密封阀门及半导体检测设备制造技术

本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。该密封阀门包括驱动机构及密封结构；密封结构包括固定挡块、动密封块以及第一密封件，固定挡块设有过孔，过孔沿第一方向贯通设置；第一密封件在第二方向上设置于固定挡块与动密封块之间；动密封块连接于驱动机构并设置为在驱动机构的驱动下沿第二方向运动，以使第一密封件密封过孔。动密封块仅需具备第二方向上的活动自由度即可配合固定挡块挤压密封件，以实现对固定挡块上的过孔进行密封，动密封块并没有被挤压夹持，卡死风险较低。相应地，对于具备该密封阀门的半导体检测设备，利用该密封阀门使得控制腔体通断状态，能够更好地确保密封性。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体制造，尤其是涉及一种密封阀门及半导体检测设备。

技术介绍

1、随着集成电路产业的快速发展，集成电路产业链上的各设备对技术要求和工艺方法提出了更高的要求。扫描电镜作为集成电路产业链上的重要组成装置，对真空环境的要求也越来越高，电子枪作为扫描电镜的重要构成模块之一，对真空的要求更是严格。

2、电子枪在调试完成后需要转入检测机台或在更换样品的情况下，都需要让电子枪处于真空环境中，一般采用真空密封阀门实现密封。

3、现有的真空密封阀门通过可活动的导向块驱动密封块抵接于挡块上，在导向块及挡块的作用下夹持密封块并使得密封块下压以进行密封。然而，现有这种密封方式中，密封块与挡块及导向块之间发生相对运动且摩擦力较大，极易出现卡死密封块的现象，导致密封块未达到设定的密封位置，影响密封性能。

技术实现思路

1、本申请提供了一种密封阀门及半导体检测设备，以解决现有真空密封阀门易出现卡死密封块导致影响密封性能的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种密封阀门，包括驱动机构及密封结构；密封结构包括固定挡块、动密封块以及第一密封件，固定挡块设有过孔，过孔沿第一方向贯通设置；第一密封件在第二方向上设置于固定挡块与动密封块之间；动密封块连接于驱动机构并设置为在驱动机构的驱动下沿第二方向运动，以使第一密封件密封过孔。

3、在本申请可选的方案中，第一密封件包括第一密封段、第二密封段、第三密封段以及第四密封段；第一密封段、第二密封段、第三密封段及第四密封段依次首尾相连，第一密封段与第三密封段在第一方向以及第二方向上均间隔设置。

4、在本申请可选的方案中，动密封块包括主体部以及延伸部，延伸部从主体部靠近固定挡块的一端沿第二方向伸出，并与主体部配合形成有位于延伸部在第一方向一侧的第二内凹槽；第一密封段设置于延伸部与固定挡块之间，第二密封段、第三密封段以及第四密封段设置于主体部与固定挡块之间、且第三密封段处于第二内凹槽所在位置。

5、在本申请可选的方案中，延伸部具有第一弧形面，主体部具有位于第二内凹槽处的第二弧形面，第二弧形面与第一弧形面在第一方向以及第二方向上均间隔设置；第一密封段设置于第一弧形面与固定挡块之间，第三密封段设置于第二弧形面与固定挡块之间。

6、在本申请可选的方案中，固定挡块包括在第二方向上依次连接的第一固定部、第二固定部以及第三固定部；第二固定部在第一方向上突出于第一固定部，过孔位于第二固定部；第三固定部在第一方向上突出于第二固定部，并与第二固定部形成有在第二方向上的第一内凹槽；第一密封段、第二密封段及第四密封段设置于动密封块与第三固定部之间，第三密封段设置于动密封块与第二固定部之间。

7、在本申请可选的方案中，密封结构还包括第二密封件，第二密封件设置于固定挡块在第一方向上远离动密封块一侧并环绕过孔。

8、在本申请可选的方案中，固定挡块设有至少一个导向槽，各导向槽沿第一方向延伸；动密封块设有至少一个导轨，各导轨沿第一方向延伸；各导轨一一对应收容于导向槽中并能够沿导向槽滑移。

9、在本申请可选的方案中，驱动机构包括动力构件及导向杆；导向杆沿第二方向延伸设置并连接于动力构件及动密封块；导向杆设置为在动力构件的作用下带动动密封块沿第二方向运动。

10、在本申请可选的方案中，驱动机构还包括形变套管，形变套管外套于导向杆并连接于动力构件及导向杆。

11、根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括腔体以及上述的密封阀门；腔体内设有隔板，隔板在第一方向将腔体分隔为第一腔体及第二腔体，隔板设有过道以连通第一腔体及第二腔体；密封结构设置于第一腔体，固定挡块连接于隔板，过孔连通于过道；驱动机构穿过腔体的壳壁以连接于动密封块。

12、综上所述，本申请提供的密封阀门及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

13、在本申请提供的密封阀门中，动密封块仅需具备第二方向上的活动自由度即可配合固定挡块挤压密封件，以实现对固定挡块上的过孔进行密封，动密封块并没有被挤压夹持，卡死风险较低。相应地，对于具备该密封阀门的半导体检测设备，利用该密封阀门使得控制腔体通断状态，能够更好地确保密封性。

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【技术保护点】

1.一种密封阀门，其特征在于，包括驱动机构及密封结构；

2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述密封结构还包括第二密封件，所述第二密封件设置于所述固定挡块在所述第一方向上远离所述动密封块一侧并环绕所述过孔。

7.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述固定挡块设有至少一个导向槽，各所述导向槽沿所述第一方向延伸；

8.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构包括动力构件及导向杆；

9.根据权利要求8所述的密封阀门，其特征在于，所述驱动机构还包括形变套管，所述形变套管外套于所述导向杆并连接于所述动力构件及所述导向杆。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括腔体以及根据权利要求1至9中任一项所述的密封阀门；

【技术特征摘要】

1.一种密封阀门，其特征在于，包括驱动机构及密封结构；

2.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，

5.根据权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述密封结构还包括第二密封件，所述第二密封件设置于所述固定挡块在所述第一方向上远离所述动密封块一侧并环绕所述过孔。

【专利技术属性】
技术研发人员：侯明凯，李帅辰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：