本申请提供了一种晶圆划片机，其包括底座、晶圆承载机构及晶圆划片机构，底座上设有安装凹槽，安装凹槽两侧的支持表面上设有第一导轨和第二导轨。晶圆承载机构包括第一平移驱动模组、旋转驱动模组、移动平台及晶圆承载台，第一平移驱动模组设在安装凹槽内，移动平台滑动连接在第一导轨和第二导轨上。旋转驱动模组位于移动平台的安装孔内，晶圆承载台安装在旋转驱动模组的驱动端上。第一平移驱动模组和旋转驱动模组用于驱动晶圆承载台平移及旋转，晶圆划片机构用于对晶圆承载台上的晶圆实施划片。由于旋转驱动模组安装在安装凹槽内，从而缩减了晶圆承载台和两侧支撑表面的高度差，从而降低晶圆承载台的表面倾斜度，提升晶圆划片机的划片精度。
2、为了实现对晶圆的切割，晶圆承载台会被滑动安装于角度调节组件上，角度调节组件安装于横移模组上，为了保证晶圆承载台的平稳，角度调节组件的两侧需要滑动搭接于横移模组两侧的导轨上。
3、由于导轨与晶圆承载台之间安装有角度调节组件，从而导致两侧导轨与晶圆承载台上表面之间的高度差比较大，在实际加工组装时，两侧的导轨通常是存在允许的高度偏差的，但这个高度偏差会因导轨与晶圆承载台上表面之间的高度差较大，而导致晶圆承载台表面的倾斜度被放大，进而影响晶圆切割的精准度。
3、底座包括安装部、第一侧支撑部和第二侧支撑部，其中，安装部的中间沿第一水平方向设置有开口朝上的安装凹槽，安装部的两个支撑表面分别位于安装凹槽相对的两侧，沿第一水平方向延伸的第一导轨和第二导轨分别安装于安装部的两个支撑表面上；第一侧支撑部和第二侧支撑部沿第二水平方向对称地设置在安装部的两侧，第二水平方向垂直于第一水平方向；
>6、移动平台的一端滑动连接在第一导轨上，移动平台的另一端滑动连接在第二导轨上，移动平台的底部与第一平移驱动模组的驱动端连接，移动平台内形成有自上而下贯穿移动平台的安装孔；7、旋转驱动模组安装在第一平移驱动模组的驱动端上并位于安装孔内，旋转驱动模组的驱动端向上伸出安装孔；
8、晶圆承载台水平安装在旋转驱动模组的驱动端上；
9、第一平移驱动模组用于驱动移动平台及晶圆承载台沿第一水平方向同步平移；旋转驱动模组用于驱动晶圆承载台在水平面内旋转；
10、晶圆划片机构支撑在第一侧支撑部和第二侧支撑部上，划片机构用于对承载在晶圆承载台上的晶圆实施划片。
11、本申请提供的晶圆划片机，底座的安装部中设置有开口朝上的安装凹槽，晶圆承载机构的旋转驱动模组安装在安装凹槽内，从而缩减了晶圆承载台和安装部两侧支撑表面之间的高度差，当安装部的两个支撑表面存在允许的高度误差时，由于晶圆承载台和安装部两侧支撑表面之间的高度差变小，从而降低了两个支撑表面的高度误差对晶圆承载台表面的倾斜度的影响，进而可以提升划片精度。另外，由于晶圆承载台的误差减小，然后配合移动平台滑动安装在安装部两个支撑表面上的设计，使本申请提供的晶圆划片机能够兼容更大尺寸的晶圆规格，比如12英寸、14英寸、16英寸甚至20英寸。
12、在一些实施例中第一平移驱动模组包括第一安装板、第一电机、第一丝杆及第一丝杆螺母，其中，第一丝杆连接在第一电机的驱动端上并沿第一水平方向延伸，第一丝杆螺母螺接在第一丝杠上并固定在第一安装板的底部，第一电机驱动第一丝杆旋转时带动第一丝杆螺母及第一安装板沿第一丝杆平移，移动平台的底部及晶圆承载台的底部均与第一安装板的顶部固定连接。
13、提供了一种结构简单、驱动稳定的第一平移驱动模组，其能驱动移动平台及晶圆承载台沿第一水平方向稳定平移。
14、在一些实施例中，第一安装板的第一端设置有第一立柱，第一安装板的第二端设置有第二立柱，第一立柱和第二立柱之间形成避让旋转驱动模组的避让空间；移动平台的底部固定安装在第一立柱和第二立柱的上端。
15、使得移动平台与安装板之间形成避让旋转驱动模组的避让空间，最终确定旋转驱动模组的底部安装在第一安装板上。
16、在一些实施例中，旋转驱动模组包括旋转电机，旋转电机的底部沿周向设置有多个第一安装孔；第一安装板上设置有多个与第一安装孔一一对应的第二安装孔；旋转电机经贯穿第一安装孔及对应的第二安装孔的第一螺栓固定在第一安装板上。
17、确保了旋转驱动模组与第一安装板之间的连接强度，且方便了对旋转驱动模组的拆装维护。
18、在一些实施例中，移动平台上设有若干沿周向排布在晶圆承载台的周侧的压紧组件，压紧组件用于压紧晶圆承载台；压紧组件包括压紧驱动件及压紧块，压紧驱动件安装在移动平台上，压紧块连接在压紧驱动件的驱动端上，压紧驱动件用于驱动压紧块朝向或远离晶圆承载台移动，以压紧或释放晶圆承载台。
