一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构制造技术

本申请涉及一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，包括：真空加热平台，所述真空加热平台上方设置有微孔石墨板，所述微孔石墨板用于真空吸附薄膜；所述微孔石墨板上方还设置有盖板，所述盖板用于夹持薄膜，所述盖板上设置有连通薄膜的避位槽；所述真空加热平台四个拐角均固定设置有腰孔型定位块，所述盖板上设置有对应的腰孔来定位安装在腰孔型定位块上；所述腰孔型定位块上设置有可转动的弹性锁扣，所述弹性锁扣用于锁紧盖板。本技术的真空吸附平台可以快速移动，拓宽了薄膜上制备镀层测试的可操作性；设置的腰孔型定位块和弹性锁扣，能更好的固定膜和盖板，旋转式锁紧装置的设计，操作方便快捷。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于薄膜上制备镀层设备，尤其是涉及一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构。

技术介绍

1、氢能行业中，对于在薄膜上制备的镀层，所覆薄膜在8-15微米，需要用微孔材质进行真空吸附，整个平台在工艺过程中需要移动，速度在100mm/s-250mm/s，目前所用的真空加热平台都是慢速移动，上方的夹具多为靠重力维持，定位不够准确，容易产生相对移动。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，整体可以根据需要快速移动，并方便拆分和组装。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，包括：

4、真空加热平台，所述真空加热平台上方设置有微孔石墨板，所述微孔石墨板用于真空吸附薄膜；

5、所述微孔石墨板上方还设置有盖板，所述盖板用于夹持薄膜，所述盖板上设置有连通薄膜的避位槽；

6、所述真空加热平台四个拐角均固定设置有腰孔型定位块，所述盖板上设置有对应的腰孔来定位安装在腰孔型定位块上；

7、所述腰孔型定位块上设置有可转动的弹性锁扣，所述弹性锁扣用于锁紧盖板。

8、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述弹性锁扣与腰孔型定位块仿形，且弹性锁扣的尺寸不大于腰孔型定位块的尺寸，所述盖板上腰孔能穿过弹性锁扣。

9、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述腰孔型定位块的厚度不大于盖板的厚度。

10、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述腰孔型定位块与弹性锁扣之间设置有拉伸弹簧。

11、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述真空加热平台底部设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有加热板，所述加热板用于加热真空加热平台。

12、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述真空加热平台上表面设置有用于安装微孔石墨板的第二凹槽，所述第二凹槽底部设置有格栅槽。

13、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述微孔石墨板上的小孔与格栅槽连通。

14、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，还包括合成石板，所述合成石板位于真空加热平台靠近加热板的一端，所述合成石板用于隔绝加热板产生的热量。

15、优选地，本技术的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，所述避位槽设置为敞口的四棱锥形结构。

16、本技术的有益效果是：

17、(1)本技术的真空吸附平台可以快速移动，拓宽了薄膜上制备镀层测试的可操作性；

18、(2)设置的腰孔型定位块和弹性锁扣，能更好的固定膜和盖板，旋转式锁紧装置的设计，操作方便快捷。

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【技术保护点】

1.一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述弹性锁扣(15)与腰孔型定位块(14)仿形，且弹性锁扣(15)的尺寸不大于腰孔型定位块(14)的尺寸，所述盖板(13)上腰孔(16)能穿过弹性锁扣(15)。

3.根据权利要求2所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述腰孔型定位块(14)的厚度不大于盖板(13)的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述腰孔型定位块(14)与弹性锁扣(15)之间设置有拉伸弹簧。

5.根据权利要求4所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述真空加热平台(10)底部设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有加热板(11)，所述加热板(11)用于加热真空加热平台(10)。

6.根据权利要求5所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述真空加热平台(10)上表面设置有用于安装微孔石墨板(12)的第二凹槽，所述第二凹槽底部设置有格栅槽。

7.根据权利要求6所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述微孔石墨板(12)上的小孔与格栅槽连通。

8.根据权利要求5-7任一项所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，还包括合成石板(17)，所述合成石板(17)位于真空加热平台(10)靠近加热板(11)的一端，所述合成石板(17)用于隔绝加热板(11)产生的热量。

9.根据权利要求1所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述避位槽设置为敞口的四棱锥形结构。

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【技术特征摘要】

1.一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述弹性锁扣(15)与腰孔型定位块(14)仿形，且弹性锁扣(15)的尺寸不大于腰孔型定位块(14)的尺寸，所述盖板(13)上腰孔(16)能穿过弹性锁扣(15)。

3.根据权利要求2所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述腰孔型定位块(14)的厚度不大于盖板(13)的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述腰孔型定位块(14)与弹性锁扣(15)之间设置有拉伸弹簧。

5.根据权利要求4所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构，其特征在于，所述真空加热平台(10)底部设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建新，
申请(专利权)人：苏州细奉自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：