【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于传送基板的系统及方法，并且更具体地，涉及即使在通过机器人输送装置摆动移动和输送基板时也能够保持基板的方向或基板的顺序的用于传送基板的系统及方法。
技术介绍
1、当机器人输送装置将基板从左侧上的上游设备输送到右侧上的下游设备时，如果基板处于基板a和基板b的顺序，则在机器人输送装置转动并且输送臂摆动的同时机器人输送装置的定向角改变180°，使得基板的顺序自然且必然地反转为基板b和基板a。
2、因此，根据常规技术，为了通过将这种如上所述反转的基板的顺序进一步反转成基板a和基板b来确保设备之间的基板的顺序的连续性，在上游设备或下游设备上安装能够改变基板的顺序或基板的方向的附加的转台装置。
3、因此，根据常规技术，用于传送基板的机器人输送装置的基板传送时间和通过转台装置进一步反转先前反转的基板的基板反转时间是分开需要的，因此需要长的时间来传送和对准基板。此外，还存在另外需要用于安装转台的不期望的部件或空间的问题。
技术实现思路
1、因此，本专利技术是为了克服包括上述问题的各种问题而做出的，并且本专利技术的一目的在于提供基板传送系统及基板传送方法，其中，能够进一步反转先前反转的基板的补偿旋转装置安装在机器人输送装置上，从而即使在基板机器人输送装置传送时，也能够保持基板的方向或基板的顺序；其中，不需要可替代的转台装置，因此可以提高设备的空间利用率；其中，在传送基板的同时，基板可以经历补偿旋转，从而大大减少分配和输送时间。然而，如上所述的这种目的仅用于说明
2、为了实现以上目的，根据本专利技术精神的基板传送系统可以包括：机器人输送装置，使用至少一个可摆动移动的输送臂来传送至少一个基板；以及补偿旋转装置，安装在机器人输送装置的输送臂上，并且选择性地支承基板，使得基板能够补偿旋转，从而即使当在机器人输送装置传送基板的同时输送臂进行摆动运动时，也能够保持基板的方向或基板的顺序。
3、此外，根据本专利技术，补偿旋转装置可以包括：旋转摆动甲板，支承基板，并且可旋转地安装；摆动甲板升降装置，将旋转摆动甲板从低于输送臂的第一高度向上移动到高于输送臂的第二高度；以及摆动甲板旋转装置，使提升到第二高度的旋转摆动甲板旋转。
4、此外，根据本专利技术，旋转摆动甲板可以包括：主体，连接到摆动甲板升降装置或摆动甲板旋转装置；扩展部，安装成可从主体扩展；以及扩展装置，使扩展部扩展。
5、此外，根据本专利技术，扩展部可以是能够向主体折叠以及从主体展开的可折叠旋转臂。
6、此外，根据本专利技术，可折叠旋转臂可以包括：第一旋转臂，基于主体在一个方向上展开；以及第二旋转臂，基于主体在另一个方向上展开。
7、此外，根据本专利技术，在主体上可以形成有第一支承销；在第一旋转臂上可以形成有第二支承销；以及在第二旋转臂上可以形成有第三支承销，以在三个或更多个点处支承基板。
8、此外，根据本专利技术，还可以包括：控制单元，向机器人输送装置施加摆动运动控制信号，并且向补偿旋转装置施加补偿旋转控制信号，其中，当机器人输送装置进行摆动运动时，控制单元可以基于机器人输送装置的摆动运动率来控制补偿旋转装置的补偿旋转率，以便恒定地保持基板的方向，从而防止施加到基板的旋转冲击。
9、此外，根据本专利技术，当机器人输送装置进行摆动运动时，如果基板通过机器人输送装置以第一角度正向旋转，则控制单元可以使补偿旋转装置能够以第一角度反向旋转基板。
10、此外，根据本专利技术，补偿旋转装置可以包括：滚轮，安装在机器人输送装置的输送臂上，并且与基板的底表面滚动接触；以及轮旋转装置，使滚轮旋转，使得滚轮能够使基板在基板的自转方向上旋转。
11、此外，根据本专利技术，多个滚轮可以基于基板的中心以相等的角度设置。
12、此外，根据本专利技术，扩展部可以是储存在主体中并且然后从主体突出的滑动型向前/向后臂。
13、此外，根据本专利技术，滑动型向前/向后臂可以包括：第一向前/向后臂，基于主体在一个方向上收缩和伸展；以及第二向前/向后臂，基于主体在另一个方向上收缩和伸展。
14、另一方面，为了实现以上目的，根据本专利技术精神的基板传送方法可以包括：(a)通过机器人输送装置使用至少一个可摆动移动的输送臂来传送至少一个基板；以及(b)在通过机器人输送装置传送基板的同时，选择性地支承基板，并且使用安装在机器人输送装置的输送臂上的补偿旋转装置来使基板能够补偿旋转，从而即使在输送臂进行摆动运动时，也能够保持基板的方向或基板的顺序。
15、此外，根据本专利技术，步骤(b)可以包括：(b-1)将补偿旋转装置从低于输送臂的第一高度向上移动到高于输送臂的第二高度，从而支承基板；(b-2)通过补偿旋转装置使基板旋转；以及(b-3)将补偿旋转装置从高于输送臂的第二高度向下移动到低于输送臂的第一高度，从而与基板间隔开。
16、此外，根据本专利技术，在步骤(b-1)之前，以上步骤(b)还可以包括(b-4)通过补偿旋转装置使补偿旋转装置的扩展部从补偿旋转装置的主体扩展。