19、完成对晶圆承载台的角度调整后，压紧组件可实现对晶圆承载台的压紧定位，防止晶圆承载台在划片过程中意外旋转。
20、在一些实施例中，晶圆划片机构包括第一支撑座、第二支撑座、安装横梁及划片部，其中：第一支撑座和第二支撑座分别设置在第一侧支撑部和第二侧支撑部，第一支撑座和第二支撑座之间形成避让晶圆承载机构的避让空间；安装横梁的一端固定安装在第一支撑座上，安装横梁的第二端固定安装在第二支撑座上，安装横梁的上表面设置有沿第二水平方向延伸的第三导轨和第四导轨；划片部包括安装座、第二平移驱动模组、升降驱动模组及划片刀组件，其中：安装座滑动安装在第三导轨和第四导轨上，并与设置在安装横梁上的第二平移驱动模组的驱动端连接，第二平移驱动模组用于驱动安装座沿第三导轨和第四导轨滑动；升降驱动模组安装在安装座上，划片刀组件连接在升降驱动模组的驱动端上，升降驱动模组用于驱动划片刀组件升降。
21、支撑划片刀组件的第三导轨和第四导轨安装在安装横梁的上表面上，如此，第三导轨和第四导轨所承受的负荷相当，因此，第三导轨和第四导轨受压后所产生的变形基本一致，从而使得划片刀组件的刀片的划片高度及划片角度受到的影响大幅度降低。此外，由于第三导轨和第四导轨安装在同一水平面上，因此第三导轨和第四导轨之间不会产生横向上的偏差，从而也不会放大刀片的竖向角度误差，而且能减小第一导轨和第二导轨的安装平面与下方晶圆承载平台之间的距离，减小了第一导轨和第二导轨的安装平面的加工误差给划片刀组件带来的误差。
22、在一些实施例中，第一支撑座和第二支撑座的结构相同，第一支撑座上开设有矩形的安装槽，安装槽的底部设置沿竖向延伸至第一支撑座的下表面的第三安装孔，底座上设置有与第三安装孔对应的第四安装孔，第一支撑座经贯穿第三安装孔和第四安装孔的第二螺栓固定在底座上。
23、方便了第一支撑座、第二支撑座的拆装，且确保第一支撑座、第二支撑座与底座之间的连接强度，而且矩形安装槽的设计便于释放螺栓在安装时产生的机械应力，提高了第一支撑座和第二支撑座的抗形变能力。
24、在一些实施例中，第二平移驱动模组位于第三导轨和第四导轨之间，第二平移驱动模组包括第二电机、第二丝杆及第二丝杆螺母，其中，第二丝杆连接在第二电机的驱动端上并沿第二水平方向延伸，第二丝杆螺母螺接在第二丝杠上并固定在安装座的底部，第二电机驱动第二丝杆旋转时带动第二丝本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆划片机，其特征在于，所述晶圆划片机包括底座、晶圆承载机构及晶圆划片机构，其中：
2.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一平移驱动模组包括第一安装板、第一电机、第一丝杆及第一丝杆螺母，其中，所述第一丝杆连接在所述第一电机的驱动端上并沿所述第一水平方向延伸，所述第一丝杆螺母螺接在所述第一丝杠上并固定在所述第一安装板的底部，所述第一电机驱动所述第一丝杆旋转时带动所述第一丝杆螺母及所述第一安装板沿所述第一丝杆平移，所述移动平台的底部及所述晶圆承载台的底部均与所述第一安装板的顶部固定连接。
3.如权利要求2所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一安装板的第一端设置有第一立柱，所述第一安装板的第二端设置有第二立柱，所述第一立柱和所述第二立柱之间形成避让所述旋转驱动模组的避让空间；所述移动平台的底部固定安装在所述第一立柱和所述第二立柱的上端。
4.如权利要求2所述的晶圆划片机，其特征在于，所述旋转驱动模组包括旋转电机，所述旋转电机的底部沿周向设置有多个第一安装孔；
5.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述移动平台上设有若干沿周向排布在所述晶圆承载台的周侧的压紧组件，所述压紧组件用于压紧所述晶圆承载台；
6.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述晶圆划片机构包括第一支撑座、第二支撑座、安装横梁及划片部，其中：
7.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一支撑座和所述第二支撑座的结构相同，所述第一支撑座上开设有矩形的安装槽，所述安装槽的底部设置沿竖向延伸至所述第一支撑座的下表面的第三安装孔，所述底座上设置有与所述第三安装孔对应的第四安装孔，所述第一支撑座经贯穿所述第三安装孔和所述第四安装孔的第二螺栓固定在所述底座上。
