【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅棒晶托,具体涉及一种晶托卸载系统。
技术介绍
1、单晶硅是制造半导体硅器件的原料,其主要用途是用作半导体元器件的材料和用于太阳能电池的基底。太阳能电池利用太阳能光伏发电,不仅能利用取之不尽用之不竭的自然资源,而且绿色环保,在未来具有非常广阔的前景。
2、硅片一般通过拉晶形成的硅棒切割形成,对硅片需求的增加使得硅棒加工生产成为了新型热门行业。在硅棒生产加工过程中,晶托是其中常用的一种工具,用于将设定长度的硅棒固定住,以便于放入切割机中进行切割。硅棒固定时,一般是先将晶托上料,需要将硅棒放入至晶托内,晶托携带硅棒至待切割位置处完成下料,对硅棒进行切割。
3、现有技术对晶托进行下料操作时,一般采用提升机通过锁链对晶托进行提升和移动,而锁链活动性较大,导致在对晶托的提升或移动过程中,晶托可能产生较大的晃动幅度,容易影响其他设备的运作。
技术实现思路
1、因此,本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中晶托采用锁链的方式提升或移动时,锁链产生的活动范围较大,可能使晶托产生较大的晃动幅度,影响其他设备的缺陷,从而提供一种晶托卸载系统。
2、为解决上述技术问题,本技术提供了一种晶托卸载系统,用于在硅棒切割为硅片后的晶托脱离,包括:
3、夹持单元,包括有固定板、以及分别设置在所述固定板两端的伸缩机构,所述伸缩机构的运动部连接有夹爪,两所述夹爪之间的相对距离通过所述伸缩机构调整;
4、支撑单元,用于对所述夹持单元进行支撑并固定,还
5、可选地,所述伸缩机构包括固定安装在所述固定板上的滑轨,及滑动安装在所述滑轨上的滑板;
6、所述夹爪与所述滑板的外端部连接。
7、可选地,所述滑板与所述滑轨之间设有直线电机,所述直线电机适于驱动所述滑板在所述滑轨上滑动。
8、可选地,所述伸缩机构为气缸,所述气缸固定设置于所述固定板,所述气缸的驱动端连接所述夹爪。
9、可选地,所述夹爪包括夹板,所述夹板的设置方向与所述滑板的滑动方向垂直。
10、可选地,两个所述夹板相对的侧面的底端均伸出有支杆,两所述支杆用于对晶托进行夹持。
11、可选地,所述支杆端部具有倾斜部。
12、可选地,所述支杆与晶托接触的表面为粗糙面。
13、可选地,所述支撑单元为单臂吊,所述单臂吊的自由端适于与所述夹持单元连接,带动晶托移动。
14、可选地,所述夹持单元与单臂吊的连接方式为滑动连接。
15、本技术技术方案,具有如下优点:
16、1.本技术提供的晶托卸载系统,通过夹持单元连接固定板,固定板的两端安装有伸缩机构,伸缩机构的运动部连接有夹爪,通过两侧的夹爪可以将晶托的两侧进行夹取,以便夹持单元通过固定板带动晶托进行移动,通过固定板携带夹紧机构对晶托进行提升或移动,活动幅度较小,能够很好的避免晶托在提升或移动过程中产生的晃动,并且操作简便。并且伸缩机构的运动部连接有用于夹紧晶托侧边的夹爪,两侧的伸缩机构可以调整不同的尺寸,以适应更多规格型号的晶托。
17、2.本技术提供的晶托卸载系统,支杆端部具有倾斜部,可以更加轻松的插入至晶托待承载位置处。
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1.一种晶托卸载系统,用于在硅棒切割为硅片后的晶托脱离,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述伸缩机构包括固定安装在所述固定板上的滑轨,及滑动安装在所述滑轨上的滑板;
3.根据权利要求2所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述滑板与所述滑轨之间设有直线电机,所述直线电机适于驱动所述滑板在所述滑轨上滑动。
4.根据权利要求1-3任一项所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述伸缩机构为气缸,所述气缸固定设置于所述固定板,所述气缸的驱动端连接所述夹爪。
5.根据权利要求2或3所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述夹爪包括夹板,所述夹板的设置方向与所述滑板的滑动方向垂直。
6.根据权利要求5所述的晶托卸载系统,其特征在于,两个所述夹板相对的侧面的底端均伸出有支杆,两所述支杆用于对晶托进行夹持。
7.根据权利要求6所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述支杆端部具有倾斜部。
8.根据权利要求6所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述支杆与晶托接触的表面为粗糙面。
9.根据权利要
10.根据权利要求9所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述夹持单元与单臂吊的连接方式为滑动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶托卸载系统,用于在硅棒切割为硅片后的晶托脱离,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述伸缩机构包括固定安装在所述固定板上的滑轨,及滑动安装在所述滑轨上的滑板;
3.根据权利要求2所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述滑板与所述滑轨之间设有直线电机,所述直线电机适于驱动所述滑板在所述滑轨上滑动。
4.根据权利要求1-3任一项所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述伸缩机构为气缸,所述气缸固定设置于所述固定板,所述气缸的驱动端连接所述夹爪。
5.根据权利要求2或3所述的晶托卸载系统,其特征在于,所述夹爪包括夹板,所述夹板的设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢宇宽,朱伟,
申请(专利权)人:安徽华晟新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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