【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜设备，尤其是涉及一种镀膜机。
技术介绍
1、磁控溅射是真空镀膜的重要方法之一，磁控溅射需要在一定的温度和一定的真空度下进行，磁控溅射的工作原理是指电子在电场e的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。现有的磁控溅射主要是通过磁控溅射镀膜机来完成，磁控溅射镀膜机主要由真空抽气系统、镀膜筒体、设置在镀膜筒体内的工件转架以及磁控溅射装置，在镀膜前先将待加工的工件悬挂在镀膜筒体内的工件转架上，镀膜过程中工件转架随着设备的运行转动，从而达到镀膜的目的。
2、随着科技的发展、技术的革新，市场上现有的镀膜机已经难以满足市场的使用需求，大大阻碍了镀膜行业的发展与进步，以往镀膜机上的设计缺陷与使用缺陷也逐渐暴露，需要将待加工工件依次转移到多台设备加工才能完成整套镀膜工艺，具有镀膜质量低以及无法加工多种工艺的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种镀膜机，本专利技术具有镀膜质量更高以及能够方便加工多种工艺的优点。
2、本专利技术所采取的技术方案如下：一种镀膜机，包括真空系统和镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜筒体以及铰接于镀膜筒体的镀膜筒盖，所述镀膜筒体内设有转架，还包括有用于转运转架的推车，所述镀膜筒盖与镀膜筒体配合内部形成真空腔体，所
3、优选的，所述真空腔体内还设有保护装置，所述保护装置包括挡板和滑动组件，所述滑动组件包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨设置在真空腔体顶部的内缘，所述第二导轨设置在真空腔体底部的内缘，所述挡板上设有连接件，所述连接件远离挡板的一端连接有第一轴承且伸入第一导轨，所述挡板通过第一轴承沿第一导轨往复运动，所述挡板底部连接有第二轴承，所述第二轴承伸入第二导轨且沿第二导轨的轨道方向往复运动。
4、优选的，所述保护装置还包括驱动件，所述驱动件位于真空腔体顶部且一端连接有齿轮件，所述连接件上设有与齿轮件相啮合的齿条，所述驱动件驱动齿轮件旋转带动啮合的齿条移动，所述齿条带动挡板沿第一导轨的轨道方向往复运动，所述挡板靠近第一导轨的一端设有第三轴承，所述挡板上设有与第三轴承相适配的凹槽，所述第三轴承一端伸入第一导轨另一端与挡板的凹槽卡接。
5、优选的，所述齿条的两端均设有限位部，所述限位部包括安装块和限位块，所述安装块与齿条固定连接，所述限位块与安装块铰接，所述限位块与安装块铰接处设有预紧扭簧，所述预紧扭簧一端与安装块顶部相抵另一端与限位块底部相抵。
6、优选的，所述转架包括下转盘、上转盘和若干根挂杆，所述上转盘和下转盘之间设有若干根支撑杆，所述上转盘通过支撑杆连接于下转盘上方，所述挂杆设置在上转盘和下转盘之间，所述下转盘底部设置有转架加强筋，所述下转盘顶部设置有衬板；
7、所述转架还包括有转动支撑板，所述下转盘底部设有若干个转架支撑轮，所述下转盘通过转架支撑轮转动连接在转动支撑板上，所述下转盘与转动支撑板之间设有固定齿轮和若干组从动齿轮组，所述固定齿轮固定连接在转动支撑板上，所述从动齿轮组与固定齿轮啮合传动，所述从动齿轮组上设有转轴件，所述下转盘上设有供转轴件穿过的转轴孔，所述转轴件穿过转轴孔与挂杆连接，所述镀膜筒体底部设置有驱动电机，所述下转盘底部设有转架转动轴和转动轴连接套，所述转架转动轴一端通过转动轴连接套与下转盘连接，另一端与驱动电机连接。
8、优选的，所述从动齿轮组包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮与固定齿轮啮合传动，所述第二齿轮和第三齿轮分别与第一齿轮啮合传动，且第二齿轮和第三齿轮分别设置在第一齿轮的两侧，所述第一齿轮随固定齿轮旋转时，第一齿轮带动第二齿轮和第三齿轮旋转；
9、所述转轴件与挂杆之间设有使挂杆能随转轴件转动的联动装置，所述联动装置包括设置于转轴件上供挂杆伸入的圆槽以及设置于挂杆上与圆槽相适配的联动部，所述联动装置还包括有设置于挂杆上的卡接杆以及设置于转轴件上供卡接杆卡接配合的卡接部，所述卡接杆设置在挂杆的侧壁上且卡接杆的轴心与联动部轴心垂直，当挂杆的联动部伸入转轴件的圆槽时，所述卡接杆随挂杆与卡接部卡接配合。
10、优选的，所述抽真空通道的数量为两个，所述抽真空通道内设有开度调节组件，所述开度调节组件包括百叶窗以及驱动百叶窗活动的调节阀，所述百叶窗形状与抽真空通道横截面相同，所述调节阀位于抽真空通道外侧壁且一端伸入抽真空通道与百叶窗连接。
