【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏电池镀膜设备,尤其是涉及一种光伏电池镀膜反应炉。
技术介绍
1、光伏电池一般指太阳能电池。太阳能电池是通过或者光化学效应直接把成电能的装置。pecvd装置是太阳能电池片生产过程中用于镀反减膜的设备,减反膜能有效提高电池片的效率,因此控制好电池片膜厚的片间均匀性很重要,做工艺时,工艺气体一直是流动的,从石英管口进入,流入石英管发生化学反应,然后被真空泵抽走。
2、现有技术公开了“一种光伏电池镀膜反应炉,包括加热炉体,加热炉体的一端具有炉口,炉口处设有法兰组,法兰组内设有多个进气管道。该光伏电池镀膜反应炉能够避免反应气体进入加热炉体后,造成加热炉体内沿轴向出现温差,影响加热炉体内温度的均匀性,导致镀膜厚度不均匀、工作效率降低的现象发生”。
3、针对上述文件,专利技术人认为该分流气管数量较多,使得分流气管与进气管道的接口也较多,较多的接口会增加人们对分流气管的安装时间,若某个接口出现轻微漏气时,需要人们对较多的接口逐个检查,延长检修时间,增大检修难度。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术存在的不足,提供了一种光伏电池镀膜反应炉,具体技术方案如下:
2、一种光伏电池镀膜反应炉,包括加热炉体和固定设在加热炉体内部的不锈钢桶,所述加热炉体的炉口处固定设有法兰,所述法兰内固定设有进气管道,所述不锈钢桶内壁固定设有螺旋盘管,所述螺旋盘管和进气管道之间相连通,所述螺旋盘管内圈开设有均匀分布的多个漏斗孔,所述漏斗孔沿螺旋盘管内壁至螺旋盘管外壁的方向直
3、通过采用上述技术方案,通过单个螺旋盘管内多个漏斗孔的设置,能对反应气体较均匀的排入加热炉体内的各处,使加热炉体内不易由于进气而产生温差。
4、可选的,所述不锈钢桶远离法兰的一端内壁固定设有真空管接头,所述真空管接头一端贯穿并延伸至加热炉体外部。
5、通过采用上述技术方案,真空管接头可与外部的真空泵连接,来将反应炉内反应后的工艺气体进行抽出。
6、可选的,所述加热炉体远离法兰的一端外壁固定设有对称分布的固定板,所述固定板内螺纹设有螺纹杆,所述螺纹杆远离法兰的一端固定设有圆饼,所述顶板转动设在圆饼外壁。
7、通过采用上述技术方案,圆饼可对螺纹杆和顶板两者进行连接,使得螺纹杆和顶板两者不会相互脱离。
8、可选的,所述顶板一侧固定设有防滑橡胶垫,所述顶板位于螺纹杆和防滑橡胶垫之间,所述螺纹杆远离顶板的一端固定设有摇柄。
9、通过采用上述技术方案,人们可摇动摇柄来带动螺纹杆进行旋转。
10、可选的,所述固定板一侧固定设有对称分布且配合抵接的两个第一半圆环橡胶块,所述螺纹杆螺纹设在两个所述第一半圆环橡胶块内壁之间,所述固定板远离第一半圆环橡胶块的一侧固定设有对称分布且配合抵接的两个第二半圆环橡胶块,所述螺纹杆螺纹设在两个所述第二半圆环橡胶块内壁之间。
11、通过采用上述技术方案,通过第一半圆环橡胶块和第二半圆环橡胶块能对旋转中螺纹杆上附着的异物进行部分刮离。
12、综上所述,本技术包括以下至少一种有益效果:
13、1.通过单个螺旋盘管内多个漏斗孔的设置,能对反应气体较均匀的排入加热炉体内的各处,使加热炉体内不易由于进气而产生温差,保证加热炉体内温度的均匀性,从而提高成膜的均匀性,单个螺旋盘管更易检修,且漏斗孔在自身结构下能对螺旋盘管内排出的反应气体进行扩散,提高漏斗孔排气时的均匀性。
14、2.通过法兰能对反应炉进行安装,通过摇动摇柄驱动螺纹杆旋转,来带动顶板进行移动,移动后的顶板能顶压至反应炉周边物体上,来提高反应炉整体的稳定性,通过第一半圆环橡胶块和第二半圆环橡胶块能对旋转中螺纹杆上附着的异物进行部分刮离,使这些异物不易进入并磨损固定板和螺纹杆连接处,方便实用。
