【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子器件生产设备的配件防护领域，尤其涉及一种能够快速去除石墨配件表面疏松沉积物的石墨配件打磨装置及打磨系统。
技术介绍
1、碳化硅外延生长是在特定的工艺条件(例如温度、压力等)下，将晶圆(基底)暴露在一种或多种不同的前驱物下，气相物质在衬底表面发生化学反应或/及化学分解来产生沉积的固态薄膜。在沉积过程中，气相中的反应物被输运到衬底表面并被吸附在衬底表面上，在衬底表面发生化学反应，一方面形成所需要的薄膜，另一方面反应产物通过解吸附离开衬底表面，通过尾气系统排出反应腔室。
2、碳化硅外延生长的整个过程均在反应腔室内完成，反应腔室由石英配件、石墨配件等组成，而石墨配件为主要且核心的组成部分。衬底在外延生长的同时，石墨配件表面亦会同步生长碳化硅外延层。随着晶片的批量性外延生长，石墨配件表面的沉积物质会逐渐沉积变厚，因气流、温场、压力等因素的影响，石墨配件表面的沉积物会呈现不规则的曲面效果，从而造成石墨配件表面的粗糙度、平坦度较差，石墨配件表面的沉积物粘着力则同步变差，容易造成downfall的异常。
3、为解决上述问题，现有的技术方案是：在晶片批量性外延生长到设定的沉积厚度后，对反应腔室内的石英及石墨配件进行周期性的清洁维护。对于石墨配件的清洁维护，现有的技术方案为人工清洁，采用碳化硅物质加工成的打磨工具对石墨配件表面的疏松层沉积物进行清除，以解决downfall的隐患。
4、现有清洁方案存在以下缺点：一、人工打磨清除疏松层沉积物的效率低、作业标准化程度低；二、石墨配件表面的沉积物质呈现
5、因此，有必要提供一种能够提升打磨效率、打磨质量的石墨配件打磨装置，以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种能够提升打磨效率、打磨质量的石墨配件打磨装置。
2、本专利技术的另一目的在于提供一种能够提升打磨效率、打磨质量的石墨配件打磨系统。
3、为实现上述目的，本专利技术的技术方案为：提供一种石墨配件打磨装置，其包括安装基座、竖向打磨机构及横向打磨机构；其中，所述竖向打磨机构安装于所述安装基座的一侧，所述竖向打磨机构包括第一伸缩机构及至少一组第一打磨头，所述第一打磨头可摆动地安装于所述第一伸缩机构的下端，所述第一打磨头可绕至少一个方向自适应摆动，所述第一伸缩机构用于驱动所述第一打磨头沿至少一个方向伸缩；所述横向打磨机构安装于所述安装基座的另一侧，所述横向打磨机构包括三轴摆动机构、第二伸缩机构及第二打磨头，所述三轴摆动机构连接于所述第二打磨头以使所述第二打磨头可分别绕三个轴向自适应摆动，所述第二伸缩机构连接于所述第二打磨头并用于驱动所述第二打磨头沿至少一个方向伸缩，并且所述第二打磨头的凸伸方向与所述第一打磨头的凸伸方向相垂直。
4、较佳地，所述第一打磨头包括第一夹持座及第一打磨片，所述第一夹持座枢接于所述第一伸缩机构的下端并可绕x轴枢转，所述第一打磨片安装于所述第一夹持座并沿z轴凸伸；所述第二打磨头包括第二夹持座及第二打磨片，所述第二夹持座枢接于所述三轴摆动机构以实现分别绕三个轴向的自适应摆动，所述第二打磨片安装于所述第二夹持座并沿x轴凸伸。
5、较佳地，所述竖向打磨机构还包括摆动组件，各所述摆动组件相间隔地安装于所述第一伸缩机构的下端，每一所述摆动组件枢接一所述第一打磨头，并使各所述第一打磨头相平行设置，所述第一伸缩机构通过所述摆动组件驱动各所述第一打磨头同步伸缩，且各所述第一打磨头均能自适应摆动。
6、较佳地，所述摆动组件包括安装座、连接轴及复位件，所述安装座连接于所述第一伸缩机构的下端，所述枢接轴安装于所述安装座，所述第一打磨头枢接于所述枢接轴，所述复位件设于所述第一打磨头与所述安装座之间，所述第一打磨头绕所述连接轴枢转时可作用于所述复位件，所述复位件用于为所述第一打磨头提供回复力。
