【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，尤其是涉及一种异型薄壁传输腔及其加工方法。
技术介绍
1、半导体传输腔在传输系统中的作用尤其重要，一旦传输腔发生故障或损坏，传输系统所搭载的所有工艺腔室都将停止，对晶圆加工厂的产能造成严重影响。为实现产品高精度要求，需要使用高密封型传输腔，减少外部因素对设备内部运行干扰，同时对腔室有非常严格的清洁度要求，避免其它元素对产品造成污染。工艺腔的质量、精度直接影响半导体产品加工过程的精准度和稳定性，以及产品的洁净度。
2、现有技术中产品采用焊接工艺，如图1所示，所述焊接式真空腔1包括有若干焊缝2；又例如在中国专利文献上公开的“一种薄壁复杂腔体的加工方法”，其公告号“cn112338453b”，包括以下步骤：s1.根据内部流道结构将工件拆分成多层，使每一层均成为独立腔体；s2.将每个腔体拆分成基板和盖板，基板上开设流道槽，加工与流道槽匹配的盖板，并在盖板的顶部棱角处加工出倒角；s3.清洗、打磨每个腔体的盖板和基板，分别将盖板与基板装配，并沿盖板的倒角在纤缝处注入钎料；s4.将各腔体放入真空炉真空钎焊；s5.精加工每个腔体的表面；s6.清洗、打磨每个腔体，并装配成工件，在焊缝处注入钎料；s7.将工件放入真空炉中真空钎焊；s8.钎后精加工件。
3、上述方案中公开的真空钎焊的方法加工薄壁复杂腔工件，实现了多个单独复杂腔的同时焊接以及工件整体的焊接，但该工艺存在诸多问题：
4、1、异型薄壁传输腔焊接后存在焊接内应力，造成产品变形，加工余量不均，影响产品平面度及尺寸变化，超出产品使用要
5、2、异型薄壁传输腔焊接后存在焊接缺陷：气孔、夹渣等，造成腔体有漏气风险，无法达到真空使用要求；
6、3、异型薄壁传输腔焊接使用焊接耗材，耗材种含有其它元素，造成产品元素污染；
7、4、异型薄壁传输腔原加工工艺：备料-龙门/立加加工子件-焊接-龙门精加工-卧加精加工-精工-打磨-检查-包装入库。由于焊接子件采用分开加工，造成焊接后产品尺寸存在有累积误差，影响成品的加工尺寸精度。
8、因此，需要优化现有方案消除上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术中焊接制造异型薄壁传输腔存在焊接内应力导致产品变形，以及焊接工艺难免造成产品元素污染等问题，本专利技术提供了一种异型薄壁传输腔及其加工方法，通过采用整体材料加工异型薄壁传输腔，消除焊接缺陷造成腔体漏气，减少焊接造成腔体元素污染，并保证腔体洁净度；在加工后通过热处理工艺进一步提高材料机加工性能，减少产品变形，保证产品质量。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种异型薄壁传输腔，包括真空腔，所述真空腔为一体式结构；所述真空腔包括一个或多个腔体。
4、本方案中，真空腔包括一个或多个腔体，这些腔体通常由高强度、耐腐蚀且具有良好导热性能的材料制成，如不锈钢或铝合金。这些腔体可以按照特定的形状和尺寸进行设计，以满足不同的应用需求。在实际应用中，这种异型薄壁传输腔可以用于各种半导体加工和处理设备中。例如，它可以用于薄膜沉积设备中，通过在真空腔内设置适当的加热和冷却装置以及气体供应系统，可以实现薄膜的均匀沉积。此外，这种异型薄壁传输腔还可以用于其他需要高真空环境的领域，如电子显微镜、质谱仪等。在这些领域中，传输腔需要具有高精度和高稳定性，以确保实验结果的准确性和可靠性。总之，这种异型薄壁传输腔是一种高性能、高精度和高稳定性的设备，可以广泛应用于各种需要高真空环境的领域中。
5、作为优选，所述真空腔包括的腔体均为薄壁结构。这种一体式结构使得传输腔更加紧凑和易于操作。真空腔的薄壁结构具有较小的体积和重量，能够提供良好的热绝缘和隔热效果，使得真空腔内的温度能够保持稳定，有利于提高实验结果的准确性和可靠性。这种结构在应用方面的优势包括节能环保、热稳定性好和加工精度高等。然而，在加工过程中需要注意材料的选取、加工工艺的制定和焊接工艺的控制等问题，以确保产品质量和稳定性。总之，这种异型薄壁传输腔是一种高性能、高精度和高稳定性的设备，可以广泛应用于各种需要高真空环境的领域中。
6、作为优选，所述真空腔为双层结构。双层结构的设计可以提供更好的热稳定性。在半导体加工和处理过程中，材料和器件的温度控制至关重要。通过将加热和冷却系统放置在双层结构中，可以更好地控制温度，减少温度波动，从而提高材料和器件的性能和质量。另外，双层结构的设计可以更好地防止污染。在半导体加工和处理过程中，各种气体和颗粒物可能会对材料和器件产生污染。通过将传输腔设计为双层结构，可以将处理区域与外界隔离，减少污染物的进入，从而保护材料和器件的清洁度。同时，双层结构的设计可以提供更好的操作便利性。在半导体加工和处理过程中，操作人员需要频繁进入传输腔进行样品的装取、调整和处理。通过将传输腔设计为双层结构，可以提供更多的操作空间和便利性，提高工作效率。
