【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及正型感光性树脂组合物。更详细而言，本专利技术涉及包含醌二叠氮化合物作为放射线敏感化合物的正型感光性树脂组合物。
技术介绍
1、正型感光性树脂组合物被广泛用作半导体器件的层间绝缘膜、平坦化膜或保护膜、或者用作有机el显示器(oled)、液晶显示器等显示装置的绝缘膜、平坦化膜或隔壁材料。
2、例如，在有机el显示器等显示装置中，为了提高显示特性，在显示区域内的着色图案的间隔部或显示区域周边部分的边缘等使用隔壁材料。在有机el显示装置的制造中，为了使有机物质的像素彼此不接触，首先形成隔壁，在该隔壁之间形成有机物质的像素。该隔壁通常通过使用感光性树脂组合物的光刻法而形成，具有绝缘性。详细而言，使用涂布装置将感光性树脂组合物涂布在基板上，通过加热等手段除去挥发成分后，隔着掩模进行曝光，接着，在负型的情况下用碱性水溶液等显影液除去未曝光部分，在正型的情况下用碱性水溶液等显影液除去曝光部分，由此进行显影，对得到的图案进行加热处理，形成隔壁(绝缘膜)。接着，通过喷墨法等，将发出红、绿、蓝3色光的有机物质在隔壁之间成膜，形成有机el显示装置的像素。
3、在该领域中，近年来，由于显示装置的小型化以及显示的内容多样化，要求像素的高性能化以及高精细化。为了提高显示装置中的对比度，提高视觉辨认性，尝试了使用着色剂使隔壁材料具有遮光性。
4、专利文献1(日本特开2001-281440号公报)中，作为通过曝光后的加热处理而显示出高遮光性的放射线敏感性树脂组合物，记载了在包含碱可溶性树脂和醌二叠氮化合物的正型放
5、专利文献2(日本特开2002-116536号公报)记载了在包含[a]碱可溶性树脂、[b]1,2-醌二叠氮化合物和[c]着色剂的放射线敏感性树脂组合物中，使用炭黑使隔壁材料黑色化的方法。
6、专利文献3(日本特开2010-237310号公报)中，作为通过曝光后的加热处理而显示遮光性的放射线敏感性树脂组合物，记载了在包含碱可溶性树脂和醌二叠氮化合物的正型放射线敏感性树脂组合物中添加有热敏色素的组合物。
7、专利文献4(国际公开第2017/069172号)记载了一种正型感光性树脂组合物，其包含(a)粘合剂树脂、(b)醌二叠氮化合物和(c)选自溶剂黑27～47的颜色索引所给定的黑色染料中的至少1种黑色染料。
8、另一方面，作为提高正型感光性树脂组合物的灵敏度的方法，广泛已知将感光性树脂组合物制成化学增幅体系。化学增幅体系的感光性树脂组合物通常包含碱可溶性官能团被酸分解性基团保护的树脂和光产酸剂。曝光时自光产酸剂产生的酸促进酸分解性基团的分解(脱保护)而使碱可溶性官能团再生。由此，在显影时促进曝光部中的树脂的碱溶解。源自光产酸剂的酸在将某一酸分解性基团分解后再生，参与另一酸分解性基团的分解。基于所述反应机理的化学增幅体系的表观量子效率，由产酸的量子效率与反应链的乘积表示，因此通过使感光性树脂组合物为化学增幅体系，能够实现高灵敏度。
9、专利文献5(国际公开第2015/087830号)记载了一种感光性树脂组合物，其包含：包含特定的重复单元的聚苯并噁唑前体、光产酸剂、溶剂、交联剂、以及在分子中具有酸基被酸分解性基团保护了的基团的化合物。
10、专利文献6(国际公开第2020/246517号)记载了一种正型感光性树脂组合物，其包含：第一树脂(a)，其具有多个酚性羟基，并且多个酚性羟基的至少一部分经酸分解性基团保护；第2树脂(b)，其具有环氧基和酚性羟基；着色剂(c)，其为选自黑色染料及黑色颜料中的至少一种；以及光产酸剂(d)。
11、现有技术文献
12、专利文献
13、专利文献1：日本特开2001-281440号公报
14、专利文献2：日本特开2002-116536号公报
15、专利文献3：日本特开2010-237310号公报
16、专利文献4：国际公开第2017/069172号
17、专利文献5：国际公开第2015/087830号
18、专利文献6：国际公开第2020/246517号
技术实现思路
1、专利技术所要解决的技术问题
2、但是，在使隔壁材料具有遮光性的情况下，感光性树脂组合物有成为低灵敏度的倾向，其结果，曝光时间变长，生产率可能降低。因此，特别是包含着色剂的隔壁材料的形成中使用的感光性树脂组合物要求更高灵敏度。
