【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术大体上涉及具有等离子体源的衬底处理反应器。更具体地但非排他地，本专利技术涉及材料通过连续的自饱和表面反应来沉积在表面上的沉积反应器或者涉及材料通过连续的自饱和表面反应从表面去除的蚀刻反应器。
技术介绍
1、该章节图示了有用的背景信息，而不承认本文描述的代表现有技术的任何技术。
2、在化学沉积和蚀刻方法中，诸如原子层沉积(ald)和原子层蚀刻(ale)，等离子体可以被用于为表面反应提供所需的附加能量。虽然ald反应器和ale反应器已经存在了几十年，但等离子体增强反应器表示一种更年轻的技术。因此，持续需要开发改进的等离子体增强ald(peald)反应器和等离子体增强ale(peale)反应器，或者至少提供现有解决方案的备选。
3、通常，衬底处理反应器必须包括移动组件，以便至少使得能够装载和卸载衬底以及调整部分的位置。然而，反应器内部的移动组件与某些缺点相关联，一个常见的问题是反应器组件之间不必要的接触，这可能导致反应器内部生成不需要的颗粒，这些颗粒可能最终在衬底本身上导致污染。所述问题本身经常表现为在衬底的装载位置与处理位置之间移动反应器组件的挑战。因此，持续需要改进的解决方案来减少衬底处理反应器中不需要的颗粒，特别是使用等离子体源。
技术实现思路
1、本专利技术的某些实施例的目的是提供一种改进的衬底处理装置，或者至少提供现有技术的备选解决方案。
2、根据第一示例方面，提供了一种衬底处理装置，包括：
3、反应室，用于处理至少一个
4、可变形进料组件，包括相对于彼此可移动的上部和下部，该可变形进料组件被配置为在竖直延伸状态与竖直缩进状态之间变型，该竖直延伸状态促进反应物流流向反应室，该竖直缩进状态允许衬底装载；以及
5、弹性管状导管，被耦合到可变形进料组件的上部。
6、在某些实施例中，可变形进料组件的上部是第一部分，并且可变形进料组件的下部是第二部分，其中当可变形进料组件处于其竖直延伸状态时，第一部分更靠近反应室，并且第二部分更远离反应室。在某些实施例中，可变形进料组件被配置为从顶部(在竖直延伸状态下)封闭或密封反应室。在某些实施例中，可变形进料组件由弹性管状导管从顶部支撑。在某些实施例中，弹性管状导管被固定地附接至可变形进料组件的上部。
7、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件提供反应物流。在某些实施例中，弹性管状导管提供导管，反应物流通过该导管被提供到可变形进料组件的上部中。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在从上到下的流入可变形进料组件的上部时提供反应物。在某些实施例中，可变形进料组件的上部和下部被配置为引导或促进反应物流作为从上到下的流向反应室的移动。在某些实施例中，该装置被配置为使可变形进料组件变形到竖直缩进状态，以允许衬底卸载。
8、在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在可变形进料组件的上部与装置的固定元件之间。在某些实施例中，固定元件是外室。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在至少部分围绕反应室的外室与可变形进料组件的上部之间。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在外室盖与可变形进料组件的上部之间，其中外室至少部分地围绕反应室。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在可变形进料组件的上部与密封组件之间，该密封组件以固定位置被耦合到装置的固定元件。
9、在某些实施例中，弹性管状导管相对于其与装置的固定元件的附接点布置在固定位置。在某些实施例中，弹性管状导管相对于其与外室的附接点布置在固定位置。在某些实施例中，可变形进料组件经由弹性管状导管被耦合到外室，以将反应物流提供到反应室内的容积中。
10、在某些实施例中，可变形进料组件的所有部分的位置是可调整的。
11、在某些实施例中，衬底处理装置是等离子体增强原子层沉积装置peald反应器。在某些实施例中，衬底处理装置是原子层沉积装置ald反应器。在某些其他实施例中，衬底处理装置是等离子体增强原子层蚀刻装置peale反应器。在某些实施例中，衬底处理装置是原子层蚀刻装置ale反应器。在某些实施例中，该装置包括在反应室的顶侧的等离子体源。在某些实施例中，沉积装置包括在外室的顶侧的等离子体源。在某些实施例中，等离子体源是电感耦合的等离子体源。在某些实施例中，等离子体源被配置为产生用作反应室中的反应物的自由基。
12、在某些实施例中，该装置为来自等离子体源的反应物流提供从上到下的流路，通过弹性管状导管进入可变形进料组件，并且进入反应室。在某些实施例中，反应物被配置为通过反应室底部的出口从反应室排出。
13、在某些实施例中，反应物流由包含反应物的气体组成。在某些实施例中，反应物包括流体反应物、气体反应物和/或等离子体反应物。在某些实施例中，反应物流被配置为在由弹性管状导管提供的导管内流动。在某些实施例中，包括在等离子体源中生成的激发种类的反应物被配置为通过弹性管状导管的内部导管流向反应室。在某些实施例中，包括激发种类的反应物被配置为通过可变形进料组件流到位于反应室中的(多个)衬底，以生成表面反应。
14、在某些实施例中，在反应室与至少部分围绕反应室的外室之间形成中间空间。在某些实施例中，外室完全围绕反应室。在某些实施例中，在反应室与完全部分围绕反应室的外室之间形成中间空间。在这方面，通过“完全地”表示反应室被视为完全被外室和/或中间空间围绕，因为其中处理衬底的反应室被外室围绕，不包括通向/来自反应室的任何入口和/或出口的位置。在某些实施例中，弹性管状导管和可变形进料组件被布置在同一空间内。在某些实施例中，弹性管状导管和可变形进料组件被布置在外室内部的中间空间内。
15、在某些实施例中，弹性管状导管经由例如凸缘被耦合到进料组件的上部。
16、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为利用其内部存储的机械势能向可变形进料组件生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为利用其内部存储的弹性能向可变形进料组件生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件的上部生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件的上部和下部生成机械力。
17、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件生成机械力，以稳定可变形进料组件的上部。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为调整可变形进料组件的上部的位置。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为通过向可变形进料组件生成机械力来稳定和调整可变形进料组件的上部的位置。
18、在某些实施例中，弹性管状导管是被配置为存储机械势能的弹性物体。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为预张紧。在某些实施例中，预张紧的弹性管状导管被耦合到可变形进料组件的上部，被配置为向可变形进料组件提供反应物流。
