【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及轴承，特别是涉及一种用于提高x射线管轴承性能的方法、轴承及x射线管。
技术介绍
1、精密轴承按照iso的分级标准分为：等级依次增高的p0，p6，p5，p4和p2，其中p0为普通精度，其它等级都是精密级别。对于高精密的轴承，例如医用x射线管所用的轴承，在使用性能上要求滚珠和/或沟道需要有较高的稳定性、较长的使用寿命以及耐磨性能，因此提高精密轴承中滚珠和/或沟道的耐磨性对于保证其使用性能以及延长使用寿命是十分重要的。在滚珠和/或沟道上应用现代表面改性技术制备一层低摩擦系数的自润滑膜，能在高精密仪器上使用，突破了传统的油润滑减摩延寿的轴承的工作范围。
2、由于作为x射线管的阳极部件需要起到能使整个阳极加上几十千伏甚至上百千伏的高压，这样就把在航空航天及汽车行业中的常用mos2、高分子等固体润滑材料挡在了门外，即在轴承滚珠与滚道间使用的润滑膜只能是具有优良导电性的纯金属或合金材质的薄膜。
3、目前，虽然有多种技术能够在滚珠和/或沟道表面形成润滑膜，但是其形成的润滑膜的耐磨等性能不足，无法有效延长x射线管用轴承的使用寿命。
技术实现思路
1、本申请提供一种用于提高x射线管轴承性能的方法、轴承及x射线管，用于解决现有润滑膜耐磨性能不足的问题。
2、本申请提供了一种用于提高x射线管轴承性能的方法，采用镀膜装置进行镀膜，该方法包括：
3、对轴承待镀膜件的表面进行偏压轰击和气体离子源刻蚀清洗处理；所述轴承待镀膜件包括轴承芯轴沟道和轴承滚珠
4、在轴承待镀膜件的表面进行纯金属或合金金属离子注入，形成厚度均匀的离子注入层；
5、在离子注入层上对轴承待镀膜件的表面进行镀膜，以形成厚度均匀的表面润滑层，其中，所述表面润滑层中至少有一个材料与所述离子注入层中的材料相同或晶格常数相同。
6、在其中一个实施例中，所述对轴承待镀膜件的表面进行偏压轰击和气体离子源刻蚀清洗处理，包括：
7、开启离子源截止阀和偏压电源，调节所述离子源截止阀、气体离子源流量计、偏压电源的偏压值和占空比至预设值；
8、在所述镀膜装置中的托盘按照预设旋转转速旋转时，开启所述镀膜装置中的气体离子源电源，调节气体离子源电源的电压值和占空比至预设值，使得所述气体离子源电源释放经过能量叠加后的高能粒子；
9、在偏压轰击和气体离子源轰击预设时间后关闭偏压和气体离子源电源，关闭气体离子源流量计和截止阀，所述轴承待镀膜件的表面经高能粒子轰击预设时间后呈现微观磨砂。
10、在其中一个实施例中，所述在轴承待镀膜件的表面进行纯金属或合金金属离子注入，包括：
11、在镀膜装置中的真空腔内，采用麦瓦离子源对轴承待镀膜件的表面进行金属或合金金属离子注入；
12、调整薄膜规压强，当镀膜装置中的真空腔内的压强稳定后，开启麦瓦离子源，调整麦瓦离子源的电源功率、电压以及占空比，以使得经过所述麦瓦离子源轰击释放的纯金属或合金金属离子均匀注入在轴承待镀膜件的表面；
13、在麦瓦离子源轰击预设时间后关闭麦瓦离子源、关闭薄膜规压强。
14、在其中一个实施例中，所述离子注入的物质可以是铅、银、锡、镍、铜或上述两种或多种元素的合金中的至少一种。
15、在其中一个实施例中，所述在离子注入层上对轴承待镀膜件的表面进行镀膜，包括：
16、开启靶截止阀和靶材的直流脉冲电源，设定薄膜规压强和直流脉冲电源的功率至预设值，开始靶材自清洗；
17、在靶材自清洗完后，调节直流脉冲电源的功率并开启靶材正前方挡板；
18、调节直流脉冲电源的电压值，以使得经过直流脉冲电源轰击的靶材释放的离子均匀沉积在离子注入层的表面。
19、在其中一个实施例中，所述轴承待镀膜件为轴承芯轴沟道：设置所述镀膜装置中靶材的曲率与轴承的沟道曲率相同或曲率之差不超过预设差值；
20、设置所述轴承芯轴沟道位置与所述靶材的位置位于同一水平线；
21、保持靶材不动，使轴承芯轴匀速转动，在所述镀膜装置靶材的外壁形成均匀的磁场；
22、对靶材施加预设溅射功率，使靶材溅射的离子沿沟道曲面法线方向发射沉积在沟道上。
23、在其中一个实施例中，所述轴承待镀膜件为轴承滚珠：设置所述镀膜装置中的靶材与所述镀膜装置中的托盘形成预设角度；
24、控制所述托盘匀速正/反旋转；
25、对靶材施加预设溅射功率，靶材受到均匀的溅射，以使得靶材发射出的粒子均匀沉积在滚珠表面。
26、在其中一个实施例中，所述在离子注入层上对轴承待镀膜件的表面进行镀膜之后，该方法还包括：
27、继续对镀膜装置中的真空腔抽真空，当真空腔内的温度降低至预设温度后，关闭镀膜装置；