7、本申请还公开了一种上述异型薄壁传输腔的加工方法，包括以下步骤：
8、s1备料：根据预先设计要求准备原材料；
9、s2龙门开粗：使用龙门铣床对原材料进行粗加工，获得初步形成传输腔形状的原胚；
10、s3卧加半精：使用卧式加工中心对原胚进行半精加工，进一步接近传输腔的形状和尺寸；
11、s4龙门精加工：再次使用龙门铣床对s2中得到的原胚进行精加工，使原胚的尺寸和形状精度达到要求；
12、s5卧加精加工：使用卧式加工中心对s4中得到的原胚进行精加工，处理包括但不限于传输腔上预设的孔、槽；
13、s6检查：对加工完成的传输腔进行质量检查，包括尺寸检查、外观检查和性能测试。
14、该方案中包括以下要求：s1备料：根据预先设计要求准备原材料。这包括选择适当的高强度、耐腐蚀且具有良好导热性能的材料，如不锈钢或铝合金。同时，还需要确保原材料的尺寸和形状符合设计要求。
15、s2龙门开粗：使用龙门铣床对原材料进行粗加工，获得初步形成传输腔形状的原胚。这一步骤主要是去除多余的材料，初步形成传输腔的形状。需要注意的是，开粗时要控制好切削量和切削速度，以避免对原材料造成过大的损伤。
16、s3卧加半精：使用卧式加工中心对原胚进行半精加工，进一步接近传输腔的形状和尺寸。这一步骤主要是对传输腔的形状和尺寸进行进一步的调整和修正，为后续的精加工做好准备。
17、s4龙门精加工：再次使用龙门铣床对s2中得到的原胚进行精加工，使原胚的尺寸和形状精度达到要求。这一步骤是整个加工过程中最为关键的一步，需要控制好切削量和切削速度，确保传输腔的尺寸和形状精度达到设计要求。
18、s5卧加精加工：使用卧式加工中心对s4中得到的原胚进行精加工，处理包括但不限于传输腔上预设的孔、槽。这一步骤主要是对传输腔上的孔、槽等细节部分进行进一步的精加工和处理，以确保传输腔的完整性和功能性。
19、s6检查：对加工完成的传输腔进行质量检查，包本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种异型薄壁传输腔，其特征在于，包括真空腔，所述真空腔为一体式结构；所述真空腔包括一个或多个腔体。
2.根据权利要求1所述的异型薄壁传输腔，其特征在于，所述真空腔包括的腔体均为薄壁结构。
3.根据权利要求1所述的异型薄壁传输腔，其特征在于，所述真空腔为双层结构。
4.一种权利要求1-3任意一项所述的异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的一种异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，S2与S3之间还设置有S2.1热处理去应力：将半精加工后的传输腔进行热处理，以去除材料内部的残余应力。
6.根据权利要求4所述的一种异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，S5与S6之间还设置有S5.1打磨：使用打磨工具对传输腔表面进行打磨，去除毛刺、划痕的缺陷。
7.根据权利要求5所述的一种异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，S5.1与S6之间还设置有S5.2精工：对传输腔进行研磨与抛光，优化传输腔的表面粗糙度。
8.根据权利要4所述的一种异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，S
...【技术特征摘要】
1.一种异型薄壁传输腔，其特征在于，包括真空腔，所述真空腔为一体式结构；所述真空腔包括一个或多个腔体。
2.根据权利要求1所述的异型薄壁传输腔，其特征在于，所述真空腔包括的腔体均为薄壁结构。
3.根据权利要求1所述的异型薄壁传输腔，其特征在于，所述真空腔为双层结构。
4.一种权利要求1-3任意一项所述的异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的一种异型薄壁传输腔的加工方法，其特征在于，s2与s3之间还设置有s2.1热处理去应力：将半精加工后...
【专利技术属性】
技术研发人员：何俊，郑胜华，祝伟生，邓礼广，廖子剑，
申请(专利权)人：浙江先导精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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