一种电子级全自动高纯硅料清洗设备制造技术

本技术涉及硅料清洗设备领域，具体涉及一种电子级全自动高纯硅料清洗设备包括：设备箱，设备箱内具有若干依次连接的工艺腔室，设备箱的两端分别具有上料口和下料口；设备箱内设置有搬运机构，搬运机构适于驱动料篮依次经过各工艺腔室；设备箱顶部安装有天车机构，天车机构适于将下料口的料篮搬运到上料口。通过取料组件，使得搬运机构能够兼容两种不同的料篮，无需更换硬件，实现全自动清洗。在清洗槽内设置旋转机构，旋转机构可以在清洗过程中旋转圆篮，保证硅料与清洗液充分接触。设置天车机构，对下料口的料篮从内部转移到上料口，避免硅料在外部造成污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅料清洗设备领域，具体涉及一种电子级全自动高纯硅料清洗设备。

技术介绍

1、随着光伏半导体行业的发展，行业内对硅料的要求日益提高。以往工艺生产出来的硅料杂质含量较大，已经不能满足半导体行业进一步发展的需求。为满足行业的发展需求，需要设计一种电子级全自动高纯硅料清洗设备。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种电子级全自动高纯硅料清洗设备，以解决上述问题。

2、为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种电子级全自动高纯硅料清洗设备，包括：设备箱，所述设备箱内具有若干依次连接的工艺腔室，所述设备箱的两端分别具有上料口和下料口；

3、所述设备箱内设置有搬运机构，所述搬运机构适于驱动料篮依次经过各所述工艺腔室；

4、所述设备箱顶部安装有天车机构，所述天车机构适于将下料口的料篮搬运到上料口。

5、进一步的，所述搬运机构包括驱动组件、取料支架和取料组件；

6、所述驱动组件与所述设备箱活动连接，所述驱动组件适于驱动所述取料支架沿所述设备箱水平滑动；

7、所述取料支架与所述驱动组件传动连接，所述取料支架适于带动所述取料组件沿所述驱动组件升降；

8、所述取料组件适于搬运料篮。

9、进一步的，所述取料组件包括镜像设置的两取料板，两所述取料板之间设置有两搭杆；

10、两所述搭杆平行设置，且高度相同；

11、所述搭杆的下方设置有取料钩。

12、进一步的，所述驱动组件包括滑动架，所述滑动架底部设置有驱动电机，所述驱动电机的活动端与所述设备箱传动连接；

13、所述滑动架内侧设置有顶升气缸，所述顶升气缸的活动端朝上设置，且所述顶升气缸的活动端与所述取料支架连接。

14、进一步的，所述天车机构包括天车架、搬运车和两电梯，所述天车架设置在所述设备箱顶部，两电梯分别设置在所述设备箱的下料口和上料口，所述设备箱适于驱动料篮升降；

15、所述搬运车设置在所述天车架上，所述搬运车与所述天车架活动连接，所述搬运车适于将下料口的料篮搬运至上料口。

16、进一步的，所述搬运车包括安装座、升降气缸和机械手，所述升降气缸安装在所述安装座上，且所述升降气缸的活动端与所述机械手固定连接，所述机械手适于搬运料篮；

17、所述搬运车上还安装有传动电机，所述传动电机与所述天车架传动连接。

18、进一步的，所述设备箱的顶部还设置有若干ffu风机过滤单元和若干风阀，一个所述工艺腔室顶部分别对应一个ffu风机过滤单元和一个风阀；

19、相邻两所述工艺腔室之间设置有隔离门；

20、所述设备箱的两端分别设置有电柜，所述设备箱上至少设置有一个显示面板和操作屏。

21、进一步的，至少一个所述工艺腔室内具有清洗槽，所述清洗槽内具有第一支撑架和第二支撑架，所述第一支撑架和所述第二支撑架适于支撑两种料篮。

22、进一步的，所述清洗槽内还具有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴和分别设置在所述旋转轴两端的配合齿轮，所述旋转轴与清洗槽转动连接；

23、料篮与配合齿轮啮合时，旋转轴转动以驱动配合齿轮带动料篮转动。

24、进一步的，所述旋转机构还包括驱动器和传动轴，所述驱动器安装在所述清洗槽上，所述驱动器与所述传动轴传动连接，所述传动轴与所述旋转轴传动连接。

25、相对于现有技术，本技术实施例具有以下有益效果：1、通过取料组件，使得搬运机构能够兼容两种不同的料篮，无需更换硬件，实现全自动清洗。2、在清洗槽内设置旋转机构，旋转机构可以在清洗过程中旋转圆篮，保证硅料与清洗液充分接触。3、通过风阀抽风，同时设置隔离门，实现干湿分离。4、设置天车机构，对下料口的料篮从内部转移到上料口，避免硅料在外部造成污染。

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【技术保护点】

1.一种电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

3.如权利要求2所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

4.如权利要求2所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

5.如权利要求1所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

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9.如权利要求8所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

10.如权利要求9所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

3.如权利要求2所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

4.如权利要求2所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

5.如权利要求1所述的电子级全自动高纯硅料清洗设备，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，谈丽文，申斌，杨扬，顾泉鸣，鞠璐平，王千熙，成旭，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：

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