一种机械手教点系统技术方案

技术编号:40934232 阅读:13 留言:0更新日期:2024-04-18 14:54
本公开的实施例公开了一种机械手教点系统。机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块,传感模块安装在机械手上,用于对基准模块进行感测,并将感测结果传递至中控模块;基准模块安装在目标工位上并作为机械手相对于目标工位的基准,用于被传感模块感测;中控模块,用于根据感测结果对机械手进行控制。该实施方式方式能够以最小的占地空间达到最大的空间利用,避免了在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏,节省教点操作的耗时,提高教点的精确度,减少教点操作时所需要地重复确认与修正,实现了自动完成工位教点,提高用户体验,节省操作时间。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施例涉及计算机,具体涉及一种机械手教点系统


技术介绍

1、半导体设备内的布局空间小,为了能以最小的占地空间达到最大的空间利用,在设计上会充分地配置必要的机器,由于空间被完全有效利用了,所以在设备内若要进行机械手教点操作十分苦难。

2、操作者在手动安全模式下进入了设备内执行教点操作,因空间的限制除了无法正确地教点之外,还容易在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏。

3、另外在教点目标位置对地高度高于2公尺以上位置时,亦受到空间限制,人员除了看不到目标位置也无法在受限的空间登高作业。以致于教点操作耗时之外教点的精确度亦不理想,教点操作需要不断地重覆确认与修正。


技术实现思路

1、本公开的内容部分用于以简要的形式介绍构思,这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本公开的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征,也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

2、本公开的一些实施例提出了一种机械手教点系统,来解决以上
技术介绍
部分提到的技术问题。

3、第一方面,本公开的一些实施例提供了一种机械手教点系统,其中,上述机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块,上述传感模块安装在上述机械手上,用于对上述基准模块进行感测,并将感测结果传递至上述中控模块;上述基准模块安装在目标工位上并作为上述机械手相对于目标工位的基准,用于被上述传感模块感测;上述中控模块,用于根据上述感测结果对上述机械手进行控制。

4、本公开的上述各个实施例中的一个实施例具有如下有益效果:能够以最小的占地空间达到最大的空间利用,避免了在操作过程中身体碰撞挤压到其它元件而产生人员受伤或者元件损坏,节省教点操作的耗时,提高教点的精确度,减少教点操作时所需要地重复确认与修正,实现了自动完成工位教点,提高用户体验,节省操作时间。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种机械手教点系统,其中,所述机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块,

2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述传感模块以激光测距工装治具的方式限制并固定于所述机械手的前端机构上,所述激光测距工装治具包括两个发射端,所述两个发射端上分别安装所述传感模块。

3.根据权利要求1所述的系统,其中,所述传感模块还用于感测所述机械手于所述基准模块的位置信息,其中,所述位置信息包括所述机械手于所述基准模块的相对位置和角度。

4.根据权利要求1所述的系统,其中,所述基准模块由两个基准块组成,以所述目标工位中目标位置为原点建立三维坐标系,所述两个基准块的连接线与Y轴平行,所述两个基准块的连接线的中点在所述三维坐标系的X轴上。

【技术特征摘要】

1.一种机械手教点系统,其中,所述机械手教点系统包括机械手、传感模块、中控模块以及基准模块,

2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述传感模块以激光测距工装治具的方式限制并固定于所述机械手的前端机构上,所述激光测距工装治具包括两个发射端,所述两个发射端上分别安装所述传感模块。

3.根据权利要求1所述的系统,其中,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王振强戚汉凌
申请(专利权)人:北京和崎精密科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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