28、开启镀膜装置上的充气阀对真空腔进行充气，当真空腔内的气压达到大气压时，开启镀膜装置上的炉门并取出轴承待镀膜件。
29、本申请还提供了一种轴承，包括滚珠和芯轴，所述滚珠和所述芯轴上的沟道均通过如本申请实施例描述中任一所述的用于提高x射线管轴承性能的方法制成。
30、本申请还提供了一种x射线管，包括如本申请实施例描述中的轴承。
31、本申请的有益效果包括：
32、本申请提供的用于提高x射线管轴承性能的方法，通过偏压轰击和气体离子源刻蚀清洗对轴承待镀膜件进行清洗，其既兼顾了气体离子源刻蚀处理方向性强、处理强度大的特点，同时兼顾了偏压离子轰击在轴承电极部位无方向性约束、作用面积大的特点，特别适用于比表面积大、曲率半径小的滚珠和沟道的镀前处理，从而提高了轴承待镀膜件处理的效果；同时离子注入层的设置不但增强了润滑层与轴承的结合力，而且当表面润滑层耗尽后，离子注入层仍然可以起到润滑作用，从而有效提高了轴承的耐磨性能；由于表面润滑层中至少有一个材料与离子注入层中的材料相同或相近，这样提高了离子注入层以及表面润滑层两者之间的粘附力；进一步由于离子注入层和表面润滑层的厚度均匀，从而能确保镀膜后的轴承待镀膜件光滑。
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1.一种用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，采用镀膜装置进行镀膜，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述对轴承待镀膜件的表面进行偏压轰击和气体离子源刻蚀清洗处理，包括：
3.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述在轴承待镀膜件的表面进行纯金属或合金金属离子注入，包括：
4.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述离子注入的物质可以是铅、银、锡、镍、铜或上述两种或多种元素的合金中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述在离子注入层上对轴承待镀膜件的表面进行镀膜，包括：
6.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述轴承待镀膜件为轴承芯轴沟道：
7.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述轴承待镀膜件为轴承滚珠：
8.根据权利要求1所述的用于提高X射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述在离子
9.一种轴承，包括滚珠和芯轴，其特征在于，所述滚珠和所述芯轴上的沟道均通过如权利要求1-8中任一所述的用于提高X射线管轴承性能的方法制成。
10.一种X射线管，其特征在于，包括如权利要求9所述的轴承。
...【技术特征摘要】
1.一种用于提高x射线管轴承性能的方法，其特征在于，采用镀膜装置进行镀膜，该方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于提高x射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述对轴承待镀膜件的表面进行偏压轰击和气体离子源刻蚀清洗处理，包括：
3.根据权利要求1所述的用于提高x射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述在轴承待镀膜件的表面进行纯金属或合金金属离子注入，包括：
4.根据权利要求1所述的用于提高x射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述离子注入的物质可以是铅、银、锡、镍、铜或上述两种或多种元素的合金中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的用于提高x射线管轴承性能的方法，其特征在于，所述在离子注入...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵显伟，
申请(专利权)人：武汉联影医疗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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