【技术实现步骤摘要】
本技术涉及智能制造,具体为一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构。
技术介绍
1、mpcvd金刚石合成过程需要利用冷却水对微波电源、微波头、反应腔体、水负载、基板台等多个模块和部件进行冷却或吸收反射微波功率,因此保障冷却水的安全供应是mpcvd金刚石合成设备正常工作的重要前提。
2、其中现有技术中授权公告号为cn111707042a提出一种mpcvd金刚石合成设备供水保护系统及方法,包括冷水机、管道、mpcvd金刚石合成设备,所述冷水机通过管道与mpcvd金刚石合成设备组成冷水循环回路,还包括控制系统,所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心,所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端,所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接,所述输出端与报警装置电连接。
3、其通过对mpcvd合成设备冷却水各主要技术参数的实时监控,及时发现冷却水的各类异常状况,并根据异常状态进行调节以保障设备在最佳状态工作,难以控制水流对金刚石合成的压力。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,通过供水组件可以对水流进行吸取,压力调节组件可以保证供水的压力,冷却组件可以对水流进行适度的降温,保证金刚石合成的必要水温,最后通过调节组件可以精准的对金刚石合成中提供冷却效果,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
3、机构底壳:上端设有装配槽:
4、压力调节组件:设置在机构底壳的上端;
5、冷却组件:设置在机构底壳的中部;
6、调节组件:设置在机构底壳的下侧;
7、供水组件:包含底座、电机一、泵壳、流道、转轴、涡扇、进水管、输水管、支撑板,所述机构底壳的后端设有底座,所述底座的上端固定连接有电机一,所述机构底壳的后端右侧设有泵壳,所述泵壳的内部设有流道,所述电机一的输出轴延伸至流道的内部固定连接有转轴,所述转轴的外周侧通过螺栓固定连接有涡扇,所述流道的底端固定连接有进水管,所述流道的前侧固定连接有输水管,所述机构底壳的上端固定连接有支撑板,所述支撑板的上端固定连接输水管的外周侧,所述电机一的输入端通过外部控制开关组与外部电源的输出端电连接,底座用于支撑电机一,电机一接通电源后输出轴转动使转轴转动,从而使涡扇转动,使流道内部产生压力差,使进水管吸取水分,通过输水管将水源传送至下一工序。
8、进一步的,所述压力调节组件包含回流阀、支腿、吸水管,所述泵壳的上端前后两侧固定连接有支腿,所述支腿的上端固定连接有回流阀,所述回流阀的底端设有吸水管,所述吸水管的下端延伸至流道的内部,打开回流阀,可以使吸水管吸收流道的水分,从而降低流道内部的压力。
9、进一步的,所述压力调节组件还包含回流管、螺栓,所述回流阀的上端通过螺栓固定连接有上盖,所述上盖的中部设有回流管,回流管用于将水源卸出。
10、进一步的,所述冷却组件包含冷凝装置、连接臂、冷凝盒、冷凝管,所述机构底壳的上端中部设有冷凝装置,所述机构底壳的下端通过连接臂固定连接有冷凝盒,所述冷凝装置的输出端延伸至冷凝盒的上端,所述冷凝盒的前后两端设有冷凝管,冷凝装置制造出冷却液对冷凝管中进行制冷。
11、进一步的,所述冷却组件还包含过水管道、出水管道、截止阀、转柄,所述冷凝盒的内部设有蛇形的过水管道,所述输水管的末端延伸至过水管道的上侧,所述过水管道的下端延伸至冷凝盒的下侧固定连接有出水管道,所述出水管道的侧端设有截止阀,所述截止阀的侧端固定连接有转柄,冷凝管对过水管道内部水流进行冷却,从而达到冷却金刚石合成设备的目的,截止阀可以控制水流的流动。
12、进一步的,所述调节组件包含电机二、螺纹杆、滑杆、滑块、伸缩管,所述冷凝盒的下端位于出水管道右侧设有电机二,所述冷凝盒的下端靠近电机二的前后两侧固定连接有滑杆,所述滑杆的外周侧滑动连接有滑块,所述电机二的输出轴固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆螺纹连接滑块的上端螺孔,所述出水管道的下端滑动连接有伸缩管,所述滑块前端固定连接有伸缩管的外周侧,电机二接通电源后输出轴转动使螺纹杆转动,从而使滑块带动伸缩管沿着滑杆滑动,最终可以对金刚石合成设备进行精准冷却。
13、与现有技术相比,本技术的有益效果是:本mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,具有以下好处:
14、1、本mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,设置了供水组件,电机一接通电源后输出轴转动使转轴转动,从而使涡扇转动,使流道内部产生压力差,使进水管吸取水分,通过输水管将水源传送至下一工序。