11、优选的，所述镀膜筒体内设有用于卡接转架的卡接装置，所述卡接装置包括第一卡接部、第二卡接部以及引导轴，所述转架下方设有与引导轴相适配的滚轮，所述转架下方还铰接有与第一卡接部相适配的第一卡扣，所述推车上设有与引导轴直径相同的卡接轴和与第二卡接部相适配的第二卡扣，所述卡接轴上设有锥形部，所述引导轴上设有与锥形部相适配的凹陷部，所述推车上还设有与第一卡接部结构相同的第三卡接部。
12、优选的，所述第二卡扣包括拉杆和拉槽，所述拉槽的两端分别铰接有一个挂钩，所述推车上设有安装板，所述安装板上设有第一凸块和用于铰接挂钩中部的第二凸块，所述拉槽侧壁上延伸有过渡部，所述第一凸块上设有供过渡部穿过的通孔，所述过渡部穿过通孔与拉杆连接，所述过渡部上套设有弹簧，所述弹簧一端与第一凸块相抵另一端与拉槽侧壁相抵。
13、优选的，还包括有保护箱体，所述真空系统和镀膜筒体设置在保护箱体内，所述保护箱体上还设有用于控制镀膜机的控制面板，所述镀膜筒盖上设置有用于保护镀膜筒盖顶部元器件的保护罩。
14、本专利技术的有益效果如下：将弧源组件、蒸发组件、圆柱靶、平面靶以及加热管等元器件安装在镀膜机内部，使镀膜机集成多功能一体化，既可以多弧离子镀膜又可以磁控溅射镀膜，还集合了多种提高镀膜质量工艺的元器件，降低了设备成本的投入，本专利技术具有镀膜质量更高以及能够方便加工多种工艺的优点。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种镀膜机，其特征在于：包括真空系统（1）和镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜筒体（2）以及铰接于镀膜筒体（2）的镀膜筒盖（3），所述镀膜筒体（2）内设有转架（4），还包括有用于转运转架（4）的推车（5），所述镀膜筒盖（3）与镀膜筒体（2）配合内部形成真空腔体（6），所述真空腔体（6）内设有弧源组件（7）、蒸发组件（8）、圆柱靶（9）、平面靶（10）以及加热管（11），所述真空系统（1）通过抽真空通道（12）与真空腔体（6）相连。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空腔体（6）内还设有保护装置，所述保护装置包括挡板（13）和滑动组件，所述滑动组件包括第一导轨（14）和第二导轨（15），所述第一导轨（14）设置在真空腔体（6）顶部的内缘，所述第二导轨（15）设置在真空腔体（6）底部的内缘，所述挡板（13）上设有连接件（16），所述连接件（16）远离挡板（13）的一端连接有第一轴承（17）且伸入第一导轨（14），所述挡板（13）通过第一轴承（17）沿第一导轨（14）往复运动，所述挡板（13）底部连接有第二轴承（18），所述第二轴承（18）伸入第二导轨（
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机，其特征在于：所述保护装置还包括驱动件（19），所述驱动件（19）位于真空腔体（6）顶部且一端连接有齿轮件（20），所述连接件（16）上设有与齿轮件（20）相啮合的齿条（21），所述驱动件（19）驱动齿轮件（20）旋转带动啮合的齿条（21）移动，所述齿条（21）带动挡板（13）沿第一导轨（14）的轨道方向往复运动，所述挡板（13）靠近第一导轨（14）的一端设有第三轴承（22），所述挡板（13）上设有与第三轴承（22）相适配的凹槽（23），所述第三轴承（22）一端伸入第一导轨（14）另一端与挡板（13）的凹槽（23）卡接。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜机，其特征在于：所述齿条（21）的两端均设有限位部（24），所述限位部（24）包括安装块（25）和限位块（26），所述安装块（25）与齿条（21）固定连接，所述限位块（26）与安装块（25）铰接，所述限位块（26）与安装块（25）铰接处设有预紧扭簧（75），所述预紧扭簧（75）一端与安装块（25）顶部相抵另一端与限位块（26）底部相抵。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述转架（4）包括下转盘（27）、上转盘（28）和若干根挂杆（29），所述上转盘（28）和下转盘（27）之间设有若干根支撑杆（30），所述上转盘（28）通过支撑杆（30）连接于下转盘（27）上方，所述挂杆（29）设置在上转盘（28）和下转盘（27）之间，所述下转盘（27）底部设置有转架加强筋（31），所述下转盘（27）顶部设置有衬板（32）；
6.根据权利要求5所述的一种镀膜机，其特征在于：所述从动齿轮组（36）包括第一齿轮（41）、第二齿轮（42）和第三齿轮（43），所述第一齿轮（41）与固定齿轮（35）啮合传动，所述第二齿轮（42）和第三齿轮（43）分别与第一齿轮（41）啮合传动，且第二齿轮（42）和第三齿轮（43）分别设置在第一齿轮（41）的两侧，所述第一齿轮（41）随固定齿轮（35）旋转时，第一齿轮（41）带动第二齿轮（42）和第三齿轮（43）旋转；
