【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清灰，特别涉及一种单晶炉真空管道真空清灰装置。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉主要包括炉体、电气控制柜、加热器、电源柜、主真空泵、副室真空泵、真空管道、液压系统、氩气系统，以及冷却水系统。在使用时，将预先合成好的多晶原料装在炉体中，并被加热到原料的熔点以上使其熔化，控制温度、炉压、功率，晶升速度、埚升速度、晶转速度、埚转速度等关键控制参数，完成调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾及停炉等一些列工艺过程，进而得到所需直径大小的圆柱状单晶硅棒。在整个过程中原料熔融状态后易产生挥发物，随着单晶炉长时间运行，挥发物易附着在真空管道的管壁以及管口处。现有的真空管道清灰结构如说明书附图10所示，真空管道10上预设有与其相通的清灰管11，清灰管端部的法兰固定有可拆卸的盖板13，当需要清灰时，将盖板拆除，然后外界的刮灰工具通过清灰管伸入到真空管道内进行清灰工作，但此种清灰方式需要将设备停止，从而影响单晶硅棒的正常生产。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种单晶炉真空管道真空清灰装置，通过真空设置的柔性波纹管内套接中心杆驱动刮灰部移动，从而在不停机的情况下自动完成对真空管道的刮灰工作，解决了现有技术需停止设备工作进行清灰工作影响单晶硅棒生产效率的问题。
2、本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真
4、所述主连接板上固定有驱使驱动板移动的伸缩缸，所述伸缩缸由控制器控制，所述伸缩缸可以是电动伸缩缸，也可以是气缸，气缸通过电磁阀等有控制器控制。
5、通过上述技术方案，当需要清灰时，伸缩缸带动驱动板上下移动，驱动板带动中心杆移动，中心杆带动刮灰部移动，刮灰部从而将积聚在真空管道内壁上的挥发物刮除；
6、驱动板上移时柔性波纹管可被压缩，下移时柔性波纹管可被拉长，由于波纹管的两端与柱连接板、驱动板密封固定连接，从而可使波纹管内和真空管道内形成一个密闭的真空环境，从而可实现在不停机的情况下可完成清灰工作，可不耽误生产；
7、同时通过控制器可控制伸缩缸隔一定时间工作一次，从而刮灰部可时不时对真空管道进行刮灰工作，防止挥发物堆积造成通气不畅。
8、本专利技术还进一步设置为：所述伸缩缸的伸缩杆端部固定有升降板，升降板固定在多根推拉杆的上端，推拉杆的中部插套在石墨铜套内，推拉杆的底部与驱动板固定连接；
9、所述驱动板上成型有伸缩缸让位孔，伸缩缸插套在伸缩缸让位孔内。
10、通过上述技术方案，伸缩缸带动升降板移动，升降板通过推拉杆带动驱动板移动，驱动板带动中心杆上移或下移，中心杆带动刮灰部移动进行刮灰工作。
11、本专利技术还进一步设置为：所述柔性波纹管包括波纹管本体及分别设置在波纹管本体两端的上法兰和下法兰，上法兰与主连接板之间设有第一密封圈且两者之间固定连接，从而保证柔性波纹管与主连接板之间的密封性；
12、所述下法兰与驱动板之间设有第二密封圈且两者之间固定连接，从而保证驱动板与柔性波纹管之间的密封性；
13、所述中心杆的下端成型有凸环，凸环压靠在驱动板上且与驱动板之间夹持有第三密封圈，从而保证中心杆与驱动板之间的密封性；
14、所述主连接板的上底面与连接法兰之间设有第四密封圈，从而保证主连接板与真空管道之间的密封性。
15、本专利技术还进一步设置为：所述主连接板上成型有上小下大设置的台阶孔，台阶孔内套接有四氟套，四氟套夹持在主连接板和上法兰之间；所述中心杆插套在四氟套内。
16、通过上述技术方案，四氟套可保证和中心杆之间的密封性，同时四氟套耐高温，耐磨损，可提高整个清灰装置的实用寿命。
17、本专利技术还进一步设置为：所述四氟套的上端成型有刮料锥部，通过刮料锥部在中心杆移动时可将中心杆上的挥发物刮除，刮料锥部锥形设置可防止刮除下来的挥发物堆积。
18、本专利技术还进一步设置为：所述刮灰部包括环形刮套，环形刮套通过多个支杆固定连接有环形套座，环形套座螺接在中心杆顶部的螺杆上，所述螺杆上螺接有锁紧螺母，锁紧螺母紧靠在环形套座上；
19、所述锁紧环形刮套靠近真空管道的内壁设置。
20、通过上述技术方案，中心杆通过环形套座、支杆带动环形刮套移动，环形刮套贴着真空管道的内壁的内壁滑移从而将积聚在真空管道内壁的挥发物刮除；
21、环形刮套通过环形套座螺接在螺杆上，可调节环形刮套的高度，方便刮灰部后期的装配及调配工作。
22、本专利技术的刮灰部还可设置为：所述刮灰部包括插套并固定在中心杆顶部的球头座，球头座活动夹持在上球头套和下球头套之间，上球头套和下球头套之间通过第一螺钉固定连接；
23、所述下球头套通过多根第二支杆固定连接有基环，基环的外壁上多圈上下设置的刮片；
24、所述下球头套固定在弹簧的上端，弹簧的下端固定在弹簧座上，弹簧座插套并固定在中心杆上。
25、通过中心杆带动球头座移动，球头座通过球头套带动基环移动，基环带动刮片移动，刮片从而将积聚在真空管道内壁的挥发物刮除；由于球头套相对可在球头座上发生相对偏转，从而基环也可相对转动或偏转，可有效防止刮片在刮除过程中产生卡死现象，也能刮得更加彻底一点，解决刮片间的间隙区域残留问题。
26、本专利技术还进一步设置为：相邻两圈刮片上下错开设置；通过设置多层刮片，一是可以刮除更加彻底，二是可以防止刮除下来的挥发物积聚，可及时从刮片间通过。
27、本专利技术还进一步设置为：所述刮片包括一体成型的弹性薄片和刮片座，刮片座固定在基环的外壁上。通过弹性薄片弹性设置，可降低刮除工作时卡死，也可降低对真空管道内壁的磨损。
28、本专利技术的突出效果是：