7、较佳地，所述第一伸缩机构包括驱动件、第一导轨、第一滑块以及连接板组，所述第一导轨、所述第一滑块滑动连接且其中一者固定于所述安装基座并沿z轴延伸，所述第一导轨、所述第一滑块中的另一者固定连接所述连接板组，且所述连接板组的下端安装所述第一打磨头，所述驱动件固定于所述安装基座并连接于所述连接板组，所述驱动件驱动所述连接板组沿z轴伸缩以带动各所述第一打磨头沿z轴同步移动。
8、较佳地，所述三轴摆动机构包括第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件，所述第三连接组件安装于所述安装基座并设有沿z轴延伸的第三转轴，所述第三转轴与所述第二连接组件连接以带动其绕所述第三转轴摆动；所述第二连接组件设有沿y轴延伸的第二转轴，所述第二连接组件与所述第一连接组件连接以带动其绕所述第二转轴摆动；所述第一连接组件设有沿x轴延伸的第一转轴，所述第二打磨头枢接于所述第一转轴以绕所述第一转轴摆动；在所述第二打磨头抵接石墨配件表面进行打磨的过程中，通过所述石墨配件表面的凹凸、倾斜结构使所述第二打磨头自适应绕x轴、y轴、z轴摆动。
9、较佳地，所述第一连接组件还包括第一连接座及第一弹性件，所述第一转轴设于所述第一连接座并沿x轴延伸，所述第二打磨头枢接于所述第一转轴，所述第一弹性件抵接于所述第二打磨头以为其枢转提供回复力；所述第二连接组件还包括第二连接座及第二弹性件，所述第二连接座与所述第一连接座固定连接，所述第二转轴设于所述第二连接座并沿y轴延伸，所述第二连接座通过所述第二转轴枢接，所述第二弹性件抵接于所述第二连接座以为其摆动提供回复力；所述第三连接组件还包括第三连接座及第三弹性件，所述第三连接座固定于所述安装基座，所述第三转轴枢接于所述第三连接座并沿z轴延伸，所述第三弹性件抵接于所述安装基座、所述第二连接组件之间，以对所述第二连接组件的摆动提供回复力。
10、较佳地，所述第二伸缩机构包括第二导轨、第二滑块及固定座，所述第二导轨、所述第二滑块滑动连接且两者分别连接于所述固定座、所述第二连接组件，所述固定座还连接于所述第三连接组件，且所述第二导轨、所述第二滑块沿y轴延伸，当所述第二打磨头抵接石墨配件表面时，可自适应沿y轴伸缩移动。
11、较佳地，所述横向打磨机构还包括高度检测组件，所述高度检测组件包括传感器及导向件，所述导向件安装于所述第二连接组件，所述传感器可移动地连接于所述导向件并抵接于所述第二连接组件，所述第二连接组件摆动时可推动所述传感器移动以检测石墨配件表面的高度。
12、对应地，本专利技术还提供一种石墨配件打磨系统，其包括横移模组、升降模组、旋转模组以及如上所述的石墨配件打磨装置；其中，所述旋转模组连接于所述安装基座，并使所述第一打磨头、所述第二打磨头的凸伸方向与竖直方本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种石墨配件打磨装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述第一打磨头包括第一夹持座及第一打磨片，所述第一夹持座枢接于所述第一伸缩机构的下端并可绕X轴枢转，所述第一打磨片安装于所述第一夹持座并沿Z轴凸伸；
3.如权利要求1或2所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述竖向打磨机构还包括摆动组件，各所述摆动组件相间隔地安装于所述第一伸缩机构的下端，每一所述摆动组件枢接一所述第一打磨头，并使各所述第一打磨头相平行设置，所述第一伸缩机构通过所述摆动组件驱动各所述第一打磨头同步伸缩，且各所述第一打磨头均能自适应摆动。
4.如权利要求3所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述摆动组件包括安装座、连接轴及复位件，所述安装座连接于所述第一伸缩机构的下端，所述枢接轴安装于所述安装座，所述第一打磨头枢接于所述枢接轴，所述复位件设于所述第一打磨头与所述安装座之间，所述第一打磨头绕所述连接轴枢转时可作用于所述复位件，所述复位件用于为所述第一打磨头提供回复力。
