System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() AlGaInP系外延层及其生长方法、发光芯片技术_技高网

AlGaInP系外延层及其生长方法、发光芯片技术

技术编号:40952629 阅读:16 留言:0更新日期:2024-04-18 20:28
本申请涉及一种AlGaInP系外延层及其生长方法、发光芯片,在P型限制层远离有源层的一侧生长了P型欧姆接触层与P型AlGaInP出光层,利用P型AlGaInP出光层代替P型GaP窗口层实现了出光以及电流扩展的作用,同时,利用P型欧姆接触层代替了P型GaP窗口层实现了与P电极的欧姆接触,这样就可以不用再在P型限制层上生长P型GaP窗口层以及P型过渡层,有利于降低AlGaInP系外延层的生长难度,提升AlGaInP系外延层的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及led,尤其涉及一种algainp系外延层及其生长方法、发光芯片。


技术介绍

1、algainp四元系红光led芯片是近年来广泛发展的一种常见可见光led,algainp四元系红光led具有电流承受能力强、发光效率高以及耐高温等诸多优点,在照明、显示、指示灯中的应用具有不可替代的地位,并且被广泛的应用于照明的各个领域。

2、algainp四元系外延结构通常包括衬底层、缓冲层、n型限制层、量子阱层、p型限制层、p型过渡层、p型gap窗口层,p型gap窗口层作为出光层同时能够实现电流扩展,因为p型gap窗口层与p型限制层之间的晶格差异大,为了实现晶格匹配,对p型过渡层的设计要求高,增加了algainp四元系外延层及发光芯片的生产难度。

3、因此,如何降低algainp四元系外延结构的生产难度是目前亟待解决的技术问题。


技术实现思路

1、鉴于上述相关技术的不足,本申请的目的在于提供一种algainp系外延层及其生长方法、发光芯片,降低algainp四元系外延结构的生产难度。

2、首先本申请提供一种algainp系外延层,包括:

3、n型限制层;

4、p型限制层;

5、介于n型限制层与p型限制层之间的有源层;

6、设于p型限制层远离有源层的一侧,且被配置为与p电极接触的p型欧姆接触层;以及

7、设于p型欧姆接触层远离有源层一侧的p型algainp出光层。

8、上述algainp系外延层,在p型限制层远离有源层的一侧生长了p型欧姆接触层与p型algainp出光层,利用p型algainp出光层代替p型gap窗口层实现了出光以及电流扩展的作用,同时,利用p型欧姆接触层代替了相关技术中的p型gap窗口层以实现与p电极的欧姆接触,这样就可以不用再在p型限制层上生长p型gap窗口层以及p型过渡层,有利于降低algainp系外延层的生长难度,提升algainp系外延层的生产效率。

9、可选地,p型欧姆接触层包括gaas。

10、上述algainp系外延层中,采用gaas层作为p型欧姆接触层,gaas能够实现与p电极之间的欧姆接触,减小与p电极之间的电阻,减小基于该algainp系外延层所制得的发光芯片的正向电压,增强其性能。

11、可选地,p型欧姆接触层的厚度为5~15nm,掺杂浓度为1~5e18atom/cm3。

12、上述algainp系外延层中,仅将p型欧姆接触层的厚度设置为5~15nm,这能够在保证满足p型欧姆接触层与p电极之间欧姆接触的同时避免p型gaas层太厚,吸光太多的问题,能够确保algainp系外延层的出光效率;同时,p型欧姆接触层被设计得比较薄,也能节约algainp系外延层的整体生长时间,减小algainp系外延层的厚度。

13、可选地,p型algainp出光层的厚度为1~3um,掺杂浓度为2~6e18atom/cm3。

14、上述algainp系外延层中,p型algainp出光层的厚度为1~3um,这相较于相关algainp四元系红光外延层中p型gap窗口层的厚度,有明显的减小,这样可以减少algainp系外延层的生长时间,提升生产效率,减小algainp系外延层的厚度,减小基于该algainp系外延层所形成的红光芯片的体积与高度。