29、与现有技术相比，通过真空设置的柔性波纹管内套接中心杆驱动刮灰部移动，从而在不停机的情况下自动完成对真空管道的刮灰工作，解决了现有技术需停止设备工作进行清灰工作影响单晶硅棒生产效率的问题；
30、通过设置球头连接结构可使基环及刮片处于浮动状态，可产生小幅度翻转、转动，可提高刮灰效果，也可降低对真空管道内壁的磨损。
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1.一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道（10），真空管道（10）上预制有清灰管（11），清灰管（11）端部的连接法兰（12）上设有真空清灰机构（20），其特征在于：所述真空清灰机构（20）包括密封固定在法兰（12）上的主连接板（201），主连接板（201）上套接有中心杆（202），中心杆（202）穿过清灰管（11）伸入到真空管道（10）内的端部固定有刮灰部（30），所述中心杆（202）的另一端穿过柔性波纹管（204）后固定在驱动板（205）上，所述柔性波纹管（204）的两端分别密封固定在主连接板（201）和驱动板（205）上；
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述伸缩缸（206）的伸缩杆端部固定有升降板（207），升降板（207）固定在多根推拉杆（208）的上端，推拉杆（208）的中部插套在石墨铜套（209）内，推拉杆（208）的底部与驱动板（205）固定连接；
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述柔性波纹管（204）包括波纹管本体（2041）及分别设置在波纹管本体（2041
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述主连接板（201）上成型有上小下大设置的台阶孔（2011），台阶孔（2011）内套接有四氟套（214），四氟套（214）夹持在主连接板（201）和上法兰（2042）之间；所述中心杆（202）插套在四氟套（214）内。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述四氟套（214）的上端成型有刮料锥部（2141）。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述刮灰部（30）包括环形刮套（301），环形刮套（301）通过多个支杆（302）固定连接有环形套座（303），环形套座（303）螺接在中心杆（202）顶部的螺杆（2022）上，所述螺杆（2022）上螺接有锁紧螺母（203），锁紧螺母（203）紧靠在环形套座（303）上；
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述刮灰部（30）包括插套并固定在中心杆（202）顶部的球头座（3001），球头座（3001）活动夹持在上球头套（3002）和下球头套（3003）之间，上球头套（3002）和下球头套（3003）之间通过第一螺钉（3004）固定连接；
8.根据权利要求7所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：相邻两圈刮片（3007）上下错开设置。
9.根据权利要求7所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述刮片（3007）包括一体成型的弹性薄片（30071）和刮片座（30072），刮片座（30072）固定在基环（3006）的外壁上。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉真空管道真空清灰装置，包括真空管道（10），真空管道（10）上预制有清灰管（11），清灰管（11）端部的连接法兰（12）上设有真空清灰机构（20），其特征在于：所述真空清灰机构（20）包括密封固定在法兰（12）上的主连接板（201），主连接板（201）上套接有中心杆（202），中心杆（202）穿过清灰管（11）伸入到真空管道（10）内的端部固定有刮灰部（30），所述中心杆（202）的另一端穿过柔性波纹管（204）后固定在驱动板（205）上，所述柔性波纹管（204）的两端分别密封固定在主连接板（201）和驱动板（205）上；
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述伸缩缸（206）的伸缩杆端部固定有升降板（207），升降板（207）固定在多根推拉杆（208）的上端，推拉杆（208）的中部插套在石墨铜套（209）内，推拉杆（208）的底部与驱动板（205）固定连接；
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述柔性波纹管（204）包括波纹管本体（2041）及分别设置在波纹管本体（2041）两端的上法兰（2042）和下法兰（2043），上法兰（2042）与主连接板（201）之间设有第一密封圈（210）且两者之间固定连接；
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空管道真空清灰装置，其特征在于：所述主连接板（201）上成型有上小下大设置的台阶孔（2011），台阶孔（2...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙明，吴杰，
申请(专利权)人：绍兴赛致捷机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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