一种石英坩埚涂层喷涂装置制造方法及图纸

本技术公开了一种石英坩埚涂层喷涂装置，属于石英坩埚喷涂技术领域，针对了不便均匀的对石英坩埚进行喷涂的问题，包括顶板、底板，顶板的顶端一侧设置有伺服气缸，顶板的另一端设置有驱动电机，伸缩驱动电机的驱动端固定有主动轮，顶板与伺服气缸相对侧一端固定有限位套，限位套的外部转动连接有从动轮；本技术通过驱动电机、主动轮、从动轮、伺服气缸、分流管、伸缩杆、喷头、安装块之间的相互配合作业，进而能够实现将石英坩埚进行均匀的喷涂，且通过伺服气缸能够带动分流管进行上下升降，同时再通过驱动电机能够带动分流管进行转动，从而能够实现带动分流管进行转动，使其喷涂时更为均匀，从而减少喷涂误差，增加石英坩埚的寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于石英坩埚喷涂，具体涉及一种石英坩埚涂层喷涂装置。

技术介绍

1、石英坩埚主要用于切克拉斯基法单晶硅的拉制，即高温加热多晶硅，使其融化在石英坩埚中，然后采用拉晶机通过抽拉来生长单晶，由于拉制单晶时间较长，石英坩埚通常都是承受长时间的热应力，容易发生变形，从而影响拉晶的结果，为解决坩埚易发生变形的问题，在坩埚内表面喷涂上一层促进方石英形成的涂层，由于方石英的熔点是1720℃，比硅熔体熔点1420℃高出很多，所以当坩埚内表面形成一层方石英涂层时，能够有效的提高石英坩埚的抗热变形能力，增长坩埚的使用时间。

2、但是，目前的石英坩埚涂层工艺，以人工涂刷粘结剂，采用手提式喷涂机进行喷砂操作为主，喷涂过程中，不便均匀的对石英坩埚进行喷涂，从而导致喷涂效果较差，容易产生误差，因此影响产品的使用寿命。

3、因此，需要一种石英坩埚涂层喷涂装置，解决现有技术中存在的不便均匀的对石英坩埚进行喷涂的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种石英坩埚涂层喷涂装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石英坩埚涂层喷涂装置，包括顶板、底板，所述顶板的顶端一侧设置有伺服气缸，所述顶板的另一端设置有驱动电机，伸缩驱动电机的驱动端固定有主动轮，所述顶板与伺服气缸相对侧一端固定有限位套，所述限位套的外部转动连接有从动轮，所述从动轮的与主动轮的外部紧固设置有皮带，所述从动轮的底面呈圆周分布设置有伸缩杆，所述伺服气缸的驱动端转动连接有安装块，所述安装块的另一端固定有固定板，所述固定板的底面中心处固定有涂料储存桶，所述涂料储存桶的另一端固定有抽取泵，所述抽取泵的驱动端固定有分流管，所述分流管的外壁设置有多个喷头。

3、方案中需要说明的是，所述底板的顶端中心处固定有放物盒，所述底板的底端与顶板的之间固定有支撑板。

4、进一步值得说明的是，所述伸缩杆的另一端固定有固定板的顶面，所述固定板为正方形设置。

5、更进一步需要说明的是，所述分流管的外壁滑动连接于放物盒的内壁，所述放物盒为圆形设置。

6、作为一种优选的实施方式，所述安装块为正方形设置，所述涂料储存桶为圆形设置。

7、作为一种优选的实施方式，所述底板与支撑板以及顶板之间呈u形设置，所述底板与顶板之间的尺寸大小相同。

8、与现有技术相比，本技术提供的一种石英坩埚涂层喷涂装置，至少包括如下有益效果：

9、(1)通过驱动电机、主动轮、从动轮、伺服气缸、分流管、伸缩杆、喷头、安装块之间的相互配合作业，进而能够实现将石英坩埚进行均匀的喷涂，且通过伺服气缸能够带动分流管进行上下升降，同时再通过驱动电机能够带动分流管进行转动，从而能够实现带动分流管进行转动，使其喷涂时更为均匀，从而减少喷涂误差，增加石英坩埚的寿命。

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【技术保护点】

1.一种石英坩埚涂层喷涂装置，包括顶板（1）、底板（16），其特征在于，所述顶板（1）的顶端一侧设置有伺服气缸（2），所述顶板（1）的另一端设置有驱动电机（3），伸缩驱动电机（3）的驱动端固定有主动轮（4），所述顶板（1）与伺服气缸（2）相对侧一端固定有限位套（5），所述限位套（5）的外部转动连接有从动轮（6），所述从动轮（6）的与主动轮（4）的外部紧固设置有皮带（7），所述从动轮（6）的底面呈圆周分布设置有伸缩杆（8），所述伺服气缸（2）的驱动端转动连接有安装块（9），所述安装块（9）的另一端固定有固定板（10），所述固定板（10）的底面中心处固定有涂料储存桶（11），所述涂料储存桶（11）的另一端固定有抽取泵（12），所述抽取泵（12）的驱动端固定有分流管（13），所述分流管（13）的外壁设置有多个喷头（14）。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷涂装置，其特征在于：所述底板（16）的顶端中心处固定有放物盒（15），所述底板（16）的底端与顶板（1）的之间固定有支撑板（17）。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷涂装置，其特征在于：所述伸缩杆（8）的另一端固定有固定板（10）的顶面，所述固定板（10）为正方形设置。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷涂装置，其特征在于：所述分流管（13）的外壁滑动连接于放物盒（15）的内壁，所述放物盒（15）为圆形设置。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷涂装置，其特征在于：所述安装块（9）为正方形设置，所述涂料储存桶（11）为圆形设置。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷涂装置，其特征在于：所述底板（16）与支撑板（17）以及顶板（1）之间呈U形设置，所述底板（16）与顶板（1）之间的尺寸大小相同。

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【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚涂层喷涂装置，包括顶板（1）、底板（16），其特征在于，所述顶板（1）的顶端一侧设置有伺服气缸（2），所述顶板（1）的另一端设置有驱动电机（3），伸缩驱动电机（3）的驱动端固定有主动轮（4），所述顶板（1）与伺服气缸（2）相对侧一端固定有限位套（5），所述限位套（5）的外部转动连接有从动轮（6），所述从动轮（6）的与主动轮（4）的外部紧固设置有皮带（7），所述从动轮（6）的底面呈圆周分布设置有伸缩杆（8），所述伺服气缸（2）的驱动端转动连接有安装块（9），所述安装块（9）的另一端固定有固定板（10），所述固定板（10）的底面中心处固定有涂料储存桶（11），所述涂料储存桶（11）的另一端固定有抽取泵（12），所述抽取泵（12）的驱动端固定有分流管（13），所述分流管（13）的外壁设置有多个喷头（14）。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚涂层喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利娜，庄兴凤，
申请(专利权)人：东海县艾尔法石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：