一种红外半导体晶体膜生产用成型设备制造技术

技术编号:41081630 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-25 10:36
本技术涉及半导体技术领域,具体为一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,包括真空箱,所述真空箱底部的四周均固定安装有支撑腿,真空箱内腔底部固定安装有竖板,竖板的中端开设有移动槽,所述真空箱的左侧设置有夹持机构,夹持机构包括伺服电机。该红外半导体晶体膜生产用成型设备通过伺服电机的输出端带动主动轴转动,主动齿轮通过齿牙啮合的作用带动副齿轮进行转动,当主动齿轮与副齿轮同步转动时,安装板围绕主动轴进行圆周转动,此时安装板通过安装块和安装杆使得移动块沿移动槽的内腔进行直线运动,继而使固定板对不同宽度的基片进行限位,解决了不方便根据基片的尺寸来调节夹具尺寸的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,具体是一种红外半导体晶体膜生产用成型设备


技术介绍

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

2、在半导体制作时需要用到晶体模成型设备,在成型过程中,需要使用到基片来沉积,虽然现有的技术通过电子束或离子束的轰击,将靶材表面的原子或分子激发到高能态,会使得靶材表面的原子或分子离开靶材并沉积到基片表面,在成型过程中需要使用到夹具对其进行固定,但由于不同的加工要求所需基片的尺寸也不同,如果夹具的尺寸与基片的尺寸不一致,可能会因固定不牢靠使基片发生偏移,继而降低了成型质量。

3、因此,本领域技术人员提供了一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是:现有技术中存在不方便根据基片的尺寸来调节夹具尺寸的缺点,为此我们提出一种红外半导体晶体膜生产用成型设备。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,包括真空箱,所述真空箱底部的四周均固定安装有支撑腿,真空箱内腔底部固定安装有竖板,竖板的中端开设有移动槽;

4、所述真空箱的左侧设置有夹持机构,夹持机构包括伺服电机,伺服电机固定安装于真空箱的左侧,伺服电机的输出端固定连接有主动轴,主动轴的外表面固定连接有主动齿轮,真空箱内腔的左侧均活动连接有从动轴,从动轴的外表面固定连接有从动齿轮,真空箱内腔左侧的后侧活动连接有副轴,副轴的外表面固定连接有副齿轮,副轴与主动轴的右侧均固定安装有安装板,安装板的右侧活动连接有安装块,安装块的右侧活动连接有安装杆,安装杆的右侧活动连接有移动块,移动块的前侧固定安装有固定板,固定板的内侧固定安装有夹块;

5、所述固定板内侧后侧的顶部固定安装有直流电机,直流电机的输出端固定连接有螺纹杆,螺纹杆外表面的上下两侧均通过螺纹连接有螺纹块,螺纹块的右侧固定安装有连接杆,连接杆的右侧固定安装有连接块。

6、作为本技术再进一步地方案:所述移动槽内腔的上下两侧均开设有限位槽,移动块的上下两侧均固定安装有限位块,限位块滑动连接于限位槽的内腔中。

7、作为本技术再进一步地方案:所述固定板内侧的左侧开设有滑槽,螺纹块的外侧滑动连接于滑槽的内腔中。

8、作为本技术再进一步地方案:所述真空箱内腔的左侧固定安装有l形板,从动轴的右端活动连接于l形板的左侧。

9、作为本技术再进一步地方案:所述伺服电机的底部设置有托架,托架固定安装于真空箱的左侧。

10、作为本技术再进一步地方案:所述真空箱的前侧通过合页活动连接有箱门,箱门前侧的中端镶嵌有钢化玻璃,箱门前侧的左侧固定安装有握把。

11、作为本技术再进一步地方案:所述支撑腿的底部固定安装有垫片,垫片顶部的四周通过螺纹连接有地脚螺栓。

12、本技术的有益效果是:

13、1、本技术通过伺服电机的输出端带动主动轴转动,主动齿轮通过齿牙啮合的作用带动副齿轮进行转动,当主动齿轮与副齿轮同步转动时,安装板围绕主动轴进行圆周转动,此时安装板通过安装块和安装杆使得移动块沿移动槽的内腔进行直线运动,继而使固定板对不同宽度的基片进行限位,通过螺纹杆和螺纹块的配合,可以使得连接块对不同厚度的基片进行限位,实现了对不同尺寸基片的固定工作,减少了由于需要加工基片尺寸改变,使得基片由于夹持不牢靠导致产生偏移,造成沉积效果降低的情况发生的可能。

14、2、本技术通过设置限位块和限位槽,可以对移动块起到限位作用,防止移动块在向内夹持的过程中产生偏移,进而导致对基片夹持使得沉积效果降低,通过设置滑槽,可以对螺纹块上下移动起到限位作用,防止在对基片厚度夹持过程中产生偏移,使得基片沉积效果降低,通过设置l形板,可以对从动轴起到支撑作用,防止从动轴在工作过程中产生偏移,使得主动齿轮无法带动副齿轮进行转动,从而导致无法对基片进行夹持,通过设置托架,可以对伺服电机起到支撑的作用,防止伺服电机由于长时间工作产生偏移,使得无法带动主动齿轮转动,造成无法对基片夹持情况的发生。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,包括真空箱(1),其特征在于:所述真空箱(1)底部的四周均固定安装有支撑腿(7),真空箱(1)内腔底部固定安装有竖板(10),竖板(10)的中端开设有移动槽(11);

2.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述移动槽(11)内腔的上下两侧均开设有限位槽(219),移动块(210)的上下两侧均固定安装有限位块(218),限位块(218)滑动连接于限位槽(219)的内腔中。

3.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述固定板(211)内侧的左侧开设有滑槽(217),螺纹块(214)的外侧滑动连接于滑槽(217)的内腔中。

4.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述真空箱(1)内腔的左侧固定安装有L形板(12),从动轴(205)的右端活动连接于L形板(12)的左侧。

5.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述伺服电机(201)的底部设置有托架(6),托架(6)固定安装于真空箱(1)的左侧。

6.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述真空箱(1)的前侧通过合页活动连接有箱门(3),箱门(3)前侧的中端镶嵌有钢化玻璃(4),箱门(3)前侧的左侧固定安装有握把(5)。

7.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述支撑腿(7)的底部固定安装有垫片(8),垫片(8)顶部的四周通过螺纹连接有地脚螺栓(9)。

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【技术特征摘要】

1.一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,包括真空箱(1),其特征在于:所述真空箱(1)底部的四周均固定安装有支撑腿(7),真空箱(1)内腔底部固定安装有竖板(10),竖板(10)的中端开设有移动槽(11);

2.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述移动槽(11)内腔的上下两侧均开设有限位槽(219),移动块(210)的上下两侧均固定安装有限位块(218),限位块(218)滑动连接于限位槽(219)的内腔中。

3.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜生产用成型设备,其特征在于:所述固定板(211)内侧的左侧开设有滑槽(217),螺纹块(214)的外侧滑动连接于滑槽(217)的内腔中。

4.根据权利要求1所述的一种红外半导体晶体膜...

【专利技术属性】
技术研发人员:任卫民张东升杨勇肖利娜林贞珊
申请(专利权)人:信阳星原智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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