【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加热设备，尤其涉及一种真空镀膜板式加热器。
技术介绍
1、cn1791286a公开一种板式加热器，其由铝或铝合金的部件一及部件二构成，在其内部将加热电路配置于整个加热板上，在部件一及部件二上，在加热板外周部及加热电路的全周两侧，设有作为接合用嵌合部的槽部及凸部，并还设有多个作为增强用嵌合部的槽部及凸部，在加热板外周部的内侧，设有增强用嵌合部，且接合用嵌合部及增强用嵌合部相互的距离在18cm以内，这种加热板能够防止因加热板大型化而引起的变形，使加热板的热传导性优良且耐久性高。其加热电路采用整体式结构，加热板边缘传热速度大于其中部的传热速度，使得加热板中温度分布不均，并且无法根据加热板的温度分布状态进行适应性调节。因此，有必要对这种板式加热器进行结构优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种真空镀膜板式加热器，以提升其温度均匀性及控制精度。
2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种真空镀膜板式加热器，包括：
4、承载装配构件，该承载装配构件中具有装配空间；
5、外缘发热构件，该外缘发热构件安装于承载装配构件中，并位于承载装配构件的边缘部位；
6、内缘发热构件，该内缘发热构件安装于承载装配构件中，其位于承载装配构件的边缘部位，并位于外缘发热构件内侧；
7、中部发热构件，该中部发热构件安装于承载装配构件汇中，其位于承载装配构件的中部，并位于内缘发热构件内侧；
9、具体地，承载装配构件包括：
10、承载座板，该承载座板采用矩形金属板件加工成型，其顶壁开设有外缘槽口，外缘槽口设有一对，各外缘槽口分别位于承载座板的长边边缘处，并沿承载座板的长度方向延伸，其尾端在承载座板的尾端边缘相互连通，其头端延伸至承载座板的头端边缘；承载座板顶壁还开设有内缘槽口，内缘槽口设有一对，各内缘槽口分别位于承载座板的长边边缘处，其沿承载座板的长度方向延伸，并位于外缘槽口内侧，其尾端在承载座板的尾端边缘相互连通，其头端延伸至承载座板的头端边缘；承载座板顶壁还开设有中部槽口，该中部槽口设有一对，各中部槽口分别位于承载座板中部，其沿承载座板的长度方向延伸，并位于内缘槽口内侧，其尾端在承载座板的尾端相互连通，其头端延伸至承载座板的头端。
11、外缘发热构件包括：
12、外缘盘管，该外缘盘管嵌设于外缘槽口内，其内部加热丝的接线端从承载座板头端向外伸出；
13、外缘热电偶，该外缘热电偶嵌设于承载座板顶壁，并与外缘盘管位置对应，由外缘热电偶对外缘盘管处的温度进行测量，其信号线从承载座板头端向外伸出；
14、外缘接头，该外缘接头位于承载座板头端外侧，外缘盘管中的加热丝接线端接入外缘接头中，外缘热电偶的信号线接入外缘接头中，电源可通过外缘接头向外缘盘管的加热丝供电，外缘热电偶可通过外缘接头向测温仪器传输温度信号。
15、内缘发热构件包括：
16、内缘盘管，该内缘盘管嵌设于内缘槽口内，其内部加热丝的接线端从承载座板头端向外伸出；
17、内缘热电偶，该内缘热电偶嵌设于承载座板顶壁，并与内缘盘管位置对应，由内缘热电偶对内缘盘管处的温度进行测量，其信号线从承载座板头端向外伸出；
18、内缘接头，该内缘接头位于承载座板头端外侧，内缘盘管中的加热丝接线端接入内缘接头中，内缘热电偶的信号线接入内缘接头中，电源可通过内缘接头向内缘盘管的加热丝供电，内缘热电偶可通过内缘接头向测温仪器传输温度信号。
19、中部发热构件包括：
20、中部盘管，该中部盘管嵌设于中部槽口内，其内部加热丝的接线端从承载座板头端向外伸出；
21、中部热电偶，该中部热电偶嵌设于承载座板顶壁，并与中部盘管位置对应，由中部热电偶对中部盘管处的温度进行测量，其信号线从承载座板头端向外伸出；
22、中部接头，该中部接头位于承载座板头端外侧，中部盘管中的加热丝接线端接入中部接头中，中部热电偶的信号线接入中部接头中，电源可通过中部接头向中部盘管的加热丝供电，中部热电偶可通过中部接头向测温仪器传输温度信号。
23、遮护定位构件包括：
24、遮护盖板，该遮护盖板采用矩形金属板件加工成型，其覆盖于外缘盘管、外缘热电偶、内缘盘管、内缘热电偶、中部盘管及中部热电偶上方，并通过连接件与承载座板固定连接，由遮护盖板对外缘盘管、外缘热电偶、内缘盘管、内缘热电偶、中部盘管及中部热电偶进行遮罩防护并定位。
25、在本技术的一个实施例中，遮护盖板及承载座板中分别开设有导热通孔，该导热通孔分别贯穿遮护盖板及承载座板两端，并与外缘盘管、外缘热电偶、内缘盘管、内缘热电偶、中部盘管及中部热电偶错位，以增加遮护盖板及承载座板与外界的接触面积，提高传热效率。
26、本技术的优点在于：
27、该加热器在承载座板中开设外缘槽口、内缘槽口及中部槽口，对承载座板进行从外向内分区，并在外缘槽口、内缘槽口及中部槽口中分别安装含有加热丝的外缘盘管、内缘盘管及中部盘管，分别对承载座板外缘、内缘及中部进行加热，还设置外缘热电偶、内缘热电偶及中部热电偶，分别对承载座板外缘、内缘及中部进行温度监控，以分区控制加热温度，使得承载座板面积内的温度控制更为精准，还在遮护盖板及承载座板中分别开设导热通孔，使得遮护盖板及承载座板与外界的接触面积更大更全面，进一步避免热量局部累积，提升整个加热器的温度均匀性。
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1.一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，承载装配构件包括：
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，外缘发热构件包括：
4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，内缘发热构件包括：
5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，中部发热构件包括：
6.根据权利要求3或4或5所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，遮护定位构件包括：
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，承载装配构件包括：
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，外缘发热构件包括：
4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄永杰，
申请(专利权)人：上海宏端精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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