19、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为调整可变形进料组件的上部的竖直和/或水平和/或角度位置。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为通过朝向弹性管状导管和/或与可变形进料组件的下部的竖直本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种衬底处理装置(100)，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为向所述可变形进料组件(85)提供所述反应物流。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被耦合在所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)与所述装置(100)的固定元件之间。
4.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为利用其内部存储的机械势能向所述可变形进料组件(85)生成机械力。
5.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为：通过向所述可变形进料组件(85)生成机械力，来稳定并调整所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)的位置。
6.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为在由所述可变形进料组件(85)生成的机械力作用下拉伸或压缩。
7.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)被配置为：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下抵靠所述
8.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下，在所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)与所述上部(70)之间的密封界面。
9.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述部(70、80)被配置为在所述可变形进料组件(85)的所述竖直缩进状态下嵌套在彼此内部。
10.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：预张紧机构(130)，用以通过防止所述弹性管状导管(150)返回到未拉伸位置来预张紧所述弹性管状导管(150)。
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述预张紧机构(130)被配置为：经由所述弹性管状导管(150)向所述可变形进料组件(85)生成机械力。
12.根据权利要求10或11所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)和所述预张紧机构(130)被配置为：通过向所述可变形进料组件(85)生成机械力，来使所述可变形进料组件(85)稳定并且防止所述可变形进料组件(85)的泄漏。
13.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：移动致动机构，所述移动致动机构被附接至所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)，被配置为使所述可变形进料组件(85)在所述竖直延伸状态与所述竖直缩进状态之间变形。
14.根据权利要求13所述的装置，其中所述移动致动机构利用弹簧装载附接件(90)被附接至所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)。
15.根据权利要求14所述的装置，其中所述移动致动机构包括：利用所述弹簧装载附接件(90)耦合到所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)的至少一个移动轴(120)。
16.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被耦合在所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)与所述装置(100)的固定元件之间。
17.根据权利要求16所述的装置，其中所述装置(100)的所述固定元件是所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)。
18.一种方法，包括：
19.一种方法，包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种衬底处理装置(100)，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为向所述可变形进料组件(85)提供所述反应物流。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被耦合在所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)与所述装置(100)的固定元件之间。
4.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为利用其内部存储的机械势能向所述可变形进料组件(85)生成机械力。
5.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为：通过向所述可变形进料组件(85)生成机械力，来稳定并调整所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)的位置。
6.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为在由所述可变形进料组件(85)生成的机械力作用下拉伸或压缩。
7.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)被配置为：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下抵靠所述反应室(20)被密封，以向所述反应室(20)提供所述反应物流。
8.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下，在所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)与所述上部(70)之间的密封界面。
9.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述部(70、80)被配置为在所述可变形进料组件(85)的所述竖直缩进状态下嵌套在彼此内部。
10.根据任何前述权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·奎图南，T·布隆贝格，J·基维奥亚，J·波蒂艾南，H·阿拉科斯基，
申请(专利权)人：皮考逊公司，
类型：发明
国别省市：
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