【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使物体变形的变形装置、使用该变形装置的曝光装置以及物品制造方法。
技术介绍
1、已知如下的变形装置：通过驱动物体中的多个部位的各个部位而使之位移，从而使该物体变形为期望的形状。作为变形装置的一例，可举出在天文领域使用的大型望远镜等上搭载的可变镜装置。可变镜装置在多点支承具有光反射面的反射镜，通过由促动器驱动各点而使之位移，从而使反射镜变形为期望的形状，用作修正天文观测时的大气波动等影响的修正光学系统的构成要素。在专利文献1中公开了使用多个促动器使反射镜变形的可变形镜。
2、另外，作为变形装置的其他例，可举出在用于制造半导体器件等的曝光装置中搭载的光学修正装置。光学修正装置例如通过使设于曝光装置的光学元件变形来修正曝光装置的光学特性。在专利文献2中公开了以下构成：通过使用多个促动器使平行平面板玻璃变形，从而修正可能会因投影光学系统的像差或在基板形成的图案的歪斜等产生的重叠误差。在专利文献3中公开了使用多个促动器使得用于规定狭缝状照明光的可变叶片变形。
3、在先技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2012－18290号公报
6、专利文献2：日本特开2013－236026号公报
7、专利文献3：日本专利第4581639号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、通常，利用可变镜装置进行变形的反射镜、利用光学修正装置进行变形的光学元件等物体(以下有时简记为“物体”)由脆性
3、在专利文献1中公开了针对各促动器单独地限制可动端的可移动范围(即驱动行程)的机构。但是，若只是单独地限制各促动器的驱动行程，由于物体的多个部位中的相互相邻的部位彼此的位移差，对该物体过度施加负荷，该物体有时会破损。
4、为此，本专利技术的目的是提供有利于减少使物体变形时的该物体破损的技术。
5、用于解决课题的方案
6、为了达成上述目的，作为本专利技术的一方面的变形装置是使物体变形的变形装置，其特征在于，具备：分别与上述物体的多个部位连接的多个可动部；分别驱动上述多个可动部而使之位移的多个驱动部；控制上述多个驱动部的控制部；以及以机械方式限制上述多个可动部中的相互相邻的可动部彼此的相对位置偏差以便上述多个部位中的相互相邻的部位彼此的位移差处在容许范围内的限制机构。
7、为了达成上述目的，作为本专利技术的另一方面的变形装置是使物体变形的变形装置，其特征在于，具备：分别与上述物体的多个部位连接的多个可动部；分别驱动上述多个可动部而使之位移的多个驱动部；控制上述多个驱动部的控制部；以及对上述多个可动部中的相互相邻的可动部彼此的接触进行检测的检测部，上述控制部进行控制以便在由上述检测部检测到上述接触的场合停止上述多个驱动部的驱动。
8、根据以下参照附图说明的优选实施方式，可以明确本专利技术的进一步的目的或其他方面。
9、专利技术的效果
10、根据本专利技术，提供例如有利于减少使物体变形时的该物体破损的技术。
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1.一种变形装置，用于使物体变形，其特征在于，
2.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的变形装置，其特征在于，
5.如权利要求3所述的变形装置，其特征在于，
6.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
7.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
8.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
9.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
10.一种变形装置，用于使物体变形，其特征在于，
11.如权利要求10所述的变形装置，其特征在于，
12.如权利要求10所述的变形装置，其特征在于，
13.一种曝光装置，用于对基板进行曝光，其特征在于，
14.一种物品制造方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种变形装置，用于使物体变形，其特征在于，
2.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
3.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
4.如权利要求3所述的变形装置，其特征在于，
5.如权利要求3所述的变形装置，其特征在于，
6.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
7.如权利要求1所述的变形装置，其特征在于，
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