【技术实现步骤摘要】
本技术涉及收集柜，尤其是指一种抛光垫保湿柜。
技术介绍
1、抛光垫是化学机械抛光中的重要辅料，其配合抛光液的化学作用对晶圆进行表面处理，控制表面平坦度和表面缺陷；抛光垫的一侧表面与待抛光面接触，另一侧表面通过背胶等固定于转盘，抛光作业时转盘与抛光垫同时转动。
2、为提高抛光效率并节约耗材，通常将固定好的抛光垫与转盘同时收纳，并要求收纳环境具备一定湿度；现有技术中使用能够持续滴水的收集柜进行敞开式收纳，由于固定好的转盘和抛光垫整体重量较大，取放搬运和移位均较为困难，搬运时易砸伤或夹手，存在较大安全隐患；同时由于现有的收集柜为敞开式，保湿度较难控制，滴水过程中易发生溢水或放水管路堵塞，影响收纳装置的使用寿命。
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中固定好的抛光垫和转盘的收纳装置不便取放，难以控制保湿度的技术难点，提供一种抛光垫保湿柜，便于取放搬运和控制收纳环境的保湿度。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种抛光垫保湿柜，其包括，
3、柜体，所述柜体包括柜板和柜架；所述柜板能够围合成一封闭空间，所述柜架将所述柜体内部分隔为沿z方向平行排列的多层存储空间，并将每层所述存储空间分隔形成沿x方向排列的多个容置腔，每一所述容置腔均设有一个放置工位，所述放置工位用于承载转盘及固定于所述转盘表面的抛光垫，所述放置工位与所述容置腔的内壁滑动连接，并能够沿y方向移动伸出至所述柜体外部；
4、保湿装置，所述保湿装置包括湿气散发
5、导流槽，每层所述存储空间底部均设置有一个所述导流槽，所述导流槽的底壁倾斜设置，并于所述底壁在z方向的最低处设置漏水口；
6、储水槽，所述储水槽位于所述柜体底部并与所述漏水口连通；所述柜体底部还设置有架空层，所述架空层位于所述储水槽内部并用于支撑所述柜体。
7、在本技术的一个实施例中，所述导流槽的槽口紧贴所述柜架设置，所述导流槽底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架的方向倾斜设置，并设置有至少两个所述漏水口。
8、在本技术的一个实施例中，所述漏水口均外接有排水管，所述排水管的另一端位于其连接的所述漏水口下方的所述存储空间内，或者，所述排水管的另一端位于所述储水槽内。
9、在本技术的一个实施例中，所述储水槽内设置有液位检测组件，所述柜体顶部设置有三色警示灯，所述三色警示灯连接所述液位检测组件。
10、在本技术的一个实施例中，还包括控制装置，所述控制装置的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件，所述控制装置的信号输出端连接所述保湿装置。
11、在本技术的一个实施例中，所述放置工位包括放置架和固定座，所述放置架设置于xoy平面，所述固定座位于所述放置架顶面并支撑于所述转盘底部，所述放置架两侧设置有动轨与所述容置腔侧壁的定轨滑动连接。
12、在本技术的一个实施例中，所述放置工位还包括抽拉把手，所述抽拉把手位于所述放置架在y方向上靠近所述柜体开口的一侧端面。
13、在本技术的一个实施例中，至少部分所述柜板设置为能够开合的结构，能够开合的所述柜板设置为pet板。
14、在本技术的一个实施例中，所述架空层在z方向的高度大于等于所述储水槽槽体深度。
15、在本技术的一个实施例中，所述架空层在z方向的高度为所述储水槽槽体深度的1～1.2倍。
16、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
17、本技术所述的抛光垫保湿柜设置能够抽拉的放置工位，便于转盘和抛光垫整体取放，在搬运时提供更大的操作空间，降低安全隐患并提升生产效率；设置导流槽和储水槽能够提升柜内湿度环境的控制精度，及时排水避免溢水故障或水路堵塞影响保湿效果和保湿柜使用寿命。
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1.一种抛光垫保湿柜，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述导流槽的槽口紧贴所述柜架设置，所述导流槽底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架的方向倾斜设置，并设置有至少两个所述漏水口。
3.根据权利要求2所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述漏水口均外接有排水管，所述排水管的另一端位于其连接的所述漏水口下方的所述存储空间内，或者，所述排水管的另一端位于所述储水槽内。
4.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述储水槽内设置有液位检测组件，所述柜体顶部设置有三色警示灯，所述三色警示灯连接所述液位检测组件。
5.根据权利要求4所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件，所述控制装置的信号输出端连接所述保湿装置。
6.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述放置工位包括放置架和固定座，所述放置架设置于xoy平面，所述固定座位于所述放置架顶面并支撑于所述转盘底部，所述放置架两侧
7.根据权利要求6所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述放置工位还包括抽拉把手，所述抽拉把手位于所述放置架在y方向上靠近所述柜体开口的一侧端面。
8.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：至少部分所述柜板设置为能够开合的结构，能够开合的所述柜板设置为PET板。
9.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述架空层在z方向的高度大于等于所述储水槽槽体深度。
10.根据权利要求9所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述架空层在z方向的高度为所述储水槽槽体深度的1～1.2倍。
...【技术特征摘要】
1.一种抛光垫保湿柜，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述导流槽的槽口紧贴所述柜架设置，所述导流槽底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架的方向倾斜设置，并设置有至少两个所述漏水口。
3.根据权利要求2所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述漏水口均外接有排水管，所述排水管的另一端位于其连接的所述漏水口下方的所述存储空间内，或者，所述排水管的另一端位于所述储水槽内。
4.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述储水槽内设置有液位检测组件，所述柜体顶部设置有三色警示灯，所述三色警示灯连接所述液位检测组件。
5.根据权利要求4所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件，所述控制装置的信号输出...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙雅华，吕修壮，
申请(专利权)人：苏州锃道研磨技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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