【技术实现步骤摘要】
本技术涉及控制面板，尤其涉及超高纯气体两进一出控制面板。
技术介绍
1、在工业生产过程中，往往需要用到高纯度的气体，而现有控制供气的方式，往往是直接将储气钢瓶与进气管道进行连接，然后进行供气输送，而在更换钢瓶的过程中，往往会有部分空气通过钢瓶接口进入供气管道内部，而这部分进入管道的空气，在后续更换钢瓶后，会随着钢瓶内的气体进行输送，从而影响输送气体纯度，难以达到较好的使用效果。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
2、本技术采用了如下技术方案：超高纯气体两进一出控制面板，包括初级过滤器、主控隔膜阀、减压阀、精密过滤器、低压隔膜阀、排空隔膜阀和真空卡盘，所述初级过滤器的出气端分别与主控隔膜阀和排空隔膜阀的进气端相连通，两组所述主控隔膜阀的出气端均与减压阀的进气端相连通，所述减压阀的出气端与精密过滤器的进气端相连通，所述精密过滤器的出气端与低压隔膜阀的进气端相连通，两组所述排空隔膜阀的出气端均与真空卡盘相连通。
3、较佳的，所述初级过滤器的进气端安装有螺纹接头。此处，使钢瓶的接口或是管道能够通过螺纹接头与初级过滤器连接。
4、较佳的，所述初级过滤器与主控隔膜阀和排空隔膜阀之间安装有高压压力表。此处，以便工作人员可以通过高压压力表产生进气压力。
5、较佳的，所述减压阀与精密过滤器之间安装有低压压力表。此处，以便工作人员能够通过查看低压压力表控制出气压力。
6、与现有技术相比，本技术的优点和积极
7、本技术中，通过设置该排空隔膜阀，在更换钢瓶后，可以通过控制排空隔膜阀与主控隔膜阀的开合，然后可以通过外部的真空泵连接真空卡盘，将管道内进入的空气抽出，然后再进行气体供气，防止进入管道内的空气影响气体纯度，同时气体能够得到初级过滤器和精密过滤器的两次过滤，能够有效的保证气体纯度，达到超高纯输送效果，能够达到较好的使用效果。
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1.超高纯气体两进一出控制面板，包括初级过滤器(1)、主控隔膜阀(3)、减压阀(4)、精密过滤器(6)、低压隔膜阀(7)、排空隔膜阀(8)和真空卡盘(9)，其特征在于：所述初级过滤器(1)的出气端分别与主控隔膜阀(3)和排空隔膜阀(8)的进气端相连通，两组所述主控隔膜阀(3)的出气端均与减压阀(4)的进气端相连通，所述减压阀(4)的出气端与精密过滤器(6)的进气端相连通，所述精密过滤器(6)的出气端与低压隔膜阀(7)的进气端相连通，两组所述排空隔膜阀(8)的出气端均与真空卡盘(9)相连通。
2.根据权利要求1所述的超高纯气体两进一出控制面板，其特征在于：所述初级过滤器(1)的进气端安装有螺纹接头。
3.根据权利要求1所述的超高纯气体两进一出控制面板，其特征在于：所述初级过滤器(1)与主控隔膜阀(3)和排空隔膜阀(8)之间安装有高压压力表(2)。
4.根据权利要求1所述的超高纯气体两进一出控制面板，其特征在于：所述减压阀(4)与精密过滤器(6)之间安装有低压压力表(5)。
【技术特征摘要】
1.超高纯气体两进一出控制面板，包括初级过滤器(1)、主控隔膜阀(3)、减压阀(4)、精密过滤器(6)、低压隔膜阀(7)、排空隔膜阀(8)和真空卡盘(9)，其特征在于：所述初级过滤器(1)的出气端分别与主控隔膜阀(3)和排空隔膜阀(8)的进气端相连通，两组所述主控隔膜阀(3)的出气端均与减压阀(4)的进气端相连通，所述减压阀(4)的出气端与精密过滤器(6)的进气端相连通，所述精密过滤器(6)的出气端与低压隔膜阀(7)的进气端相连通，两组所述排空隔膜阀(8)...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵英杰，
申请(专利权)人：上海洁安流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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