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1.一种光伏电池镀膜反应炉,包括加热炉体(1)和固定设在加热炉体(1)内部的不锈钢桶(11),所述加热炉体(1)的炉口处固定设有法兰(13),所述法兰(13)内固定设有进气管道(14),其特征在于:所述不锈钢桶(11)内壁固定设有螺旋盘管(2),所述螺旋盘管(2)和进气管道(14)之间相连通,所述螺旋盘管(2)内圈开设有均匀分布的多个漏斗孔(21),所述漏斗孔(21)沿螺旋盘管(2)内壁至螺旋盘管(2)外壁的方向直径尺寸逐渐增大,所述加热炉体(1)远离法兰(13)的一端活动设有顶板(34)。
2.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述不锈钢桶(11)远离法兰(13)的一端内壁固定设有真空管接头(12),所述真空管接头(12)一端贯穿并延伸至加热炉体(1)外部。
3.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述加热炉体(1)远离法兰(13)的一端外壁固定设有对称分布的固定板(3),所述固定板(3)内螺纹设有螺纹杆(31)。
4.根据权利要求3所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述螺纹杆(31)远离法兰
5.根据权利要求4所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述顶板(34)一侧固定设有防滑橡胶垫(35),所述顶板(34)位于螺纹杆(31)和防滑橡胶垫(35)之间。
6.根据权利要求5所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述螺纹杆(31)远离顶板(34)的一端固定设有摇柄(32)。
7.根据权利要求6所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述固定板(3)一侧固定设有对称分布且配合抵接的两个第一半圆环橡胶块(36),所述螺纹杆(31)螺纹设在两个所述第一半圆环橡胶块(36)内壁之间。
8.根据权利要求7所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述固定板(3)远离第一半圆环橡胶块(36)的一侧固定设有对称分布且配合抵接的两个第二半圆环橡胶块(37),所述螺纹杆(31)螺纹设在两个所述第二半圆环橡胶块(37)内壁之间。
...【技术特征摘要】
1.一种光伏电池镀膜反应炉,包括加热炉体(1)和固定设在加热炉体(1)内部的不锈钢桶(11),所述加热炉体(1)的炉口处固定设有法兰(13),所述法兰(13)内固定设有进气管道(14),其特征在于:所述不锈钢桶(11)内壁固定设有螺旋盘管(2),所述螺旋盘管(2)和进气管道(14)之间相连通,所述螺旋盘管(2)内圈开设有均匀分布的多个漏斗孔(21),所述漏斗孔(21)沿螺旋盘管(2)内壁至螺旋盘管(2)外壁的方向直径尺寸逐渐增大,所述加热炉体(1)远离法兰(13)的一端活动设有顶板(34)。
2.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述不锈钢桶(11)远离法兰(13)的一端内壁固定设有真空管接头(12),所述真空管接头(12)一端贯穿并延伸至加热炉体(1)外部。
3.根据权利要求1所述的一种光伏电池镀膜反应炉,其特征在于:所述加热炉体(1)远离法兰(13)的一端外壁固定设有对称分布的固定板(3),所述固定板(3)内螺纹设有螺纹杆(31)。
4.根据权利要求3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱大富,封文彬,易维,钱大勇,龙勇亮,
申请(专利权)人:东莞市多为自动化科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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