【技术实现步骤摘要】
本技术半导体领域耗材刀片的研磨加工,特别涉及一种便于更换的研磨盘。
技术介绍
1、在半导体研磨加工
,在用耗材刀片进行切割之前通常会先利用研磨盘对耗材刀片进行研磨。
2、而现有的一些研磨盘,例如申请号:cn202320176308.6,申请日:2023-01-13提出了一种研磨盘,研磨盘包括研磨盘主体和磨层;研磨盘主体具有一磨削面;磨层粘接在研磨盘主体的磨削面上,磨层用于打磨刀片上的金刚石。采用上述研磨盘不仅使得刀片上的结合剂被去除,而且刀片上的金刚石也被同步去除,从而使得刀片上的金刚石不易凸出结合剂,进而提升了刀片的光洁度,使刀片达到最佳使用状态。采用该研磨盘研磨的刀片加工出的产品,可提升产品的尺寸精度、表面平整度、双侧平行度等品质指标。
3、上述公开的专利虽然能够提升产品的尺寸精度、表面平整度、双侧平行度等品质指标,但是由于研磨主体和磨削面为一体化设置,而在当一些磨削面被磨损之后,为了避免研磨主体不会影响研磨质量,通常都是需要将整个研磨主体进行更换,然而在这样的使用情况下,大大的降低了对研磨主体的使用寿命。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种便于更换的研磨盘,能够根据实际的情况,只对一些被磨损的磨削面进行更换,大大的延长了研磨主体的使用寿命,同时也便于使用者的更换。
2、为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案:
3、一种便于更换的研磨盘,包括,
4、研磨盘主体;
5、所述研磨盘主体上开设
6、所述安装槽内固定设置有限位块;
7、所述限位块上滑动套设有研磨块,且所述研磨块延伸至所述安装槽内;
8、所述限位块的两侧分别开设有与所述安装槽相连通的导向槽;
9、所述限位块与所述安装槽相接触的两侧分别开设有限位槽,所述限位槽与所述导向槽呈十字交叉设置;
10、所述研磨块的两侧分别固定设置有滑块,所述滑块滑动嵌设于所述导向槽内;
11、所述安装槽内设置有限位件,所述限位件的一端抵接于所述安装槽的一侧壁上,另一端抵接于所述限位块的一侧壁上。
12、根据一些实施例,所述限位块呈环形结构。
13、根据一些实施例,所述限位块的直径与所述研磨块的直径相一致,所述安装槽的直径大于所述限位块和所述研磨块的直径。
14、根据一些实施例,所述限位件为弹簧。
15、根据一些实施例,所述研磨盘主体上环形开设有多个第一网格槽,所述研磨盘主体上沿直径方向开设有多个第二网格槽。
16、根据一些实施例,所述研磨盘主体的中心端处开设有进料口。
17、有益效果:
18、1、通过在限位块上分别开设有导向槽和限位槽,使得在导向槽的作用下,研磨块可以滑动地套接在限位块上,且在限位槽的作用下,研磨块能够可拆卸地安装在研磨盘主体上,以达到对研磨块便于更换的效果,同时也大大的延长了研磨盘主体的使用寿命。
19、2、通过在安装槽内设置有限位件,使得在限位件的作用下,当滑块沿其导向槽的轨迹,并转动进入到限位槽内之后,限位件能够将滑块自动的完全限制在限位槽内,保证了研磨块与研磨盘主体之间的连接,同时也能够将研磨块固定安装在研磨盘主体上。
20、技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
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1.一种便于更换的研磨盘,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述限位块(12)呈环形结构。
3.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述限位块(12)的直径与所述研磨块(2)的直径相一致,所述安装槽(11)的直径大于所述限位块(12)和所述研磨块(2)的直径。
4.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述限位件(3)为弹簧。
5.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述研磨盘主体(1)上环形开设有多个第一网格槽(15),所述研磨盘主体(1)上沿直径方向开设有多个第二网格槽(16)。
6.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述研磨盘主体(1)的中心端处开设有进料口(17)。
【技术特征摘要】
1.一种便于更换的研磨盘,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述限位块(12)呈环形结构。
3.根据权利要求1所述的一种便于更换的研磨盘,其特征在于:所述限位块(12)的直径与所述研磨块(2)的直径相一致,所述安装槽(11)的直径大于所述限位块(12)和所述研磨块(2)的直径。
4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:夏健生,刘玉平,
申请(专利权)人:重庆顺启新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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