【技术实现步骤摘要】
本文描述的主题的实施例大体上涉及双质量块加速度计装置和用于此类装置的模拟前端。
技术介绍
1、加速度计装置应用于广泛多种应用和系统。具体地，双质量块加速度计得到广泛应用。因此，需要具有高灵敏度的双质量块加速度计。
技术实现思路
1、在本公开的一个方面中，一种加速度计装置的实施例可以包括基板和耦合到所述基板的第一检验质量块，所述第一检验质量块包括第一可移动电极，所述第一可移动电极可以电耦合到具有第一电势的第一固定电极并且可以电耦合到具有第二电势的第二固定电极。屏蔽结构可以耦合到所述基板并且邻近所述第一检验质量块形成，其中所述屏蔽结构可以电耦合到固定接地电势。根据实施例，第二检验质量块可以耦合到所述基板。所述第二检验质量块可以包括第二可移动电极，所述第二可移动电极电耦合到具有第三电势的第三固定电极并且电耦合到具有第四电势的第四固定电极，其中所述第二检验质量块电耦合到所述固定接地电势。
2、根据实施例，电荷泵电路可以电耦合到输入电压并且电耦合到所述第一固定电极和所述第二固定电极，并且可以被配置成产生反相电压。
3、在实施例中，所述电荷泵电路可以被配置成产生具有与所述输入电压相反的极性的反相电压。
4、根据实施例，所述第一固定电极和所述第二固定电极可以通过电耦合到所述电荷泵电路的驱动器电路电耦合到所述电荷泵电路。
5、在实施例中，所述驱动器电路可以被配置成将所述第一电势和所述第二电势从所述第一电势的值从接地电势改变为所述第一固定电极处的第一激
6、根据实施例，所述驱动器电路可以被配置成将所述第一电势和所述第二电势的值维持在接地电势。
7、在实施例中，所述第一激励电压可以具有与所述第二激励电压的极性相反的极性。
8、根据实施例，所述第一激励电压的幅度与所述第二激励电压的幅度之间的差的幅度可以小于所述第一激励电压的所述幅度的百分之二十。
9、实施例可以包括具有第一输入和第二输入的电荷-电压放大器，其中所述第一输入处于第一输入电势并且电耦合到所述第一检验质量块的所述第一可移动电极，并且其中所述第二输入处于第二输入电势并且电耦合到所述第二检验质量块的所述第二可移动电极。
10、在实施例中，所述电荷-电压放大器可以耦合到电平移位电路。
11、根据实施例，所述电平移位电路可以将所述第一输入处的所述第一输入电势和所述第二输入处的所述第二输入电势移位到所述第一可移动电极和所述第二可移动电极处的接地电势。
12、在实施例中，所述电平移位电路可以包括第一电容器，所述第一电容器将所述电荷-电压放大器的所述第一输入电耦合到所述第一可移动电极。
13、在实施例中，所述电平移位电路可以包括开关电容器电路，其中所述开关电容器电路可以被配置成在第一状态下将所述接地电势施加到所述第一可移动电极和所述第二可移动电极，并且可以另外被配置成在第二状态下将所述第一可移动电极电耦合到所述电荷-电压放大器的所述第一输入并将所述第二可移动电极电耦合到所述电荷-电压放大器的所述第二输入。
14、在本公开的另一方面中，实施例可以包括设备，所述设备包括电容式换能器。根据实施例，所述电容式换能器可以包括基板；耦合到所述基板的第一检验质量块，所述第一检验质量块可以包括电耦合到第一固定电极并且电耦合到第二固定电极的第一可移动电极；耦合到所述基板的第二检验质量块，所述第二检验质量块可以包括电耦合到第三固定电极并且电耦合到第四固定电极的第二可移动电极；以及耦合到所述基板、所述第一检验质量块和所述第二检验质量块的屏蔽结构，其中所述屏蔽结构可以电耦合到接地电势。实施例可以包括集成电路，所述集成电路耦合到所述第一检验质量块、所述第二检验质量块和所述屏蔽结构。根据实施例，所述集成电路可以包括驱动器电路，所述驱动器电路电耦合到所述第一固定电极、所述第二固定电极、所述第三固定电极和所述第四固定电极；以及耦合到所述驱动器电路的电压源，所述电压源具有参考电压值，其中所述电压源可以被配置成将所述参考电压值放大到最大电压值。在实施例中，电荷泵可以电耦合到所述驱动器电路和所述电压源，其中所述电荷泵可以被配置成生成电压。所述电压优选地在极性上与所述最大电压值的极性相反。实施例可以包括电荷-电压放大器，所述电荷-电压放大器具有第一输入和第二输入，其中所述第一输入处于第一输入电势并且电耦合到所述第一检验质量块的所述第一可移动电极，并且其中所述第二输入处于第二输入电势并且电耦合到所述第二检验质量块的所述第二可移动电极。
15、根据实施例，所述电荷-电压放大器可以耦合到电平移位电路，其中所述电平移位电路将所述第一输入处的所述第一输入电势和所述第二输入处的所述第二输入电势移位到所述参考电压值。