5.如权利要求1或2所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，
6.如权利要求1或2所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述三轴摆动机构包括第一连接组件、第二连接组件及第三连接组件，所述第三连接组件安装于所述安装基座并设有沿Z轴延伸的第三转轴，所述第三转轴与所述第二连接组件连接以带动其绕所述第三转轴摆动；
7.如权利要求6所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述第一连接组件还包括第一连接座及第一弹性件，所述第一转轴设于所述第一连接座并沿X轴延伸，所述第二打磨头枢接于所述第一转轴，所述第一弹性件抵接于所述第二打磨头以为其枢转提供回复力；
8.如权利要求6所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述第二伸缩机构包括第二导轨、第二滑块及固定座，所述第二导轨、所述第二滑块滑动连接且两者分别连接于所述固定座、所述第二连接组件，所述固定座还连接于所述第三连接组件，且所述第二导轨、所述第二滑块沿Y轴延伸，当所述第二打磨头抵接石墨配件表面时，可自适应沿Y轴伸缩移动。
9.如权利要求6所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述横向打磨机构还包括高度检测组件，所述高度检测组件包括传感器及导向件，所述导向件安装于所述第二连接组件，所述传感器可移动地连接于所述导向件并抵接于所述第二连接组件，所述第二连接组件摆动时可推动所述传感器移动以检测石墨配件表面的高度。
10.一种石墨配件打磨系统，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种石墨配件打磨装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述第一打磨头包括第一夹持座及第一打磨片，所述第一夹持座枢接于所述第一伸缩机构的下端并可绕x轴枢转，所述第一打磨片安装于所述第一夹持座并沿z轴凸伸；
3.如权利要求1或2所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述竖向打磨机构还包括摆动组件，各所述摆动组件相间隔地安装于所述第一伸缩机构的下端，每一所述摆动组件枢接一所述第一打磨头，并使各所述第一打磨头相平行设置，所述第一伸缩机构通过所述摆动组件驱动各所述第一打磨头同步伸缩，且各所述第一打磨头均能自适应摆动。
4.如权利要求3所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述摆动组件包括安装座、连接轴及复位件，所述安装座连接于所述第一伸缩机构的下端，所述枢接轴安装于所述安装座，所述第一打磨头枢接于所述枢接轴，所述复位件设于所述第一打磨头与所述安装座之间，所述第一打磨头绕所述连接轴枢转时可作用于所述复位件，所述复位件用于为所述第一打磨头提供回复力。
5.如权利要求1或2所述的石墨配件打磨装置，其特征在于，所述第一伸缩机构包括驱动件、第一导轨、第一滑块以及连接板组，所述第一导轨、所述第一滑块滑动连接且其中一者固定于所述安装基座并沿z轴延伸，所述第一导轨、所述第一滑块中的另一者固定连接所述连接板组，且所述连接板组的下端安装所述第一打磨头，所述驱动件固定于所述安装基座并连接于所述连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲍勇年，韩景瑞，丁雄傑，李锡光，张铭，
申请(专利权)人：广东天域半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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