【技术实现步骤摘要】
本申请一般涉及牵涉半导体处理设备的系统和方法，并且具体涉及用于化学蒸汽输送的汽化系统。
技术介绍
1、典型的固体或液体源反应物输送系统包括固体或液体源容器和加热装置。容器可以包括待汽化的化学反应物。载气将反应物蒸汽与其一起扫过容器出口并最终到达基板反应室。通常，一个隔离阀设置在容器入口的上游，并且另一隔离阀设置在容器出口的下游。
技术实现思路
1、固体源化学升华器的一些实施例可以包括配置成在其中保持固体化学反应物的壳体。所述壳体可以包括近侧部分和远侧部分，并且可以具有沿着所述壳体的长度延伸的壳体轴线。盖可以布置在所述壳体的近侧部分上。所述盖可以包括流体入口和流体出口，并且在所述盖的远侧部分内限定蛇形流动路径。所述盖可以适于允许所述流动路径内的气流。所述固体源化学升华器可以包括布置在所述蛇形流动路径和所述壳体的远侧部分之间的过滤器。所述过滤器可以具有配置成限制固体化学反应物通过其中的孔隙率。
2、在附图和以下描述中阐述了本说明书中描述的主题的一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求，其它特征、方面和优点将变得显而易见。该
技术实现思路
和以下具体实施方式都不旨在限定或限制本专利技术主题的范围。
【技术保护点】
1.一种固体源化学升华器，包括：
2.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述两个或更多个传导突起中的至少两个与所述壳体轴线径向间隔开。
3.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述两个或更多个传导突起包括至少六个传导突起。
4.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述热传导导管被配置为连接至热源。
5.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，还包括设置在所述盖的远端面下方和所述壳体的近端部分上方的过滤器，所述过滤器具有构造成限制所述固体化学反应物从中通过的通道。
6.根据权利要求5所述的固体源化学升华器，其中所述盖的远端面接触所述过滤器的近端表面，并且其中所述外壳的所述近端部分接触所述过滤器的远端表面。
7.根据权利要求5所述的固体源化学升华器，其中所述流动结构包括构造成支撑所述过滤器的过滤器框架。
8.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述流动结构包括蛇形路径，所述蛇形路径被配置为促进所述载气与所述升华的反应物的饱和。
9.一种固体源化学升华器，包括：>
10.根据权利要求9所述的固体源化学升华器，其中所述多个热传导突起中的至少一个连接至所述基座。
11.根据权利要求9所述的固体源化学升华器，其中所述多个热传导突起中的至少一个从所述基座延伸。
12.根据权利要求11所述的固体源化学升华器，其中所述至少一个热传导突起从所述基座轴向延伸。
13.根据权利要求9所述的固体源化学升华器，其中所述多个热传导突起中的至少两个相对于所述壳体轴线径向地间隔开。
14.根据权利要求13所述的固体源化学升华器，其中所述多个热传导突起中的至少两个与所述壳体轴线正交地延伸。
15.一种固体源容器，包括：
16.根据权利要求15所述的固体源容器，其中所述多个热传导突起包括垂直突出部和从所述垂直突出部径向向外延伸的径向突出部。
17.根据权利要求16所述的固体源容器，其中所述径向突出部从所述竖直突出部悬臂伸出，使得所述径向突出部不接触所述壳体。
18.根据权利要求16所述的固体源容器，还包括设置在所述垂直突出部内的加热元件。
19.根据权利要求15所述的固体源容器，其中所述多个热传导突起中的每一个均具有细长形状。
20.根据权利要求15所述的固体源容器，其中所述多个热传导突起中的每组相邻的热传导突起彼此径向相等地间隔开。
...【技术特征摘要】
1.一种固体源化学升华器，包括：
2.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述两个或更多个传导突起中的至少两个与所述壳体轴线径向间隔开。
3.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述两个或更多个传导突起包括至少六个传导突起。
4.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述热传导导管被配置为连接至热源。
5.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，还包括设置在所述盖的远端面下方和所述壳体的近端部分上方的过滤器，所述过滤器具有构造成限制所述固体化学反应物从中通过的通道。
6.根据权利要求5所述的固体源化学升华器，其中所述盖的远端面接触所述过滤器的近端表面，并且其中所述外壳的所述近端部分接触所述过滤器的远端表面。
7.根据权利要求5所述的固体源化学升华器，其中所述流动结构包括构造成支撑所述过滤器的过滤器框架。
8.根据权利要求1所述的固体源化学升华器，其中所述流动结构包括蛇形路径，所述蛇形路径被配置为促进所述载气与所述升华的反应物的饱和。
9.一种固体源化学升华器，包括：
10.根据权利要求9所述的固体源化学升华器，其中所述多个热传导突起中的至少一个连接至所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·J·希罗，C·L·怀特，M·E·韦尔盖塞，K·范德如里奥，T·J·沙利文，
申请(专利权)人：ASMIP控股有限公司，
类型：发明
国别省市：
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