【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体uv固化领域，具体涉及一种半导体用隧道式uv固化炉。
技术介绍
1、uv是紫外线的缩写，在化工高分子领域里，uv也被作为辐射固化的简称，uv，也就是uv紫外光固化，是利用uv紫外光的中波和短波在uv辐射下，液态uv材料中的光引发剂受刺激变为自由基或阳离子，从而引发含活性官能团的高分子材料聚合成不溶且不熔的固体涂膜的过程。
2、现有技术中，如中国专利号为：cn218309085u的一种基于手机膜片的隧道式uv固化炉，包括机架、膜片输送装置、炉箱本体、uv灯装置以及抽风装置，膜片输送装置上方设有炉箱本体，膜片输送装置可将待固化的手机膜片输送至炉箱本体内，炉箱本体内设有两个uv灯箱，每一uv灯箱内均设有uv灯装置，抽风装置设于所述uv灯箱顶部，且抽风装置与uv灯箱连通。本技术通过在炉箱本体内设置uv灯装置以及抽风装置，uv灯装置可通过uv照射的方式对膜片输送装置上的手机膜片进行uv固化，减少光源的浪费，同时有效提高对手机膜片的照射均匀性；抽风装置可将炉箱本体内部的热量进行抽吸，以提高炉箱本体内部空气环境与外界环境的流通性，避免造成局部积热过度的现象。
3、但劣势在于，上述隧道式uv固化炉在工作时，不能限制工件活动范围，不规则的半导体工件在传送过程中会向两边滚动，影响固化质量。同时在uv固化进行中，不同规格和不同数量的半导体工件会产生不同的uv光强度或发光面大小的需求问题，从而影响固化效率。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术解决其技术问题
2、作为一种优选的实施方式，所述传送装置包括固定腿，所述固定腿的下表面与工作台的上表面固定连接，所述固定腿的数量为四个，所述固定腿的外表面活动连接有滚筒，所述滚筒的外表面滚动连接有传送带，所述滚筒的外表面与固化装置的内表面活动连接。通过设置传送装置可以使半导体工件快速方便的传送至固化装置内进行uv固化，降低了操作员工作强度，提高了固化效率。
3、作为一种优选的实施方式，所述夹持装置包括夹板，所述夹板的数量为两个，所述夹板的外表面与传送带的上表面活动连接，所述夹板的外表面固定连接有滑杆，所述滑杆一端的外表面固定连接有固定杆。通过设置夹板可以规范工件活动范围，防止工件向两边滚动影响固化质量。
4、作为一种优选的实施方式，所述固定杆的内表面螺纹连接有水平螺杆，所述水平螺杆一端的外表面固定连接有转轮，所述转轮的外表面固定连接有转把，所述水平螺杆另一端的外表面活动连接有转轴，所述转轴的外表面与固化装置的外表面固定连接。通过设置水平螺杆、转轴和滑杆，可以调节两个夹板相互靠近或远离。
5、作为一种优选的实施方式，所述固化装置包括固定架，所述固定架的外表面与工作台的上表面固定连接，所述固定架的内表面固定连接有固定块，所述固定块的外表面固定连接有滑柱，所述滑柱的外表面滑动连接有固化面板，所述滑柱上端的外表面与固定架的内表面固定连接，所述固化面板的上表面活动连接有垂直螺杆，所述固化面板的下表面固定连接有uv灯棒，所述垂直螺杆的上表面固定连接有转盘。通过设置垂直螺杆，可以调节固化面板的垂直高度从而调节uv灯棒的高度，达到调节发光面的作用。
6、作为一种优选的实施方式，所述隔温装置包括n型板，所述n型板的外表面与固定架的外表面固定连接，所述n型板的外表面固定连接有l型块，所述n型板的外表面活动连接有移动板，所述移动板的外表面开设有滑槽，所述滑槽的外表面与l型块的外表面活动连接。通过设置隔温装置，提高固化时的热量利用效率，从而提高固化效率。通过设置移动板和l型块，可以调节移动板垂直高度，以应对不同规格的半导体工件。
7、本技术的有益效果如下：
8、1.本技术通过设置夹持装置，夹板的外表面固定连接有滑杆，滑杆一端的外表面固定连接有固定杆，固定杆的内表面螺纹连接有水平螺杆，所述水平螺杆一端的外表面固定连接有转轮，所述转轮的外表面固定连接有转把，所述水平螺杆另一端的外表面活动连接有转轴，通过水平螺杆、转轴和滑杆，可以调节两个夹板相互靠近或远离，解决了规范工件活动范围，防止工件向两边滚动的问题，提高了固化质量。
