一种坩埚用打磨装置制造方法及图纸

技术编号:41091949 阅读:11 留言:0更新日期:2024-04-25 13:51
本技术公开了一种坩埚用打磨装置,包括支撑底板,支撑底板的顶面上设置有坩埚固定机构、旋转驱动机构、直线驱动机构及打磨机构;坩埚固定机构与旋转驱动机构连接,用于实现坩埚的固定与旋转;打磨机构包括打磨组件及用于调节打磨组件的角度的调节组件;打磨组件与调节组件之间通过柔性带连接;直线驱动机构包括用于驱动坩埚固定机构直线移动的第一直线模组及用于驱动调节组件直线移动的第二直线模组。本技术的坩埚用打磨装置,通过将坩埚水平方向固定好,对其进行旋转的同时进行直线移动,与在其内侧表面抵接的位置固定的打磨块相互配合实现坩埚内侧表面均匀、充分的打磨。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及打磨设备,尤其涉及一种坩埚用打磨装置


技术介绍

1、坩埚是一种用于加热固体物质的熔炼器皿。在坩埚生产出来后,其内表面附着有一层黑色碳粉,因此需要通过打磨装置对坩埚内表面进行打磨;当前打磨坩埚内表面的作业模式是人工打磨,这样的操作模式存在以下问题:第一,工人劳动强度大,打磨效率低下,提高了生产成本;第二,人工打磨的过程磨掉的厚度不一致,导致打磨品质无法保证。故本申请提出一种坩埚用打磨装置,用于解决上述人工打磨存在的弊端,提高打磨效率及打磨品质。


技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种坩埚用打磨装置。

2、本技术提供的一种坩埚用打磨装置,包括支撑底板,所述支撑底板的顶面上设置有坩埚固定机构、旋转驱动机构、直线驱动机构及打磨机构;其中,

3、所述坩埚固定机构,与所述旋转驱动机构连接,用于实现坩埚的固定与旋转;

4、所述打磨机构,包括打磨组件及用于调节所述打磨组件的角度的调节组件;所述打磨组件与所述调节组件之间通过柔性带连接;

5、所述直线驱动机构,包括用于驱动所述坩埚固定机构直线移动的第一直线模组及用于驱动所述调节组件直线移动的第二直线模组。

6、优选的,所述坩埚固定机构包括第一安装板、外套筒组件、内套筒组件及锁止组件;其中,

7、所述第一安装板,其顶面上固定的设置有转动轴承;

8、所述外套筒组件,包括固定的设置于所述转动轴承的内圈传动面上的外侧套筒,所述外侧套筒的内侧壁面上均匀间隔的设置有条形凹槽,所述条形凹槽沿所述外侧套筒的长度方向设置;

9、所述内套筒组件,包括套设于所述外侧套筒内部的内侧套筒,所述内侧套筒包括上部半筒及下部半筒;所述上部半筒与下部半筒的一侧铰接设置,另一侧通过搭扣锁进行锁紧与松脱;所述内侧套筒的外侧壁面上对应所述条形凹槽固定的设置有卡接条;

10、所述锁止组件,包括对称的固定设置于所述内侧套筒的外侧壁面上的螺纹套筒,穿过所述外侧套筒并旋入所述螺纹套筒的内部设置有螺栓。

11、优选的,所述旋转驱动机构包括固定的设置于所述第一安装板的顶面上的驱动电机,所述驱动电机的传动端与所述外侧套筒的远离所述打磨组件的一端固定的连接,用于带动所述外侧套筒旋转。

12、优选的,所述打磨组件包括固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述外侧套筒远离所述驱动电机一侧的固定座,所述固定座的顶面上对应所述外侧套筒可转动的设置有打磨杆,所述打磨杆靠近所述坩埚固定机构的一端固定的设置有打磨块,所述打磨块的外侧包裹有一层砂纸。

13、优选的,所述调节组件包括设置于所述支撑底板的顶面上位于所述固定座远离所述坩埚固定机构一侧的第二安装板,所述第二安装板的顶面上固定的设置有力传感器,所述力传感器通过连接杆与所述柔性带连接。

14、优选的,所述支撑底板的顶面上位于所述固定座与所述调节组件之间固定的设置有l型支板;所述柔性带的一端固定的设置于所述l型支板的顶面的底面,另一端与所述打磨杆远离所述打磨块的一端固定的连接。