3、着色了的隔壁材料的形成中使用的感光性树脂组合物中，为了充分提高固化的膜的遮光性，需要使用相当量的着色剂。在如此使用大量的着色剂的情况下，照射至感光性树脂组合物的覆膜的放射线被着色剂吸收，因此覆膜中的放射线的有效强度降低，感光性树脂组合物无法充分曝光，结果图案形成性降低。这在以显示装置的画质提高、柔性化或省电化为目的，在感光性树脂组合物中配合黑色的着色剂，形成较厚的覆膜、例如厚度2～3μm的覆膜的情况下是显著的。
4、化学增幅体系的正型感光性树脂组合物，与例如包含醌二叠氮化合物作为放射线敏感化合物的正型感光性树脂组合物相比，灵敏度高。但是，化学增幅体系中所使用的光产酸剂昂贵，化学增幅体系的正型感光性树脂组合物容易在覆膜中产生涂布不均，需要用于促进酸分解性基团的分解的曝光后烘烤(peb，post exposure bake)。此外，在化学增幅体系中，曝光时由光产酸剂产生的酸在peb工序时在覆膜中扩散，因此根据peb的条件，有时图案的形状及尺寸、灵敏度等发生变化。因此，难以使用化学增幅体系的正型感光性树脂组合物在较厚的覆膜上高精度地形成阶梯图案。
5、本专利技术的目的在于提供能够以高精度形成厚膜图案的正型感光性树脂组合物。
6、解决技术问题的手段
7、本专利技术人等发现，在包含醌二叠氮化合物作为放射线敏感化合物的正型感光性树脂组合物中，通过将作为树脂成分的疏水性树脂及碱可溶性树脂与氟类表面活性剂组合，能够使覆膜表面的碱可溶性相对降低，其结果，能够以高精度形成厚膜图案。
8、即，本专利技术包含以下方式。
9、[1]一种正型感光性树脂组合物，其包含：
10、疏水性树脂(a)、
11、碱可溶性树脂(b)、
12、醌二叠氮化合物(c)、以及
13、氟类表面活性剂(d)，
14、以预烘烤后的膜厚成为3±0.3μm的方式涂布所述正型感光性树脂组合物，在125℃下预烘烤120秒而形成覆膜后，在30mj/cm2的条件下进行曝光，在温度23℃下用2.38质量％的四甲基氢氧化铵水溶液进行显影时，覆膜表面层的溶解速度低于覆膜整体的溶解速度，所述覆膜表面层的溶解速度是指溶解至所述覆膜的膜厚达到80％的时间点的平均溶解速度，所述覆膜整体的溶解速度是指溶解至所述覆膜的膜厚达到30％的时间点的平均溶解速度。
15、[2]根据[1]所述的正型感光性树脂组合物，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
4.根据权利要求3所述的正型感光性树脂组合物，其中，
5.根据权利要求4所述的正型感光性树脂组合物，其中，
6.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
7.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
8.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其还包含选自黑色染料和黑色颜料中的至少1种着色剂(E)。
9.根据权利要求8所述的正型感光性树脂组合物，其以树脂成分的合计100质量份为基准而包含10质量份～150质量份的所述着色剂(E)。
10.根据权利要求8所述的正型感光性树脂组合物，其中，
11.一种有机EL元件隔壁，其包含权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物的固化物。
12.一种有机EL元件绝缘膜，其包含权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物的固化物。
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...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
4.根据权利要求3所述的正型感光性树脂组合物，其中，
5.根据权利要求4所述的正型感光性树脂组合物，其中，
6.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
7.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，
8.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其还包含选自黑色染料和黑色...
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