【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光罩机盒相关，具体为上机盒开盒机构。
技术介绍
1、在半导体行业中，光罩作为光蚀刻技术中重要的生产工具，在生产中需要从储存盒中转移到上机盒中，生产后经过清洗再转移回储存盒中，光罩在制作ic的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。
2、现有生产过程中光罩转移到上机盒中一般都由人工取放，效率较低，而且增大了工作人员的工作强度，为此，提出上机盒开盒机构。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供上机盒开盒机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：上机盒开盒机构，包括工位台，所述工位台的顶部放置有上机盒体，所述工位台的底部设有夹持组件，所述工位台通过所述夹持组件与所述上机盒体连接，所述工位台的顶部设有开盒组件，所述上机盒体的一侧通过转轴转动连接有上机盒盖，所述上机盒体的内部放置有光罩本体；
3、所述开盒组件包括固定座，所述固定座通过若干螺栓固定连接于所述工位台的顶部，所述固定座的一侧安装有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端固定连接有滑轮，所述滑轮远离所述旋转气缸的一端与所述上机盒盖的一侧紧密贴合；
4、所述夹持组件包括第一夹紧气缸和第二夹紧气缸。
5、作为优选，上述所述第一夹紧气缸固定安装于所述工位台的左部下表面，所述第二夹紧气缸固定安装于所述工位台的右部下表面，所述第一夹紧气缸与所述第二
6、作为优选，上述所述工位台的顶部固定连接有两个第一凸起和两个第二凸起，所述第一凸起与所述第二凸起相对的一侧分别开设有第一卡槽和第二卡槽，所述上机盒体的四角分别活动插入于两个所述第一卡槽的内部和两个所述第二卡槽的内部。
7、作为优选，上述所述第一夹紧气缸的活塞杆与所述第二夹紧气缸的活塞杆分别固定连接有第一连接板和第二连接板，所述第一连接板的顶部与所述第二连接板的顶部分别固定连接有第一压紧块和第二压紧块。
8、作为优选，上述所述第一压紧块的下表面与所述第二压紧块的下表面分别与所述上机盒体的顶部两侧贴合，所述第一压紧块的下表面与所述第二压紧块的下表面均设有斜口面。
9、作为优选，上述所述工位台的顶部两侧分别开设有第一通槽和第二通槽，所述第一连接板活动插入于所述第一通槽的内部，所述第二连接板活动插入于所述第二通槽的内部。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、本技术使用时，将上机盒体放置于工位台上，通过夹持组件对上机盒体自动定位夹持，防止上机盒盖转动的过程中，上机盒体上下窜动的情况出现；需要将光罩本体收纳时，旋转气缸通过滑轮带动上机盒盖绕转轴向上转动90-100度，上机盒体打开，货叉将光罩本体放入上机盒体的内部，旋转气缸的输出端通过滑轮带动上机盒体的上机盒盖绕转轴向下反转关闭，通过气缸之间相互配合，完成上机盒的开关，配合货叉实现光罩在上机盒中取放，提高工作效率，降低工作人员的工作强度，可对接上下游设备，实现自动化生产。
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1.上机盒开盒机构，包括工位台(1)，其特征在于：所述工位台(1)的顶部放置有上机盒体(6)，所述工位台(1)的底部设有夹持组件(8)，所述工位台(1)通过所述夹持组件(8)与所述上机盒体(6)连接，所述工位台(1)的顶部设有开盒组件(9)，所述上机盒体(6)的一侧通过转轴转动连接有上机盒盖(7)，所述上机盒体(6)的内部放置有光罩本体(10)；
2.根据权利要求1所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述第一夹紧气缸(81)固定安装于所述工位台(1)的左部下表面，所述第二夹紧气缸(82)固定安装于所述工位台(1)的右部下表面，所述第一夹紧气缸(81)与所述第二夹紧气缸(82)位于所述上机盒体(6)的两侧。
3.根据权利要求1所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述工位台(1)的顶部固定连接有两个第一凸起(2)和两个第二凸起(3)，所述第一凸起(2)与所述第二凸起(3)相对的一侧分别开设有第一卡槽(4)和第二卡槽(5)，所述上机盒体(6)的四角分别活动插入于两个所述第一卡槽(4)的内部和两个所述第二卡槽(5)的内部。
4.根据权利要求1所述的上机盒开
5.根据权利要求4所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述第一压紧块(84)的下表面与所述第二压紧块(86)的下表面分别与所述上机盒体(6)的顶部两侧贴合，所述第一压紧块(84)的下表面与所述第二压紧块(86)的下表面均设有斜口面(89)。
6.根据权利要求4所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述工位台(1)的顶部两侧分别开设有第一通槽(87)和第二通槽(88)，所述第一连接板(83)活动插入于所述第一通槽(87)的内部，所述第二连接板(85)活动插入于所述第二通槽(88)的内部。
...【技术特征摘要】
1.上机盒开盒机构，包括工位台(1)，其特征在于：所述工位台(1)的顶部放置有上机盒体(6)，所述工位台(1)的底部设有夹持组件(8)，所述工位台(1)通过所述夹持组件(8)与所述上机盒体(6)连接，所述工位台(1)的顶部设有开盒组件(9)，所述上机盒体(6)的一侧通过转轴转动连接有上机盒盖(7)，所述上机盒体(6)的内部放置有光罩本体(10)；
2.根据权利要求1所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述第一夹紧气缸(81)固定安装于所述工位台(1)的左部下表面，所述第二夹紧气缸(82)固定安装于所述工位台(1)的右部下表面，所述第一夹紧气缸(81)与所述第二夹紧气缸(82)位于所述上机盒体(6)的两侧。
3.根据权利要求1所述的上机盒开盒机构，其特征在于：所述工位台(1)的顶部固定连接有两个第一凸起(2)和两个第二凸起(3)，所述第一凸起(2)与所述第二凸起(3)相对的一侧分别开设有第一卡槽(4)和第二卡槽(5)，所述上机盒体(6)的四角分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：史延锋，史延库，李锐华，
申请(专利权)人：苏州盟萤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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