15、优选的,所述第一直线模组固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述坩埚固定机构的下方,所述第一直线模组的滑块的顶面与所述第一安装板的底面固定的连接。

16、优选的,所述第二直线模组固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述调节组件的下方,所述第二直线模组的滑块的顶面与所述第二安装板的底面固定的连接。

17、优选的,所述驱动电机的传动端、外侧套筒、内侧套筒及坩埚同轴设置。

18、相对于现有技术而言,本技术的有益效果是:

19、本技术的坩埚用打磨装置,通过将坩埚水平方向固定好,对其进行旋转的同时进行直线移动,与在其内侧表面抵接的位置固定的打磨块相互配合实现坩埚内侧表面均匀、充分的打磨;还可以通过调整力传感器的位置间接调整打磨块打磨的力度,通过力传感器的设置可以精确的控制打磨力度的大小,实现更好的打磨效果,不仅打磨效率高,而且打磨的品质高。

20、应当理解,
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征,亦非用于限制本技术的范围。

21、本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种坩埚用打磨装置,其特征在于,包括支撑底板,所述支撑底板的顶面上设置有坩埚固定机构、旋转驱动机构、直线驱动机构及打磨机构;其中,

2.根据权利要求1所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述坩埚固定机构包括第一安装板、外套筒组件、内套筒组件及锁止组件;其中,

3.根据权利要求2所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述旋转驱动机构包括固定的设置于所述第一安装板的顶面上的驱动电机,所述驱动电机的传动端与所述外侧套筒的远离所述打磨组件的一端固定的连接,用于带动所述外侧套筒旋转。

4.根据权利要求3所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述打磨组件包括固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述外侧套筒远离所述驱动电机一侧的固定座,所述固定座的顶面上对应所述外侧套筒可转动的设置有打磨杆,所述打磨杆靠近所述坩埚固定机构的一端固定的设置有打磨块,所述打磨块的外侧包裹有一层砂纸。

5.根据权利要求4所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述调节组件包括设置于所述支撑底板的顶面上位于所述固定座远离所述坩埚固定机构一侧的第二安装板,所述第二安装板的顶面上固定的设置有力传感器,所述力传感器通过连接杆与所述柔性带连接。

6.根据权利要求5所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述支撑底板的顶面上位于所述固定座与所述调节组件之间固定的设置有L型支板;所述柔性带的一端固定的设置于所述L型支板的顶面的底面,另一端与所述打磨杆远离所述打磨块的一端固定的连接。

7.根据权利要求6所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述第一直线模组固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述坩埚固定机构的下方,所述第一直线模组的滑块的顶面与所述第一安装板的底面固定的连接。

8.根据权利要求7所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述第二直线模组固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述调节组件的下方,所述第二直线模组的滑块的顶面与所述第二安装板的底面固定的连接。

9.根据权利要求8所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述驱动电机的传动端、外侧套筒、内侧套筒及坩埚同轴设置。

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【技术特征摘要】

1.一种坩埚用打磨装置,其特征在于,包括支撑底板,所述支撑底板的顶面上设置有坩埚固定机构、旋转驱动机构、直线驱动机构及打磨机构;其中,

2.根据权利要求1所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述坩埚固定机构包括第一安装板、外套筒组件、内套筒组件及锁止组件;其中,

3.根据权利要求2所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述旋转驱动机构包括固定的设置于所述第一安装板的顶面上的驱动电机,所述驱动电机的传动端与所述外侧套筒的远离所述打磨组件的一端固定的连接,用于带动所述外侧套筒旋转。

4.根据权利要求3所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述打磨组件包括固定的设置于所述支撑底板的顶面上位于所述外侧套筒远离所述驱动电机一侧的固定座,所述固定座的顶面上对应所述外侧套筒可转动的设置有打磨杆,所述打磨杆靠近所述坩埚固定机构的一端固定的设置有打磨块,所述打磨块的外侧包裹有一层砂纸。

5.根据权利要求4所述的坩埚用打磨装置,其特征在于,所述调节组件包括设置于所述支撑底板的顶面...

【专利技术属性】
技术研发人员:何军舫王军勇
申请(专利权)人:北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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