝向所述第一腔的一侧。
5、在一些实施方式中，所述清洗件设有多个所述喷洒口，多个所述喷洒口间隔设置。
6、在一些实施方式中，所述滤芯整体呈柱状，所述滤芯内围成所述第二腔，所述壳体套设在所述滤芯的外侧，且所述壳体和所述滤芯之间的间隙形成所述第一腔，多个所述喷洒口沿所述滤芯的周向间隔排布。
7、在一些实施方式中，所述清洗件设有与所述容纳腔连通的进液口，所述进液口连接有进液阀，所述进液阀用于向所述容纳腔输送所述清洗液。
8、在一些实施方式中，沿远离所述进液口的方向，所述容纳腔的截面积逐渐减小。
9、在一些实施方式中，所述喷洒口用于朝向所述滤芯的上端喷洒所述清洗液。
10、在一些实施方式中，所述壳体上还设有出液口，所述出液口与所述第一腔连通，所述出液口用于排出所述第一腔内的所述清洗液。
11、在一些实施方式中，所述喷洒口设有扩散装置，所述扩散装置用于提高所述清洗液的喷洒面积。
12、另一方面，提供了一种硼扩散设备，包括所述尾气处理装置，以及反应炉、真空发生器，所述尾气处理装置的进气口与所述反应炉连通，所述尾气处理装置的出气口与所述真空发生器连通。
13、本公开实施例提供的尾气处理装置，壳体内设有过滤腔，滤芯将过滤腔分割为与进气口连通的第一腔以及与出气口连通的第二腔，第一腔内设有清洗件，清洗件可以通过喷洒口朝向滤芯喷洒清洗液，以实现滤芯的清洗。因此，不需要将滤芯从尾气处理装置中拆下即可完成对滤芯的清洗，滤芯的清洗更加方便，提高了滤芯清洗的效率，降低了生产成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种尾气处理装置，应用于硼扩散设备中以过滤尾气，其特征在于，所述尾气处理装置包括壳体、滤芯以及清洗件；
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件内设有容纳腔，所述容纳腔用于容纳所述清洗液，所述喷洒口设置在所述容纳腔朝向所述滤芯的侧壁。
3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件设有多个所述喷洒口，多个所述喷洒口间隔设置。
4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述滤芯整体呈柱状，所述滤芯内围成所述第二腔，所述壳体套设在所述滤芯的外侧，且所述壳体和所述滤芯之间的间隙形成所述第一腔，多个所述喷洒口沿所述滤芯的周向间隔排布。
5.根据权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件设有与所述容纳腔连通的进液口，所述进液口连接有进液阀，所述进液阀用于向所述容纳腔输送所述清洗液。
6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，沿远离所述进液口的方向，所述容纳腔的截面积逐渐减小。
7.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述喷洒口用于朝向所述滤芯的上
8.根据权利要求1至7中任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，所述壳体上还设有出液口，所述出液口与所述第一腔连通，所述出液口用于排出所述第一腔内的所述清洗液。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，所述喷洒口设有扩散装置，所述扩散装置用于提高所述清洗液的喷洒面积。
10.一种硼扩散设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述尾气处理装置，以及反应炉、真空发生器，所述尾气处理装置的进气口与所述反应炉连通，所述尾气处理装置的出气口与所述真空发生器连通。
...【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，应用于硼扩散设备中以过滤尾气，其特征在于，所述尾气处理装置包括壳体、滤芯以及清洗件；
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件内设有容纳腔，所述容纳腔用于容纳所述清洗液，所述喷洒口设置在所述容纳腔朝向所述滤芯的侧壁。
3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件设有多个所述喷洒口，多个所述喷洒口间隔设置。
4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述滤芯整体呈柱状，所述滤芯内围成所述第二腔，所述壳体套设在所述滤芯的外侧，且所述壳体和所述滤芯之间的间隙形成所述第一腔，多个所述喷洒口沿所述滤芯的周向间隔排布。
5.根据权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，所述清洗件设有与所述容纳腔连通的进液口，所述进液口连接有进液阀，所述进液阀用于向所述容纳...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨鑫，陈程，夏学，游佩，郭梦龙，李华，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。