15、2、本mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,设置了压力调节组件,打开回流阀,可以使吸水管吸收流道的水分,从而降低流道内部的压力,回流管用于将水源卸出。
16、3、本mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,设置了冷却组件,冷凝管对过水管道内部水流进行冷却,从而达到冷却金刚石合成设备的目的,截止阀可以控制水流的流动。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:包括机构底壳(1)、供水组件(2)、压力调节组件(3)、冷却组件(5)和调节组件(6);
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述压力调节组件(3)包含回流阀(31)、支腿(33)、吸水管(35),所述泵壳(23)的上端前后两侧固定连接有支腿(33),所述支腿(33)的上端固定连接有回流阀(31),所述回流阀(31)的底端设有吸水管(35),所述吸水管(35)的下端延伸至流道(24)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述压力调节组件(3)还包含回流管(32)、螺栓(34),所述回流阀(31)的上端通过螺栓(34)固定连接有上盖,所述上盖的中部设有回流管(32)。
4.根据权利要求1所述的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述冷却组件(5)包含冷凝装置(51)、连接臂(52)、冷凝盒(53)、冷凝管(54),所述机构底壳(1)的上端中部设有冷凝装置(51),所述机构底壳(1)
5.根据权利要求4所述的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述冷却组件(5)还包含过水管道(55)、出水管道(56)、截止阀(57)、转柄(58),所述冷凝盒(53)的内部设有蛇形的过水管道(55),所述输水管(28)的末端延伸至过水管道(55)的上侧,所述过水管道(55)的下端延伸至冷凝盒(53)的下侧固定连接有出水管道(56),所述出水管道(56)的侧端设有截止阀(57),所述截止阀(57)的侧端固定连接有转柄(58)。
6.根据权利要求4所述的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述调节组件(6)包含电机二(61)、螺纹杆(62)、滑杆(63)、滑块(64)、伸缩管(65),所述冷凝盒(53)的下端位于出水管道(56)右侧设有电机二(61),所述冷凝盒(53)的下端靠近电机二(61)的前后两侧固定连接有滑杆(63),所述滑杆(63)的外周侧滑动连接有滑块(64),所述电机二(61)的输出轴固定连接有螺纹杆(62),所述螺纹杆(62)螺纹连接滑块(64)的上端螺孔,所述出水管道(56)的下端滑动连接有伸缩管(65),所述滑块(64)前端固定连接有伸缩管(65)的外周侧。
...【技术特征摘要】
1.一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:包括机构底壳(1)、供水组件(2)、压力调节组件(3)、冷却组件(5)和调节组件(6);
2.根据权利要求1所述的一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述压力调节组件(3)包含回流阀(31)、支腿(33)、吸水管(35),所述泵壳(23)的上端前后两侧固定连接有支腿(33),所述支腿(33)的上端固定连接有回流阀(31),所述回流阀(31)的底端设有吸水管(35),所述吸水管(35)的下端延伸至流道(24)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述压力调节组件(3)还包含回流管(32)、螺栓(34),所述回流阀(31)的上端通过螺栓(34)固定连接有上盖,所述上盖的中部设有回流管(32)。
4.根据权利要求1所述的一种mpcvd金刚石合成设备供水保护机构,其特征在于:所述冷却组件(5)包含冷凝装置(51)、连接臂(52)、冷凝盒(53)、冷凝管(54),所述机构底壳(1)的上端中部设有冷凝装置(51),所述机构底壳(1)的下端通过连接臂(52)固定连接有冷凝盒(53),所述冷凝装置(51)的输出端延伸至冷凝盒(53)的上端,...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩通,许成志,郭森森,
申请(专利权)人:郑州势垒科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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