7.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述抽真空通道（12）的数量为两个，所述抽真空通道（12）内设有开度调节组件，所述开度调节组件包括百叶窗（49）以及驱动百叶窗（49）活动的调节阀（48），所述百叶窗（49）形状与抽真空通道（12）横截面相同，所述调节阀（48）位于抽真空通道（12）外侧壁且一端伸入抽真空通道（12）与百叶窗（49）连接。
8.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述镀膜筒体（2）内设有用于卡接转架（4）的卡接装置，所述卡接装置包括第一卡接部（52）、第二卡接部（53）以及引导轴（54），所述转架（4）下方设有与引导轴（54）相适配的滚轮（55），所述转架（4）下方还铰接有与第一卡接部（52）相适配的第一卡扣（56），所述推车（5）上设有与引导轴（54）直径相同的卡接轴（57）和与第二卡接部（53）相适配的第二卡扣（58），所述卡接轴（57）上设有锥形部（59），所述引导轴（54）上设有与锥形部（59）相适配的凹陷部（60），所述推车（5）上还设有与第一卡接部（52）结构相同的第三卡接部（61）。
9.根据权利要求8所述的一种镀膜机，其特征在于：所述第二卡扣（58）包括拉杆（62）和拉槽（63），所述拉槽（63）的两端分别铰接有一个挂钩（64），所述推车（5）上...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机，其特征在于：包括真空系统（1）和镀膜系统，所述镀膜系统包括镀膜筒体（2）以及铰接于镀膜筒体（2）的镀膜筒盖（3），所述镀膜筒体（2）内设有转架（4），还包括有用于转运转架（4）的推车（5），所述镀膜筒盖（3）与镀膜筒体（2）配合内部形成真空腔体（6），所述真空腔体（6）内设有弧源组件（7）、蒸发组件（8）、圆柱靶（9）、平面靶（10）以及加热管（11），所述真空系统（1）通过抽真空通道（12）与真空腔体（6）相连。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空腔体（6）内还设有保护装置，所述保护装置包括挡板（13）和滑动组件，所述滑动组件包括第一导轨（14）和第二导轨（15），所述第一导轨（14）设置在真空腔体（6）顶部的内缘，所述第二导轨（15）设置在真空腔体（6）底部的内缘，所述挡板（13）上设有连接件（16），所述连接件（16）远离挡板（13）的一端连接有第一轴承（17）且伸入第一导轨（14），所述挡板（13）通过第一轴承（17）沿第一导轨（14）往复运动，所述挡板（13）底部连接有第二轴承（18），所述第二轴承（18）伸入第二导轨（15）且沿第二导轨（15）的轨道方向往复运动。
3.根据权利要求2所述的一种镀膜机，其特征在于：所述保护装置还包括驱动件（19），所述驱动件（19）位于真空腔体（6）顶部且一端连接有齿轮件（20），所述连接件（16）上设有与齿轮件（20）相啮合的齿条（21），所述驱动件（19）驱动齿轮件（20）旋转带动啮合的齿条（21）移动，所述齿条（21）带动挡板（13）沿第一导轨（14）的轨道方向往复运动，所述挡板（13）靠近第一导轨（14）的一端设有第三轴承（22），所述挡板（13）上设有与第三轴承（22）相适配的凹槽（23），所述第三轴承（22）一端伸入第一导轨（14）另一端与挡板（13）的凹槽（23）卡接。
4.根据权利要求3所述的一种镀膜机，其特征在于：所述齿条（21）的两端均设有限位部（24），所述限位部（24）包括安装块（25）和限位块（26），所述安装块（25）与齿条（21）固定连接，所述限位块（26）与安装块（25）铰接，所述限位块（26）与安装块（25）铰接处设有预紧扭簧（75），所述预紧扭簧（75）一端与安装块（25）顶部相抵另一端与限位块（26）底部相抵。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述转架（4）包括下转盘（27）、上转盘（28）和若干根挂杆（29），所述上转盘（28）和下转盘（27）之间设有若干根支撑杆（30），所述上转盘（28）通过支撑杆（30）连接于下转盘（27）上方，所述挂杆（29）设置在上转盘（28）和下转盘（27）之间，所述下转...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵中红，张晓东，赵中明，
申请(专利权)人：温州驰诚真空机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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