9、2.本技术通过设置垂直螺杆，滑柱的外表面滑动连接有固化面板，滑柱上端的外表面与固定架的内表面固定连接，固化面板的上表面活动连接有垂直螺杆，固化面板的下表面固定连接有uv灯棒，转动转盘可以调节固化面板的垂直高度从而调节uv灯棒的高度，达到调节发光面的作用，解决了不同规格和不同数量的半导体工件会产生不同的uv光强度或发光面大小的需求问题，从而提高了固化效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种半导体用隧道式UV固化炉，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的上表面固定连接有工作台(2)，所述工作台(2)的上表面固定连接有传送装置(3)，所述工作台(2)的上表面固定连接有固化装置(5)，所述固化装置(5)的外表面活动连接有夹持装置(4)，所述固化装置(5)的外表面固定连接有隔温装置(6)，所述隔温装置(6)的数量为两个，所述传送装置(3)的上表面与夹持装置(4)的外表面活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式UV固化炉，其特征在于：所述传送装置(3)包括固定腿(31)，所述固定腿(31)的下表面与工作台(2)的上表面固定连接，所述固定腿(31)的数量为四个，所述固定腿(31)的外表面活动连接有滚筒(32)，所述滚筒(32)的外表面滚动连接有传送带(33)，所述滚筒(32)的外表面与固化装置(5)的内表面活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式UV固化炉，其特征在于：所述夹持装置(4)包括夹板(41)，所述夹板(41)的数量为两个，所述夹板(41)的外表面与传送带(33)的上表面活动连接，所述夹板(41)
4.根据权利要求3所述的一种半导体用隧道式UV固化炉，其特征在于：所述固定杆(43)的内表面螺纹连接有水平螺杆(46)，所述水平螺杆(46)一端的外表面固定连接有转轮(44)，所述转轮(44)的外表面固定连接有转把(45)，所述水平螺杆(46)另一端的外表面活动连接有转轴(47)，所述转轴(47)的外表面与固化装置(5)的外表面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式UV固化炉，其特征在于：所述固化装置(5)包括固定架(51)，所述固定架(51)的外表面与工作台(2)的上表面固定连接，所述固定架(51)的内表面固定连接有固定块(56)，所述固定块(56)的外表面固定连接有滑柱(55)，所述滑柱(55)的外表面滑动连接有固化面板(54)，所述滑柱(55)上端的外表面与固定架(51)的内表面固定连接，所述固化面板(54)的上表面活动连接有垂直螺杆(53)，所述固化面板(54)的下表面固定连接有UV灯棒(541)，所述垂直螺杆(53)的上表面固定连接有转盘(52)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式UV固化炉，其特征在于：所述隔温装置(6)包括n型板(61)，所述n型板(61)的外表面与固定架(51)的外表面固定连接，所述n型板(61)的外表面固定连接有L型块(63)，所述n型板(61)的外表面活动连接有移动板(62)，所述移动板(62)的外表面开设有滑槽(64)，所述滑槽(64)的外表面与L型块(63)的外表面活动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体用隧道式uv固化炉，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的上表面固定连接有工作台(2)，所述工作台(2)的上表面固定连接有传送装置(3)，所述工作台(2)的上表面固定连接有固化装置(5)，所述固化装置(5)的外表面活动连接有夹持装置(4)，所述固化装置(5)的外表面固定连接有隔温装置(6)，所述隔温装置(6)的数量为两个，所述传送装置(3)的上表面与夹持装置(4)的外表面活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式uv固化炉，其特征在于：所述传送装置(3)包括固定腿(31)，所述固定腿(31)的下表面与工作台(2)的上表面固定连接，所述固定腿(31)的数量为四个，所述固定腿(31)的外表面活动连接有滚筒(32)，所述滚筒(32)的外表面滚动连接有传送带(33)，所述滚筒(32)的外表面与固化装置(5)的内表面活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体用隧道式uv固化炉，其特征在于：所述夹持装置(4)包括夹板(41)，所述夹板(41)的数量为两个，所述夹板(41)的外表面与传送带(33)的上表面活动连接，所述夹板(41)的外表面固定连接有滑杆(42)，所述滑杆(42)一端的外表面固定连接有固定杆(43)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体用隧道式uv固化炉，其特征在于：所述固定杆(43)的内表面螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴胜平，刘兴，孙敬花，
申请(专利权)人：马鞍山台胜精密电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。