一种全密封低温传感器制造技术

本申请提供了一种全密封低温传感器，属于测量低温的传感器领域，包括CF法兰、软态不锈钢管、传感器上接头、传感器下接头和传感器安装座；软态不锈钢管的上端和下端分别与CF法兰和传感器上接头焊接，传感器下接头的上端和下端分别与传感器上接头和传感器安装座焊接；传感器安装座内部设有低温传感器，低温传感器焊接有漆包线，漆包线上部穿过软态不锈钢管和CF法兰且相较于CF法兰上端面具有突出部分。本低温传感器在真空环境中的结构，只有不锈钢铠甲管和底部紫铜安装座，不锈钢和紫铜这两种材料的放气率都很小，从而使得本传感器在超真空的环境中使用时，减少放气封，降低对真空环境的影响，提高传感器的测量精度和灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于测量低温的传感器领域，尤其涉及一种全密封低温传感器。

技术介绍

1、在超高的真空环境中，如真空度高于10-8pa，狭长的缝隙和材料的放气，都是影响超高真空的关键因素，故我们需要减少和避免内部具有高放气率材料(如橡胶、塑料、绝热纸等)；目前，市场上能测量低温的传感器，一般引线是采用漆包线，其具有一定的放气率。一些带有铠甲类的传感器，其测试灵敏性和安装上又不满足低温真泵的使用需求。

2、现有公开了一种适用于低温高压环境的铂电阻温度传感器(专利申请号为：cn201610129922.1)，其采用铠装技术和玻璃粉烧结技术对低温高压铂电阻温度传感器进行密封，解决了其在低温高压环境下易碎裂失效的缺点；使得高精度传感器在低温、高压状态下的长期可靠性应用成为可能。

3、该公开方案由于采用了铠装技术，导致其灵敏性和安装上不满足真空中低温泵温度测量的使用需求。

技术实现思路

1、本申请提供了一种全密封低温传感器，旨在解决上述采用铠装技术的温度传感器在灵敏性和安装上的缺陷，以及市场上能测量低温的传感器，具有一定的放气率，影响超高真空环境的问题。

2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案，包括：

3、包括cf法兰、软态不锈钢管、传感器上接头、传感器下接头和传感器安装座；

4、软态不锈钢管的上端和下端分别与cf法兰和传感器上接头焊接，传感器下接头的上端和下端分别与传感器上接头和传感器安装座焊接；

5、传感器安装座内部设有低温传感器，低温传感器焊接有漆包线，漆包线上部穿过软态不锈钢管和cf法兰且相较于cf法兰上端面具有突出部分。

6、作为优选，传感器下接头内部设有低温密封胶，低温密封胶固定于低温传感器与漆包线的焊接处。

7、作为优选，低温传感器外侧焊接有铟，且铟与传感器安装座焊接。

8、作为优选，传感器安装座设有凹槽、用于安装的螺纹孔和用于螺纹孔排气的排气孔，低温传感器通过铟焊接于凹槽内。

9、作为优选，传感器上接头设有第一通孔，第一通孔与软态不锈钢管卡合。

10、作为优选，传感器上接头还设有第一焊接件，传感器下接头设有第二焊接件和第二通孔，第一焊接件与第二焊接件氩弧焊接，第二通孔与传感器安装座头部卡合。

11、作为优选，传感器下接头与传感器安装座的焊接处设有用于提高密封性的银焊环。

12、本技术具有以下有益效果：

13、(1)本低温传感器在真空环境中的结构，只有不锈钢铠甲管(即传感器下接头)和底部紫铜安装座(即传感器安装座)，不锈钢和紫铜这两种材料的放气率都很小，从而使得本传感器在超真空的环境中使用时，减少放气封，降低对真空环境的影响，提高传感器的测量精度和灵敏度；

14、(2)传感器安装座的底部设置螺纹孔，两侧设置排气孔，有利于安装后，螺孔的排气，也便于传感器的安装；

15、(3)采用cf法兰，减小橡胶密封的泄露率，也提高传感器的安装便利性。

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【技术保护点】

1.一种全密封低温传感器，其特征在于，包括CF法兰(1)、软态不锈钢管(2)、传感器上接头(3)、传感器下接头(5)和传感器安装座(6)；

2.根据权利要求1所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器下接头(5)内部设有低温密封胶(7)，低温密封胶(7)固定于低温传感器(9)与漆包线(4)的焊接处。

3.根据权利要求2所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，低温传感器(9)外侧焊接有铟(10)，且铟(10)与传感器安装座(6)焊接。

4.根据权利要求3所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器安装座(6)设有凹槽(61)、用于安装的螺纹孔(63)和用于螺纹孔(63)排气的排气孔(62)，低温传感器(9)通过铟(10)焊接于凹槽(61)内。

5.根据权利要求1所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器上接头(3)设有第一通孔(31)，第一通孔(31)与软态不锈钢管(2)卡合。

6.根据权利要求5所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器上接头(3)还设有第一焊接件(32)，传感器下接头(5)设有第二焊接件(51)和第二通孔(52)，第一焊接件(32)与第二焊接件(51)氩弧焊接，第二通孔(52)与传感器安装座(6)头部卡合。

7.根据权利要求1-6中任一所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器下接头(5)与传感器安装座(6)的焊接处设有用于提高密封性的银焊环(8)。

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【技术特征摘要】

1.一种全密封低温传感器，其特征在于，包括cf法兰(1)、软态不锈钢管(2)、传感器上接头(3)、传感器下接头(5)和传感器安装座(6)；

2.根据权利要求1所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器下接头(5)内部设有低温密封胶(7)，低温密封胶(7)固定于低温传感器(9)与漆包线(4)的焊接处。

3.根据权利要求2所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，低温传感器(9)外侧焊接有铟(10)，且铟(10)与传感器安装座(6)焊接。

4.根据权利要求3所述的一种全密封低温传感器，其特征在于，传感器安装座(6)设有凹槽(61)、用于安装的螺纹孔(63)和用于螺纹孔(63)排气的排气孔(62)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家富，胡玉真，
申请(专利权)人：浙江博开机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：