【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体外延，特别是涉及一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置及冷泵系统。
技术介绍
1、在现代社会，真空环境有很广泛的应用，在工农业生产及科研中，很多情况下都需要真空环境。并且，在一些高精尖产品中，例如半导体外延技术中，需要超高真空环境。
2、在超高真空的设备中，可以进行如下处理：将内部含有水汽的设备进行约200℃的烘烤，再通过真空泵将水汽抽走。这样，设备的真空度可以达到超高真空级别，且内部水分子杂质的含量几乎为零。
3、冷泵作为一种强力的真空泵，在超高真空设备中被广泛应用。其在工作时会利用氦作为媒介、将自身内部附着层的温度降低，以吸附真空中各类游离的气体分子。并且，冷泵的温度越低、对气体分子的吸附能力就越强，越容易达到更高程度的真空。
4、但是，现有技术中的冷泵在超高真空的烘烤的过程中可能会受到内部热辐射的影响，从而出现工作能力降低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题，而提供一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置及冷泵系统。
2、为达到上述目的，本申请的技术方案是这样实现的：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置，应用于冷泵系统中，所述冷泵系统包括真空腔、冷泵和所述热辐射屏蔽装置；所述热辐射屏蔽装置包括：
4、箱体，具有第一通道，所述第一通道的一端连通所述真空腔，另一端连通所述冷泵；
5、隔热板，位于所述第一通道内，配置为能
6、第一耦合件，与所述隔热板连接，配置为响应所述箱体外的第二耦合件的驱动，带动所述隔热板转动；所述第一耦合件与所述第二耦合件非接触耦合；所述第一耦合件40可转动的安装于所述箱体20的内壁。
7、可选地，所述第一耦合件包括至少一件具有磁性或能被磁化的磁吸件。
8、可选地，所述磁吸件为永磁体，所述磁吸件与所述第二耦合件相向表面的磁极属性相反。
9、可选地，所述第一耦合件还包括：
10、耦合件支架，所述磁吸件安装于所述耦合件支架的外周壁，所述耦合件支架与所述隔热板连接。
11、可选地，所述热辐射屏蔽装置还包括：
12、连接件，配置为将所述耦合件支架与所述隔热板相连接；所述连接件的一端连接所述耦合件支架，另一端连接所述隔热板，所述耦合件支架的中心开设有供连接件安装的安装孔。
13、可选地，所述热辐射屏蔽装置包括两块平行且间隔设置的隔热板，两块所述隔热板均与所述第一耦合件连接。
14、可选地，所述热辐射屏蔽装置还包括：
15、转动辅助结构，配置为减少所述隔热板在转动中的阻力，所述转动辅助结构连接于所述箱体的内壁。
16、可选地，所述转动辅助结构包括：
17、平面轴承，包括第一端面和第二端面，所述第一端面连接所述隔热板，所述第二端面与所述箱体的内壁固定连接；所述隔热板转动的情况下，所述第一端面相对所述第二端面转动。
18、可选地，所述转动辅助结构包括：
19、向心轴承，包括内圈和外圈，所述内圈连接所述隔热板，所述外圈与所述箱体的内壁固定连接。
20、第二方面，本申请实施例还提供一种冷泵系统，包括：
21、真空腔；
22、冷泵；
23、上面所述的任意一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置，所述热辐射屏蔽装置位于所述真空腔和所述冷泵之间，所述热辐射屏蔽装置的所述第一通道，将所述真空腔和所述冷泵连通。
24、上述用于真空环境的热辐射屏蔽装置及冷泵系统，包括：箱体，具有第一通道，所述第一通道的一端连通所述真空腔，另一端连通所述冷泵；隔热板，位于所述第一通道内，与所述箱体的内壁连接；所述隔热板配置为能够在第一位置和第二位置之间转动；在所述隔热板处于第一位置的情况下，所述隔热板的第一表面与所述第一通道的走向相垂直或趋于垂直，以阻挡真空腔的热量辐射至所述冷泵；在所述隔热板处于第二位置的情况下，所述隔热板的第一表面与所述第一通道的走向相平行或趋于平行，以使所述第一通道的流通量最大化；所述第一表面为所述隔热板最大面积的表面；第一耦合件，与所述隔热板连接，配置为响应所述箱体外的第二耦合件的驱动，带动所述隔热板转动；所述第一耦合件与所述第二耦合件非接触耦合。可见，本申请实施例的用于真空环境的热辐射屏蔽装置及冷泵系统，在第一通道内设置隔热板，减少冷泵在烘烤过程中受到内部热辐射的影响，具有良好的工作能力。并且，隔热板能够在第一位置和第二位置之间转动，在设备不烘烤的情况下，不会因为隔热板的阻挡而影响冷泵的抽力。因此，本申请实施例的用于真空环境的热辐射屏蔽装置及冷泵系统，既能减少冷泵在烘烤过程中受到内部热辐射的影响，也不会因为隔热板的阻挡而影响抽力。
25、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
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1.一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置，应用于冷泵系统中，所述冷泵系统包括真空腔、冷泵和所述热辐射屏蔽装置；其特征在于，所述热辐射屏蔽装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述第一耦合件还包括：
5.根据权利要求4所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1或2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述热辐射屏蔽装置包括两块平行且间隔设置的隔热板，两块所述隔热板均与所述第一耦合件连接。
7.根据权利要求1或2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求7所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述转动辅助结构包括：
9.根据权利要求7所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述转动辅助结构包括：
10.一种冷泵系统，
...【技术特征摘要】
1.一种用于真空环境的热辐射屏蔽装置，应用于冷泵系统中，所述冷泵系统包括真空腔、冷泵和所述热辐射屏蔽装置；其特征在于，所述热辐射屏蔽装置包括：
2.根据权利要求1所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述第一耦合件还包括：
5.根据权利要求4所述的用于真空环境的热辐射屏蔽装置，其特征在于，还包括：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：楼厦，薛聪，倪健，
申请(专利权)人：迪希埃北京半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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