【技术实现步骤摘要】
本技术涉及碳化硅陶瓷加热盘，尤其涉及一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘。
技术介绍
1、半导体芯片生产过程中，涉及到晶圆材料沉积、去除，晶圆键合等处理步骤，过程中需要对晶圆进行加热或者热压，陶瓷加热盘以其高强度、耐腐蚀、杂质少的优点被广泛应用在该领域中。公知常用陶瓷加热盘有氧化铝陶瓷加热盘和氮化铝陶瓷加热盘，通过共烧加热丝、钨浆料印刷等方案实现加热功能
2、目前，市面上的基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，具有以下的缺点：(1)在局部区域通过加密排布、小折弯半径排布等手段实现走线的可行，该排布方式容易造成加热盘中心及小弯折区域局部高温情况，影响盘面的整体温度均匀性。目前主要通过增加分区来提高整体温度均匀性，缺点是会导致接线端子数量增加，降低加热盘使用的可靠性；(2)加热盘的温度传递到下方接触物，会导致下方接触物过高而发生损坏；(3)利用焊接的方式将电热丝固定在加热盘的内部，不方便电热丝更换检修
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、技术解决的技术问题是提供一种实用性较高，并且能够通过简单的操作，结构较为简单的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，解决了上述
技术介绍
中提出的不便于电热丝更换检修、电热丝加热分布均匀以及不便于对加热盘底部进行隔热的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，包括下体放置盘，所述下体放置盘的表面开设
5、可选的，所述加热丝的表面套接有保护铠皮，且所述加热丝的形状呈圆形环状由内到外逐渐加密状，所述加热丝的两端均留有接线端子。
6、可选的，所述螺纹套圈的螺纹开设于螺纹套圈的外部，且所述螺纹套圈的尺寸适配于内螺纹槽的内部。
7、可选的，所述上盘体的顶面呈一字型开设有两个扣槽，两个所述扣槽的内部均开设有圆孔。
8、可选的，所述底部放热组件包括固定连接于下体放置盘的底部上的上层圈，所述上层圈的底部通过连接片固定连接有底层圈。
9、可选的，所述底层圈的内部固定连接有硅橡胶，所述连接片的数量有四个，四个所述连接片呈圆形矩阵均匀分布于上层圈的底面上。
10、(三)有益效果
11、本技术提供了一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，具备以下有益效果：
12、1、该基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，通过底部放热组件的设置，当加热盘工作时，加热丝的热量会同样传递到下体放置盘，下体放置盘通过上层圈与底层圈形成中空隔热环境，从而对底部热量进行阻断，防止热量传递到底部，对与加热盘底部的物体进行保护，提高了加热盘加热过程中的安全性。
13、2、该基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，通过内螺纹槽和螺纹套圈的设置，将加热丝适配放置于加热丝放置槽的内部，手扣进扣槽内部的圆孔处，转动上盘体，使得固定在上盘体底部上的螺纹套圈螺纹连接在内螺纹槽内部，从而方便对加热盘进行组装以及拆卸进行检修。
14、3、该基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，通过加热丝的设置，加热丝的形状呈圆形环状由内到外逐渐加密状，使得在加热过程中在不增加加热分区的情况下，避免加热丝等间距布局产生的下体放置盘温度过高，以及加热丝布局局部加密、小弯折半径造成的局部过热情况出现。提高了加热盘整体温度的均匀性。
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1.一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，包括下体放置盘(1)，其特征在于：所述下体放置盘(1)的表面开设有加热丝放置槽(2)，所述加热丝放置槽(2)的内部卡接有加热丝(3)，所述下体放置盘(1)的顶面的外侧开设有内螺纹槽(4)，所述内螺纹槽(4)的内部螺纹连接有螺纹套圈(5)，所述螺纹套圈(5)的顶部固定连接有上盘体(6)，所述下体放置盘(1)的底部固定连接有底部放热组件(7)。
2.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述加热丝(3)的表面套接有保护铠皮，且所述加热丝(3)的形状呈圆形环状由内到外逐渐加密状，所述加热丝(3)的两端均留有接线端子(8)。
3.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述螺纹套圈(5)的螺纹开设于螺纹套圈(5)的外部，且所述螺纹套圈(5)的尺寸适配于内螺纹槽(4)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述上盘体(6)的顶面呈一字型开设有两个扣槽(9)，两个所述扣槽(9)的
5.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述底部放热组件(7)包括固定连接于下体放置盘(1)的底部上的上层圈(701)，所述上层圈(701)的底部通过连接片(702)固定连接有底层圈(703)。
6.根据权利要求5所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述底层圈(703)的内部固定连接有硅橡胶(11)，所述连接片(702)的数量有四个，四个所述连接片(702)呈圆形矩阵均匀分布于上层圈(701)的底面上。
...【技术特征摘要】
1.一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，包括下体放置盘(1)，其特征在于：所述下体放置盘(1)的表面开设有加热丝放置槽(2)，所述加热丝放置槽(2)的内部卡接有加热丝(3)，所述下体放置盘(1)的顶面的外侧开设有内螺纹槽(4)，所述内螺纹槽(4)的内部螺纹连接有螺纹套圈(5)，所述螺纹套圈(5)的顶部固定连接有上盘体(6)，所述下体放置盘(1)的底部固定连接有底部放热组件(7)。
2.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述加热丝(3)的表面套接有保护铠皮，且所述加热丝(3)的形状呈圆形环状由内到外逐渐加密状，所述加热丝(3)的两端均留有接线端子(8)。
3.根据权利要求1所述的一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于：所述螺纹套圈(5)的螺纹开设于螺纹套圈(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭亮，贾卓航，
申请(专利权)人：长春长光启辰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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