【技术实现步骤摘要】
本技术涉及泵，具体涉及一种分子泵机组。
技术介绍
1、在高校、科研机构、实验室里进行科研工作，在质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等领域，众多的分析仪器、检测设备、生产工艺线等在实现其功能时，需要具备一定的清洁真空环境，其中可采用分子泵机组来创造真空环境。
2、现有技术公开了一种分子泵机组，其包括分子泵、隔膜泵、机组机箱、模拟量真空计和减震组件，其中分子泵安装在机组机箱的上方且与模拟真空计连接，隔膜泵安装在机组机箱的后部，减震组件安装在隔膜泵的下方能够对隔膜泵进行减震。
3、但是，上述的一种分子泵机组，在对其进行搬运时需要操作人员用手托住机组机箱进行搬运，不便于运输。
技术实现思路
1、因此，本技术所要解决的技术问题在于在对分子泵机组进行搬运时需要操作人员用手托住机组机箱进行搬运，不便于运输。
2、为此，本技术提供一种分子泵机组，包括
3、机组底座；
4、前级负压件，所述前级负压件设于所述机组底座上；
5、分子泵，所述分子泵设于所述机组底座上；
6、连接管路，所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述分子泵连接于被抽真空件，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件；
7、吊耳，所述吊耳设于所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。
8、可选地，还包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。
9、可选地，所述连接管路包括连接的第一连接管
10、可选地，所述第一连接管为波纹管。
11、可选地，所述第二连接管连接有真空测量仪。
12、可选地，所述第一连接管和所述第二连接管通过固定件连接。
13、可选地，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。
14、可选地，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。
15、可选地，还包括脚轮组件，所述脚轮组件设于所述机组底座的底部。
16、可选地，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。
17、本技术提供的技术方案，具有如下优点：
18、1.本技术提供的一种分子泵机组，包括机组底座、前级负压件、分子泵、连接管路和吊耳，所述前级负压件通过螺栓固定连接在所述机组底座上；所述分子泵也固定连接在所述机组底座上；所述连接管路的第一连接部连接于所述分子泵，所述分子泵连接于被抽真空件，所述连接管路的第二连接部连接于前级负压件，所述连接管路的第三连接部连接于被抽真空件；所述吊耳固定连接在所述机组底座上，所述吊耳用于吊装。此结构的一种分子泵机组，通过设置有吊耳，可将吊耳和连接绳连接进行吊装，无需手工搬运，便于运输。
19、2.本技术提供的一种分子泵机组，包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。此结构的一种分子泵机组，通过设置有安装环，其中安装环可用于安装把手，便于施加着力点，以及可与脚轮组件配合，便于水平移动；或者安装环、吊耳均可用于和连接绳连接进行吊装，无需人工搬动，便于运输，使得吊装更加平稳。
20、3.本技术提供的一种分子泵机组，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。此结构的一种分子泵机组，通过设置有减震组件，能够过滤高频低频振动，从而降低整个分子泵机组的振动及噪音。
21、4.本技术提供的一种分子泵机组，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。此结构的一种分子泵机组，通过设置有多组第一安装孔，可适配于不同的前级负压件，以满足分子泵对不同前级真空压力的需求。
22、5.本技术提供的一种分子泵机组，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。此结构的一种分子泵机组，通过设置有散热孔，可提高控制箱的散热性。
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1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。
3.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述连接管路包括连接的第一连接管和第二连接管，所述第一连接管具有所述第一连接部，所述第二连接管具有所述第二连接部。
4.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第一连接管为波纹管。
5.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第二连接管连接有真空测量仪。
6.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第一连接管和所述第二连接管通过固定件连接。
7.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括减震组件，所述减震组件设于所述前级负压件和所述机组底座之间。
8.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述机组底座上设有多组第一安装孔，多组所述第一安装孔用于适配于不同的所述前级负压件。
9.根据权利要求1所述的一种分子泵
10.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括控制箱，所述控制箱设于所述机组底座上，所述机组底座设有散热孔，所述散热孔用于所述控制箱散热。
...【技术特征摘要】
1.一种分子泵机组，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，还包括安装环，所述安装环连接于所述机组底座，所述安装环用于吊装或者用于安装把手。
3.根据权利要求1所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述连接管路包括连接的第一连接管和第二连接管，所述第一连接管具有所述第一连接部，所述第二连接管具有所述第二连接部。
4.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第一连接管为波纹管。
5.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于，所述第二连接管连接有真空测量仪。
6.根据权利要求3所述的一种分子泵机组，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘淑婷，
申请(专利权)人：北京中科九微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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