16、根据实施例，所述电压源可以包括电压调节器电路，所述电压调节器电路具有电耦合到参考电压的输入和产生最大电压值的电压的输出，其中所述最大电压值与两倍所述参考电压之间的差的幅度可以小于所述参考电压或所述最大电压值的所述幅度的百分之二十。
17、实施例可以包括封装，所述封装具有凸缘部分和一个或多个接合焊盘，其中所述电容式换能器和所述集成电路耦合到所述凸缘部分。
18、在本公开的另一方面中，实施例可以包括一种方法，所述方法包括将屏蔽结构耦合到基板、第一检验质量块和第二检验质量块，其中所述第一检验质量块包括电耦合到第一固定电极和第二固定电极的第一可移动电极，并且其中所述第二检验质量块包括电耦合到第三固定电极和第四固定电极的第二可移动电极。在实施例中，所述方法可以另外包括将屏蔽结构耦合到所述基板、所述第一检验质量块和所述第二检验质量块。根据实施例，所述方法可以包括将所述屏蔽结构电耦合到接地电势。在实施例中，所述方法可以包括将驱动器电路电耦合到所述第一固定电极、所述第二固定电极、所述第三固定电极和所述第四固定电极。根据实施例，所述方法可以包括将电压源电耦合到所述驱动器电路，所述电压源在所述电压源的输入处具有参考电压，其中所述电压源可以被配置成将所述参考电压放大到最大调节电压。在实施例中，所述方法可以包括将驱动器电路电耦合到所述第一固定电极、所述第二固定电极、所述第三固定电极和所述第四固定电极，其中所述驱动器电路可以被配置成在第一状态下维持所述第一固定电极、所述第二固定电极、所述第三固定电极和所述第四固定电极处的接地电势，并且可以被配置成在第二状态期间在所述最大调节电压下在所述第一固定电极和所述第三固定电极处施加第一激励电压，并且在所述第二固定电极和所述第四固定电极处施加第二激励电压，所述第二激励电压具有与所述第一激励电压的极性相反的值。在实施例中，所述方法可以包括将电荷泵电耦合到所述驱动器电路，其中所述电荷泵可以被配置成产生极性与所述最大调节电压相反的电压，其中所述电压的幅度与所述最大调节电压的幅度的差小于所述电压的所述幅度的百分之二十。根据实施例，所述方法可以包括将具有第一输入和第二输入的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种加速度计装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加速度计装置，其特征在于，另外包括电荷泵电路，所述电荷泵电路耦合到输入电压并且电耦合到所述第一固定电极和所述第二固定电极，并且被配置成产生反相电压。
3.根据权利要求2所述的加速度计装置，其特征在于，所述电荷泵电路被配置成产生具有与所述输入电压相反的极性的反相电压。
4.根据权利要求2或3所述的加速度计装置，其特征在于，所述第一固定电极和所述第二固定电极通过电耦合到所述电荷泵电路的驱动器电路电耦合到所述电荷泵电路。
5.根据权利要求4所述的加速度计装置，其特征在于，所述驱动器电路被配置成将所述第一电势和所述第二电势从所述第一电势的值从接地电势改变为所述第一固定电极处的第一激励电压和所述第二固定电极处的第二激励电压。
6.根据权利要求4所述的加速度计装置，其特征在于，所述驱动器电路被配置成将所述第一电势和所述第二电势维持在接地电势。
7.根据权利要求5所述的加速度计装置，其特征在于，所述第一激励电压具有与所述第二激励电压的极性相反的极性。
...【技术特征摘要】
1.一种加速度计装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加速度计装置，其特征在于，另外包括电荷泵电路，所述电荷泵电路耦合到输入电压并且电耦合到所述第一固定电极和所述第二固定电极，并且被配置成产生反相电压。
3.根据权利要求2所述的加速度计装置，其特征在于，所述电荷泵电路被配置成产生具有与所述输入电压相反的极性的反相电压。
4.根据权利要求2或3所述的加速度计装置，其特征在于，所述第一固定电极和所述第二固定电极通过电耦合到所述电荷泵电路的驱动器电路电耦合到所述电荷泵电路。
5.根据权利要求4所述的加速度计装置，其特征在于，所述驱动器电路被配置成将所述第一电势和所述第二电势从所述第一电势的值从接地电势改变为所述第一固定电极处的第一激励电压和所述第二固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：热罗姆·罗曼·易雅尔贝，
申请(专利权)人：恩智浦美国有限公司，
类型：发明
国别省市：
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