一种流延薄膜厚度检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种流延薄膜厚度检测装置，包括多组传感器组以及连接传感器组件的处理装置，传感器组包括第一传感器和第二传感器，第一传感器用于检测其至薄膜一面的距离，第二传感器用于检测其至薄膜另一面的距离，第一传感器与第二传感器相对设置，第一传感器与第二传感器之间的距离为A，第一传感器至上表面的距离为B1，第二传感器至下表面的距离为B2，薄膜的厚度H＝A‑B1‑B2。从而能够减少检测时所耗费的人工，降低生产成本，减少机械式检测以及不同检测人员导致的检测误差，提高检查精度。同时能够对薄膜的厚度实时检测，有利于产品的质量管控。整个检测过程自动化，检测产生的数据管理方便，便于后续的生产改进。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于厚度检测，尤其涉及一种流延薄膜厚度检测装置。

技术介绍

1、流延是电子陶瓷基板生产的重要工艺，流延薄膜的厚度是流延工艺的重要控制参数。传统的陶瓷薄膜的厚度测量是在生坯剥离修边分切的后工段进行的，主要是用千分尺或其它接触式机械量具通过对修边料的检测来获得厚度数据，或在线快速检测收卷料获得厚度数据。这种传统的检测方式主要存在以下问题：

2、(1)由于陶瓷薄膜质地柔软，采用接触式机械量具的测量误差与操作者素质直接相关，测量误差大，高精度检测存在致命缺陷。

3、(2)通过人工随机检测，费时费工，无法直观地对陶瓷流延薄膜厚度进行实时动态监控，不利于产品质量的管控。

技术实现思路

1、本技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种能够自动实时检测流延陶瓷薄膜厚度的检测装置。

2、本技术的目的是这样实现的：一种流延薄膜厚度检测装置，包括多组传感器组以及连接传感器组件的处理装置，所述传感器组包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器用于检测其至薄膜一面的距离，所述第二传感器用于检测其至薄膜另一面的距离，所述第一传感器与第二传感器相对设置，第一传感器与第二传感器之间的距离为a，第一传感器至薄膜的距离为b1，第二传感器至薄膜的距离为b2，所述薄膜的厚度h＝a-b1-b2。

3、本技术中进一步的，还包括用于安装所述多组传感器组的支架，所述支架的中心为开口，所述薄膜穿过所述开口，第一传感器和第二传感器分别置于所述开口的上下两侧。

4、本技术中进一步的，所述第一传感器与第二传感器均垂直于所述薄膜使薄膜从第一传感器与第二传感器之间水平通过。

5、本技术中进一步的，所述的多组传感器组沿薄膜的宽度方向排列。

6、本技术中进一步的，所述的多组传感器组等距排列。

7、本技术中进一步的，所述第一传感器与第二传感器均为激光传感器。

8、本技术中进一步的，还包括显示装置，所述处理装置连接显示装置并将薄膜的厚度h显示在显示装置上。

9、本技术的有益效果是：

10、1.能够减少检测时所耗费的人工，降低生产成本。

11、2.能够减少机械式检测以及不同检测人员导致的检测误差，提高检测精度。

12、3.能够对薄膜的厚度实时检测，有利于产品的质量管控。

13、4.检测过程自动化，检测产生的数据管理方便，便于后续的生产改进。

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【技术保护点】

1.一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，包括多组传感器组(200)以及连接传感器组(200)的处理装置，所述传感器组(200)包括第一传感器(210)和第二传感器(220)，所述第一传感器(210)用于测量其至薄膜(110)两面表中其中一面的距离，所述第二传感器(220)用于测量其至薄膜(110)另一面的距离，所述第一传感器(210)与第二传感器(220)相对设置，所述处理装置根据第一传感器(210)与第二传感器(220)测量的数据计算出薄膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，还包括用于安装所述的多组传感器组(200)的支架(100)，所述支架(100)的中心为开口(101)，所述薄膜(110)穿过所述开口(101)，第一传感器(210)和第二传感器(220)分别置于所述开口(101)相对的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述第一传感器(210)垂直于所述薄膜(110)。

4.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述第二传感器(220)垂直于所述薄膜(110)。

5.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述的多组传感器组(200)沿薄膜(110)的宽度方向排列。

6.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述的多组传感器组(200)等距排列。

7.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述第一传感器(210)与第二传感器(220)均为激光传感器。

8.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，还包括显示装置，所述处理装置连接显示装置并将薄膜(110)的厚度H显示在显示装置上。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述第一传感器(210)与第二传感器(220)之间的距离为A，第一传感器(210)至薄膜(110)的距离为B1，第二传感器(220)至薄膜(110)的距离为B2，所述薄膜(110)的厚度H＝A-B1-B2。

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【技术特征摘要】

1.一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，包括多组传感器组(200)以及连接传感器组(200)的处理装置，所述传感器组(200)包括第一传感器(210)和第二传感器(220)，所述第一传感器(210)用于测量其至薄膜(110)两面表中其中一面的距离，所述第二传感器(220)用于测量其至薄膜(110)另一面的距离，所述第一传感器(210)与第二传感器(220)相对设置，所述处理装置根据第一传感器(210)与第二传感器(220)测量的数据计算出薄膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，还包括用于安装所述的多组传感器组(200)的支架(100)，所述支架(100)的中心为开口(101)，所述薄膜(110)穿过所述开口(101)，第一传感器(210)和第二传感器(220)分别置于所述开口(101)相对的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种流延薄膜厚度检测装置，其特征在于，所述第一传感器(210)垂直于所述薄膜(110)。

4.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄光明，张世健，卢昱文，
申请(专利权)人：浙江中财电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：