【技术实现步骤摘要】
本技术属于排气阀领域，尤其涉及一种超高真空排气阀。
技术介绍
1、现有的低温泵泵壁多数是单层的金属板，虽然在冷头低温状态时，泵内是真空状态，泵内和泵外的热交换较少，但是仍然有一定量的冷量损失，增加了低温泵的热负荷。另外当冷头再生时，冷头上的凝聚的气体释放出来，泵内的真空被破坏，冷头的冷量通过气体传到泵壁上，泵壁外侧会有凝结水，凝结水会对设备电气件的绝缘产生危害作用。
2、杜瓦低温泵很好的解决了这些问题。杜瓦低温泵的泵壁是双层的，分内壁和外壁。内壁和外壁之间的夹层被抽空，处于真空状态。那么泵内的冷量就比较少的传到外壁上，真空度越高，泵内冷头和外界空气热交换就越少。同时泵再生时，泵外壁表面的凝结水现象就没有了。
3、现在的杜瓦泵多数采用外部抽空系统对内外壁夹层内的空气进行抽空。如果要获得≤10-6pa的超高真空，就需一套能够获得超高真空的机组(比如分子泵机组)来完成。很多情况下，用户没有超高真空的机组，即使有，连接抽空系统也不是很便捷。
4、现有公开了真空排气阀(专利申请号为：cn202221563671.5)，包括阀体、螺纹连接于阀体的调节盖、形成于阀体的排气腔与流道、活动设置于排气腔的阀芯、形成于排气腔与流道之间的阀座以及设置于调节盖与阀芯之间的第一挤压弹簧，调节盖上活动设置有压盖，压盖与阀芯之间设有第二挤压弹簧，压盖与调节盖之间设有可拆卸的固定组件。
5、该排气阀通过设置的压盖极大减少了调节盖调节或拆装时所需的操作力度，增加工作人员的工作效率，但是不适用于杜瓦低温泵夹层间的排气抽
技术实现思路
1、本申请提供了一种超高真空排气阀，旨在解决现有抽真空装置在对杜瓦低温泵夹层抽气时存在无法适用以及夹层与外部抽空系统的连接存在不便捷的问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案，包括：
3、包括阀芯、升降螺母、扁口板、盖板、限位块、第一螺钉、第二螺钉、盖板座和密封座；
4、阀芯下端依次穿过密封座和扁口板与升降螺母螺纹连接，限位块卡合于升降螺母内部，第一螺钉穿过限位块与阀芯下端螺纹连接，盖板座焊接于密封座底部，第二螺钉穿过盖板与盖板座螺纹连接，以将升降螺母限位于密封座底部。
5、作为优选，密封座包括焊接为一体式的轴向密封座壳和径向密封座。
6、作为优选，轴向密封座壳设有排气口和若干数量的排气孔，排气孔均与排气口连通。
7、作为优选，还包括轴向密封o型圈，轴向密封座壳还设有第一密封槽，轴向密封o型圈与第一密封槽卡合。
8、作为优选，第一密封槽的形状为梯形。
9、作为优选，径向密封座设有轴孔，阀芯穿过轴孔且沿轴孔开口方向滑动，轴孔上端设有用于便利阀芯装配的导向角。
10、作为优选，升降螺母包括焊接为一体式的螺母和六角套，螺母设有第一螺纹孔，限位块位于六角套内部且与第一螺纹孔相抵。
11、作为优选，阀芯包括连接为一体式的阀盖和阀杆，阀杆下端设有第二螺纹孔且外壁设有螺纹，第二螺纹孔与第一螺钉匹配，螺纹与第一螺纹孔匹配。
12、作为优选，还包括径向密封o型圈，阀杆设有第二密封槽，径向密封o型圈与第二密封槽卡合。
13、本技术具有以下有益效果：
14、(1)本方案是在杜瓦低温泵泵壁内外的夹层之间增加了一个开闭的阀门，利用低温泵自身能够获得超高真空的抽气能力，对夹层进行抽气，从而使夹层内获得≤10-6pa真空度，可以有效适用于泵壁夹层的空气抽取；
15、(2)操作人员在泵外使用常用的扳手旋转阀底的升降螺母，即可实现阀门的开闭，即可完成夹层中空气的抽真空，操作简单且便捷；
16、(3)在阀杆上安装径向密封o型圈，可以将外部气体与夹层隔开，且在阀杆的上下移动中，也不会泄气，增强气密性；在排气口处安装轴向密封o型圈，使得阀盖关闭时，有效的将低温泵的内腔与夹层隔开，保障夹层的超高真空状态，以避免泵壁外侧产生凝结水，对设备电气件的绝缘产生危害。
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1.一种超高真空排气阀，其特征在于，包括阀芯(1)、升降螺母(4)、扁口板(5)、盖板(6)、限位块(7)、第一螺钉(8a)、第二螺钉(8b)、盖板座(9)和密封座(10)；
2.根据权利要求1所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，密封座(10)包括焊接为一体式的轴向密封座壳(101)和径向密封座(102)。
3.根据权利要求2所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，轴向密封座壳(101)设有排气口(1013)和若干数量的排气孔(1011)，排气孔(1011)均与排气口(1013)连通。
4.根据权利要求3所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，还包括轴向密封O型圈(02)，轴向密封座壳(101)还设有第一密封槽(1012)，轴向密封O型圈(02)与第一密封槽(1012)卡合。
5.根据权利要求4所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，第一密封槽(1012)的形状为梯形。
6.根据权利要求3所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，径向密封座(102)设有轴孔(1022)，阀芯(1)穿过轴孔(1022)且沿轴孔(1022)开口方向
7.根据权利要求6所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，升降螺母(4)包括焊接为一体式的螺母(41)和六角套(42)，螺母(41)设有第一螺纹孔(411)，限位块(7)位于六角套(42)内部且与第一螺纹孔(411)相抵。
8.根据权利要求7所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，阀芯(1)包括连接为一体式的阀盖(11)和阀杆(12)，阀杆(12)下端设有第二螺纹孔(15)且外壁设有螺纹(14)，第二螺纹孔(15)与第一螺钉(8a)匹配，螺纹(14)与第一螺纹孔(411)匹配。
9.根据权利要求8所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，还包括径向密封O型圈(01)，阀杆(12)设有第二密封槽(13)，径向密封O型圈(01)与第二密封槽(13)卡合。
...【技术特征摘要】
1.一种超高真空排气阀，其特征在于，包括阀芯(1)、升降螺母(4)、扁口板(5)、盖板(6)、限位块(7)、第一螺钉(8a)、第二螺钉(8b)、盖板座(9)和密封座(10)；
2.根据权利要求1所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，密封座(10)包括焊接为一体式的轴向密封座壳(101)和径向密封座(102)。
3.根据权利要求2所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，轴向密封座壳(101)设有排气口(1013)和若干数量的排气孔(1011)，排气孔(1011)均与排气口(1013)连通。
4.根据权利要求3所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，还包括轴向密封o型圈(02)，轴向密封座壳(101)还设有第一密封槽(1012)，轴向密封o型圈(02)与第一密封槽(1012)卡合。
5.根据权利要求4所述的一种超高真空排气阀，其特征在于，第一密封槽(1012)的形状为梯形。
6.根据权利要求3所述的一种超高真空排气...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈家富，程毛宏，
申请(专利权)人：浙江博开机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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