8.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第二平移驱动模组位于所述第三导轨和所述第四导轨之间，所述第二平移驱动模组包括第二电机、第二丝杆及第二丝杆螺母，其中，所述第二丝杆连接在所述第二电机的驱动端上并沿所述第二水平方向延伸，所述第二丝杆螺母螺接在所述第二丝杠上并固定在所述安装座的底部，所述第二电机驱动所述第二丝杆旋转时带动所述第二丝杆螺母及所述安装座沿所述第二丝杆平移。
9.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述升降驱动模组包括升降驱动件及连接板，其中：
10.如权利要求9所述的晶圆划片机，其特征在于，所述连接板包括上连接板和下连接板，所述上连接板滑动安装在所述安装座上并与所述升降驱动件的驱动端连接，所述下连接板的上端与所述上连接板固定连接，所述下连接板的下端与所述划片刀组件的固定端固定连接。
11.如权利要求10所述的晶圆划片机，其特征在于，所述下连接板的材质与所述上连接板的材质不同，所述下连接板的热膨胀系数低于所述上连接板的热膨胀系数。
12.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述划片刀组件位于所述安装座的第一侧，所述安装座与所述第一侧相对的第二侧设置有配重机构。
13.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述划片部设置为两组，两组所述划片部的所述划片刀组件对称设置。
14.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一支撑座、所述第二支撑座及所述安装横梁均为一体成型的长方体铸件。
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【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机，其特征在于，所述晶圆划片机包括底座、晶圆承载机构及晶圆划片机构，其中：
2.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一平移驱动模组包括第一安装板、第一电机、第一丝杆及第一丝杆螺母，其中，所述第一丝杆连接在所述第一电机的驱动端上并沿所述第一水平方向延伸，所述第一丝杆螺母螺接在所述第一丝杠上并固定在所述第一安装板的底部，所述第一电机驱动所述第一丝杆旋转时带动所述第一丝杆螺母及所述第一安装板沿所述第一丝杆平移，所述移动平台的底部及所述晶圆承载台的底部均与所述第一安装板的顶部固定连接。
3.如权利要求2所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一安装板的第一端设置有第一立柱，所述第一安装板的第二端设置有第二立柱，所述第一立柱和所述第二立柱之间形成避让所述旋转驱动模组的避让空间；所述移动平台的底部固定安装在所述第一立柱和所述第二立柱的上端。
4.如权利要求2所述的晶圆划片机，其特征在于，所述旋转驱动模组包括旋转电机，所述旋转电机的底部沿周向设置有多个第一安装孔；
5.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述移动平台上设有若干沿周向排布在所述晶圆承载台的周侧的压紧组件，所述压紧组件用于压紧所述晶圆承载台；
6.如权利要求1所述的晶圆划片机，其特征在于，所述晶圆划片机构包括第一支撑座、第二支撑座、安装横梁及划片部，其中：
7.如权利要求6所述的晶圆划片机，其特征在于，所述第一支撑座和所述第二支撑座的结构相同，所述第一支撑座上开设有矩形的安装槽，所述安装槽的底部设置沿竖向延伸至所述第一支撑座的下表面的第三安装孔，所述底座上设置有与...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡立朵科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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