15、可选地,p型algainp出光层中包括(alx4ga1-x4)0.5in0.5p,0.7≤x4≤0.85。

16、可选地,p型限制层与p型algainp出光层均直接同p型欧姆接触层接触。

17、基于同样的专利技术构思,本申请还提供一种发光芯片,包括:

18、前述任一项的algainp系外延层;

19、与n型限制层电连接的n电极;以及

20、与p型欧姆接触层欧姆接触的p电极。

21、上述发光芯片所包含的algainp系外延层,在p型限制层远离有源层的一侧生长了p型欧姆接触层与p型algainp出光层,利用p型algainp出光层代替p型gap窗口层实现了出光以及电流扩展的作用,同时,利用p型欧姆接触层代替了p型gap窗口层来实现与p电极的欧姆接触,这样就可以不用再在p型限制层上生长p型gap窗口层以及p型过渡层,有利于降低algainp系外延层的生长难度,提升algainp系外延层与发光芯片的生产效率。

22、可选地,p型algainp出光层远离p型欧姆接触层的一面被粗化处理形成有粗化出光结构。

23、上述发光芯片中,p型algainp出光层远离p型欧姆接触层被粗化处理过,这样能够增加发光芯片中出光面的面积,同时减少光线全反射,提升发光芯片的外量子效率。

24、可选地,n电极的自由端与p电极的自由端均位于n型限制层远离有源层的一侧。

25、上述发光芯片中,n电极的自由端与p电极的自由端均位于n型限制层远离有源层的一侧,因此在利用algainp系外延层制备发光芯片时,可以直接从n型限制层所在的一侧对algainp系外延层进行刻蚀,实现电极设置,这样无需将algainp系外延层中的p型algainp出光层与其他永久衬底键合,无需进行algainp系外延层转移,这样可以约化键合工艺,简化发光芯片的制备流程,提升发光芯片的生产效率并降低生产成本。

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【技术保护点】

1.一种AlGaInP系外延层,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的AlGaInP系外延层,其特征在于,所述P型欧姆接触层包括GaAs。

3.如权利要求2所述的AlGaInP系外延层,其特征在于,所述P型欧姆接触层的厚度为5~15nm,掺杂浓度为1~5E18atom/cm3。

4.如权利要求1所述的AlGaInP系外延层,其特征在于,所述P型AlGaInP出光层的厚度为1~3um,掺杂浓度为2~6E18atom/cm3。

5.如权利要求1所述的AlGaInP系外延层,其特征在于,所述P型AlGaInP出光层中包括(Alx4Ga1-x4)0.5In0.5P,0.7≤x4≤0.85。

6.如权利要求1-5任一项所述的AlGaInP系外延层,其特征在于,所述P型限制层与所述P型AlGaInP出光层均直接同所述P型欧姆接触层接触。

7.一种发光芯片,其特征在于,包括:

8.如权利要求7所述的发光芯片,其特征在于,所述P型AlGaInP出光层远离所述P型欧姆接触层的一面被粗化处理形成有粗化出光结构。</p>

9.如权利要求7或8所述的发光芯片,其特征在于,所述N电极的自由端与所述P电极的自由端均位于所述N型限制层远离所述有源层的一侧。

10.一种AlGaInP系外延层生长方法,其特征在于,包括:

11.如权利要求10所述的AlGaInP系外延层生长方法,其特征在于,所述生长被配置为与P电极接触的P型欧姆接触层包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种algainp系外延层,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的algainp系外延层,其特征在于,所述p型欧姆接触层包括gaas。

3.如权利要求2所述的algainp系外延层,其特征在于,所述p型欧姆接触层的厚度为5~15nm,掺杂浓度为1~5e18atom/cm3。

4.如权利要求1所述的algainp系外延层,其特征在于,所述p型algainp出光层的厚度为1~3um,掺杂浓度为2~6e18atom/cm3。

5.如权利要求1所述的algainp系外延层,其特征在于,所述p型algainp出光层中包括(alx4ga1-x4)0.5in0.5p,0.7≤x4≤0.85。

6.如权利要求1-...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙威威
申请(专利权)人:重庆康佳光电技术研究院有限公司
类型:发明
国别省市:

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