17、此外，根据本专利技术，在步骤(b)中，当机器人输送装置进行摆动运动时，可以基于机器人输送装置的摆动运动率来控制补偿旋转装置的补偿旋转率，以便保持基板的方向，从而防止施加到基板的旋转冲击。
18、此外，根据本专利技术，在步骤(b)中，当机器人输送装置进行摆动运动时，如果基板通过机器人输送装置以第一角度正向旋转，则补偿旋转装置可以以第一角度反向旋转基板。
19、此外，根据本专利技术，在步骤(b)中，补偿旋转装置可以使与基板的底表面滚动接触的滚轮在基板的自转方向上旋转，使得基板能够补偿旋转。
20、此外，根据本专利技术，所述方法还可以包括(c)在保持基板的方向或基板的顺序的同时，通过机器人输送装置将经补偿旋转的基板传送到其他设备。
21、另一方面，为了实现以上目的，根据本专利技术精神的基板传送系统可以包括：机器人输送装置，使用至少一个可摆动移动的输送臂来传送至少一个基板；补偿旋转装置，安装在机器人输送装置的输送臂上，并且选择性地支承基板并使基板能够补偿旋转，从而即使当在机器人输送装置传送基板的同时输送臂进行摆动运动时，也能够保持基板的方向或基板的顺序；以及控制单元，向机器人输送装置施加摆动运动控制信号，并且还向补偿旋转装置施加补偿旋转控制信号，其中，补偿旋转装置可以包括：旋转摆动甲板，支承基板，并且可旋转地安装；摆动甲板升降装置，将旋转摆动甲板从低于输送臂的第一高度向上移动到高于输送臂的第二高度；摆动甲板旋转装置，使提升到第二高度的旋转摆动甲板旋转；滚轮，安装在机器人输送装置的输送臂上，并且与基板的底表面滚动接触；以及轮旋转装置，使滚轮旋转，使得滚轮能够使基板在基板的自转方向上旋转，其中，旋转摆动甲板可以包括：主体，连接到摆动甲板升降装置或摆动甲板旋转装置；扩展部，安装成可从主体扩展；以及扩展装置，使扩展部扩展，其中，扩展部是能够向主体折叠以及从本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板传送系统，包括：
2.根据权利要求1所述的基板传送系统，其中，所述补偿旋转装置包括：
3.根据权利要求2所述的基板传送系统，其中，所述旋转摆动甲板包括：
4.根据权利要求3所述的基板传送系统，其中，所述扩展部是能够向所述主体折叠以及从所述主体展开的可折叠旋转臂。
5.根据权利要求4所述的基板传送系统，其中，所述可折叠旋转臂包括：
6.根据权利要求5所述的基板传送系统，其中，在所述主体上形成有第一支承销；
7.根据权利要求1所述的基板传送系统，还包括：
8.根据权利要求7所述的基板传送系统，其中，当所述机器人输送装置进行摆动运动时，如果所述基板通过所述机器人输送装置以第一角度正向旋转，则所述控制单元使所述补偿旋转装置能够以所述第一角度反向旋转所述基板。
9.根据权利要求1所述的基板传送系统，其中，所述补偿旋转装置包括：
10.根据权利要求9所述的基板传送系统，其中，多个所述滚轮基于所述基板的中心以相等的角度布置。
11.根据权利要求3所述的基板传送系统
12.根据权利要求11所述的基板传送系统，其中，所述滑动型向前/向后臂包括：
13.一种基板传送方法，包括以下步骤：
14.根据权利要求13所述的基板传送方法，其中，所述步骤(b)包括以下步骤：
15.根据权利要求14所述的基板传送方法，其中，在所述步骤(b-1)之前，所述步骤(b)还包括：
16.根据权利要求13所述的基板传送方法，其中，在所述步骤(b)中，
17.根据权利要求16所述的基板传送方法，其中，在所述步骤(b)中，
18.根据权利要求13所述的基板传送方法，其中，在所述步骤(b)中，
19.根据权利要求13所述的基板传送方法，还包括：
20.一种基板传送系统，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种基板传送系统，包括：
2.根据权利要求1所述的基板传送系统，其中，所述补偿旋转装置包括：
3.根据权利要求2所述的基板传送系统，其中，所述旋转摆动甲板包括：
4.根据权利要求3所述的基板传送系统，其中，所述扩展部是能够向所述主体折叠以及从所述主体展开的可折叠旋转臂。
5.根据权利要求4所述的基板传送系统，其中，所述可折叠旋转臂包括：
6.根据权利要求5所述的基板传送系统，其中，在所述主体上形成有第一支承销；
7.根据权利要求1所述的基板传送系统，还包括：
8.根据权利要求7所述的基板传送系统，其中，当所述机器人输送装置进行摆动运动时，如果所述基板通过所述机器人输送装置以第一角度正向旋转，则所述控制单元使所述补偿旋转装置能够以所述第一角度反向旋转所述基板。
9.根据权利要求1所述的基板传送系统，其中，所述补偿旋转装置包括：
10.根据权利要求9所述的基板传送系统...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。