【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光抛光领域,具体而言,涉及一种培育金刚石表面激光抛光装置。
技术介绍
1、金刚石材料是已知的硬度最高的天然材料,对其有效的材料去除局限于有限的几种效率低且昂贵的方式。现有的工业级金刚石抛光方式采用聚酯金刚石磨料抛光片,通过旋转接触金刚石表面对其进行缓慢和高工具磨损的抛光技术,易于在金刚石表面形成热积累,造成微裂纹和崩边。而且,此种抛光方式局限于样品表面形貌,数十微米以上的样品表面起伏会带来抛光轮未接触表面,形成未加工区。
技术实现思路
1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思,这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征,也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。
2、为了解决以上
技术介绍
部分提到的技术问题,本申请的一些实施例提供了一种培育金刚石表面激光抛光装置,包括:激光器,用于输出光束,使光束以射线的形式传播形成激光光路;聚焦光学元件,用于对光束进行聚焦形成一个激光线;光学扫描机构,用于控制光束的空间扫描位置和轨迹,以使激光线沿预设轨迹移动形成抛光范围;夹持机构,用于对待抛光金刚石材料夹持固定,实现待抛光金刚石材料的待抛光面与激光线相贴合;其中,所述抛光范围在待抛光面上的投影覆盖待抛光金刚石材料的待抛光面。
3、进一步地,所述激光器为超快激光器。
4、进一步地,激光抛光装置还包括扩束镜,所述扩束镜设置于激光光路处,且位于激光器和聚焦光学元件之间;所述扩束镜
5、进一步地,激光抛光装置还包括反射镜,所述反射镜设置于激光光路处,且位于扩束镜和聚焦光学元件之间;所述反射镜用于改变激光光路的方向,以使激光光路经过聚焦光学元件和光学扫描机构。
6、进一步地,待抛光金刚石材料的抛光深度为8-12微米,以使抛光范围向下延伸形成抛光空间;所述抛光空间包裹所述待抛光面。
7、进一步地,所述夹持机构上设置有吸尘件,用于回收待抛光面上的废屑。
8、进一步地,所述吸尘件包含:第一吸尘箱、第二吸尘箱和气泵;其中气泵位于夹持机构的上方;所述第一吸尘箱位于待抛光金刚石材料的第一侧面处;所述第二吸尘箱位于待抛光金刚石材料的第二侧面处;所述第一侧面和所述第二侧面相异且均与待抛光面垂直;所述气泵用于向待抛光面的中部进行吹气。
9、本申请的有益效果在于:提供一种利用超快激光对金刚石表面抛光的加工技术与装置,解决传统培育金刚石生长面的波纹面和切割面产生碳化层问题。利用超快激光在样品表面进行往复扫描,对表面凸起或碳化层进行去除,获得亚微米到纳米级光亮表面,去除深度控制在数十微米,与机械抛光相比,速度快,热影响小,损耗小,无污染。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:所述激光器为超快激光器。
3.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:激光抛光装置还包括扩束镜,所述扩束镜设置于激光光路处,且位于激光器和聚焦光学元件之间;所述扩束镜用于增加光束直径。
4.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:激光抛光装置还包括反射镜,所述反射镜设置于激光光路处,且位于扩束镜和聚焦光学元件之间;所述反射镜用于改变激光光路的方向,以使激光光路经过聚焦光学元件和光学扫描机构。
5.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:待抛光金刚石材料的抛光深度为8-12微米,以使抛光范围向下延伸形成抛光空间;所述抛光空间包裹所述待抛光面。
6.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:所述夹持机构上设置有吸尘件,用于回收待抛光面上的废屑。
7.根据权利要求6所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:所述吸尘件
...【技术特征摘要】
1.一种培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:所述激光器为超快激光器。
3.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:激光抛光装置还包括扩束镜,所述扩束镜设置于激光光路处,且位于激光器和聚焦光学元件之间;所述扩束镜用于增加光束直径。
4.根据权利要求1所述的培育金刚石表面激光抛光装置,其特征在于:激光抛光装置还包括反射镜,所述反射镜设置于激光光路处,且位于扩束镜和聚焦光学元件之间;所述反射镜用于改变激光光路的方向,以使激光光路经过聚焦光学元件和光学扫描机构。
5.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋立佳,宣婷,杜珊,朱晓农,蒋仕彬,李夏,
申请(专利权)人:杭州银湖激光科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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