【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机台用水阻值监控报警领域，特别涉及一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统及芯片清洗机台。
技术介绍
1、芯片清洗机台使用溶解杂质法进行晶圆表面清洗，而纯水高阻抗引起的静电效应会产生静电从而可能造成晶圆电性异常，故溶解杂质的阻值是机台的一个重要参数。
2、现有机台使用的监测水阻值系统，又称为anti-electrostatic system，用以克服纯水而引起的静电效应。其优点在于不会产生气泡，通入co2快速反应，能够降低和控制水阻值，但在监测方面存在缺陷，不能够直观获取结果，即无法实现实时监测。
3、因此设计一款能够实现实时监测的水阻值监测系统就成为了急需解决的问题。
技术实现思路
1、为了让机台实现对水阻值的实时监测，本技术提出了一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，本申请在原有机台的基础上，加装了监测模块，通过监测清洗模块是否发生异常，实现实时报警，这样进行改进后，能够实时检测电池组是否正常工作，若状态异常会实时给出开关信号，从而避免影响晶圆的电性参数，从而提升产品品质，带来更高的经济效益。
2、根据本技术的一个方面，提供一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其包括：
3、电源电路，所述电源电路用于为系统提供所需电能；
4、清洗模块，所述清洗模块用于对晶圆表面进行清洗,所述清洗模块与所述电源电路通信连接；
5、监测模块，所述监测模块由漏液传感器、信号处理模块和报警模块组成，所述漏液传感器
6、控制模块，所述控制模块与所述电源电路、所述清洗模块和所述监测模块通信连接，并设置为控制所述机台的开关及运行。
7、根据本技术的一个实施例，在所述漏液传感器监测到所述清洗模块发生异常时，控制竖起隔板，生成电信号并传输至信号处理器。
8、根据本技术的一个实施例，所述监测模块实时监测电源电路是否正常工作，若否，则控制发出关闭信号，所述机台报警并停机。
9、根据本技术的一个实施例，所述控制模块控制电源电路工作，当电源电路正常工作时，会不断重置监测模块内的计数器；当电源电路不工作时，所述计数器会从设定值开始倒数，在设定值倒数结束后，若电源电路仍未工作，控制发出报警信号。
10、根据本技术的一个实施例，所述报警系统自身异常时，控制发出报警信号。
11、根据本技术的一个实施例，所述报警系统自身异常，包括异常断电。
12、根据本技术的一个实施例，所述报警模块包括报警器，当所述报警模块收到所述信号处理器传输来的触发信号时，控制所述报警器发出报警信号。
13、根据本技术的一个实施例，所述报警信号是灯光信号和/或声音信号和/或机台显示信号。
14、根据本技术的另一个方面，提供一种芯片清洗机台，其包括上述技术方案任一所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统。
15、由于采用以上技术方案，本技术与现有技术相比具有如下优点：本申请在原有机台的基础上，加装了监测模块，通过监测清洗模块是否发生异常，实现实时报警，这样进行改进后，能够实时检测电池组是否正常工作，若状态异常会实时给出开关信号，从而避免影响晶圆的电性参数，从而提升产品品质，且本申请的结构简单易实现，不会增加过多的成本，经济效益高。
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1.一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，在所述漏液传感器监测到所述清洗模块发生异常时，控制竖起隔板，生成电信号并传输至信号处理器。
3.根据权利要求2所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，所述报警模块包括报警器，当所述报警模块收到所述信号处理器传输来的触发信号时，控制所述报警器发出报警信号。
4.根据权利要求3所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，所述报警信号是灯光信号和/或声音信号和/或机台显示信号。
5.一种芯片清洗机台，其特征在于，包括上述权利要求1-4任一项所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统。
【技术特征摘要】
1.一种芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，在所述漏液传感器监测到所述清洗模块发生异常时，控制竖起隔板，生成电信号并传输至信号处理器。
3.根据权利要求2所述的芯片清洗机台用水阻值实时检测报警系统，其特征在于，所述报警模块包括报警...
【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏鹏，杨斌，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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